1. CVD-SiC കോട്ടിംഗുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട്
ഗ്രാഫൈറ്റ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ എളുപ്പമാണ്, കൂടാതെ ഒരു ബ്ലോക്ക് മെറ്റീരിയലിൽ നിന്ന് ഒന്നിലധികം നടപടിക്രമങ്ങളിലൂടെ ഒരു സിംഗിൾ-പീസ് ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട് നിർമ്മിക്കാനും കഴിയും. ഗ്രാഫൈറ്റ് ഒരു സുഷിരമുള്ള വസ്തുവായതിനാൽ, ഗ്രാഫൈറ്റ് ഉപരിതലം വിവിധ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണങ്ങളുമായി നേരിട്ട് സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നത് മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഭാഗിക പ്രശ്നം തടയാൻ ഏകദേശം 100μm കട്ടിയുള്ള ഒരു SiC പാളി അതിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ പൂശണം. എന്നിരുന്നാലും, കനംCVD-SiC കോട്ടിംഗ്നിയന്ത്രിക്കാൻ എളുപ്പമല്ല, പ്രത്യേകിച്ച് ചില ആഴത്തിലുള്ള ദ്വാരങ്ങളിലും കോണുകളിലും, കോട്ടിംഗ് കനം കുറഞ്ഞതായിരിക്കാം. ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോഡിയും SiC ഫിലിമും തമ്മിലുള്ള CTE (താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം) യുടെ പൊരുത്തക്കേട് കാരണം (25-1400℃, SIC-ക്ക് ശരാശരി 4.4×10e-6/℃ ഉം ഗ്രാഫൈറ്റിന് 7.1×10e-6/℃ ഉം), SiC ഫിലിം സാധാരണയായി പലതവണ താപനില ഉയരുകയും താഴുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ വീഴുന്നു. ഗ്രാഫൈറ്റ് തുറന്നുകാണിക്കുമ്പോൾ, ദ്രവങ്ങൾ പോറസ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോഡിയിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുകയും പൂർണ്ണമായും നീക്കം ചെയ്യാൻ പ്രയാസപ്പെടുകയും ചെയ്യും, അങ്ങനെ ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ ഭാഗികമായി ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് കാരണമാകുന്നു. ഈ SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് ഏറ്റവും വിലകുറഞ്ഞതും ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ആയുസ്സുള്ളതുമാണ്, ഏകദേശം ഒരു വർഷം.
2. CVD-SiC കോട്ടിംഗുള്ള റീക്രിസ്റ്റലൈസ് ചെയ്ത SiC ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട്
റീക്രിസ്റ്റലൈസ് ചെയ്ത SiC ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടുകൾ സാധാരണയായി നിർമ്മിക്കുന്നത് ആദ്യം നിരവധി യൂണിറ്റ് ഭാഗങ്ങൾ സിന്ററിംഗ് ചെയ്ത് പ്രോസസ്സ് ചെയ്താണ്, തുടർന്ന് ഓരോ ഭാഗവും ഉയർന്ന താപനിലയിൽ Si പേസ്റ്റുമായി ബന്ധിപ്പിച്ച് ഒരു ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട് രൂപപ്പെടുത്തുകയും ഒടുവിൽ ഒരു CVD-SiC കോട്ടിംഗ് (ഏകദേശം 100um) പ്രയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. റീക്രിസ്റ്റലൈസേഷൻ സുഷിരങ്ങളുള്ളതിനാൽ, SiC കോട്ടിംഗ് ഇല്ലാതെ തന്നെ സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയകളിലും പാർട്ടിക്കൽ അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, ബോണ്ടിംഗ് സോണിലെ Si പേസ്റ്റിന് SiC മെറ്റീരിയലിന്റെ അതേ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയില്ല. CVD-SiC കോട്ടിംഗുള്ള ഈ റീക്രിസ്റ്റലൈസ് ചെയ്ത SiC ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടിന്റെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ ഏറ്റവും ദൈർഘ്യമേറിയതും ചെലവ് വളരെ ഉയർന്നതുമാണ്. SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, CVD-SiC പൂശിയ റീക്രിസ്റ്റലൈസ് ചെയ്ത SiC ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടിന് CTE പൊരുത്തക്കേട് പ്രശ്നമില്ല, പക്ഷേ ആസിഡ് കഴുകലും കൂട്ടിയിടിയും SiC കോട്ടിംഗ് വീഴാൻ കാരണമാകും. ഇതിന്റെ സേവന ആയുസ്സ് അൽപ്പം കൂടുതലാണ്, ഏകദേശം 2 മുതൽ 3 വർഷം വരെ.
3. സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ഇല്ലാത്ത വൺ-പീസ് SiC ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട്
CVD കോട്ടിംഗ് ഇല്ലാത്ത ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടുകൾക്ക്, ഉപരിതലം സാന്ദ്രമായിരിക്കണം. രണ്ട് തരം സാന്ദ്രമായ SiC മെറ്റീരിയലുകളുണ്ട്: പ്രഷർലെസ് സിന്റേർഡ് SiC (SSiC), റിയാക്ഷൻ-സിന്റേർഡ് SiC (RBSiC, സിലിക്കൺ-പെർമീറ്റഡ് SiC, SiSiC എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു). എന്നിരുന്നാലും, ഈ രണ്ട് തരം SiC കളെയും ക്വാർട്സ് പോലെ ഒരു യൂണിറ്റിലേക്ക് സംയോജിപ്പിക്കാൻ കഴിയില്ല. പൊടിയിൽ നിന്ന് SiC രൂപപ്പെടുത്തി കത്തിച്ച് ഒരു ഏകദേശ സിംഗിൾ-പീസ് ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ടിന്റെ ആകൃതിയിൽ കത്തിക്കുന്നത് എളുപ്പമല്ല. മാത്രമല്ല, SiC വളരെ കഠിനവും പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ പ്രയാസകരവുമാണ്, ഇത് ഒരു ഏകദേശ ആകൃതി രൂപപ്പെടുത്താൻ SSiC യേക്കാൾ അൽപ്പം എളുപ്പമാണെങ്കിലും, അത് ഇപ്പോഴും വളരെ കഠിനമാണ്. കൂടാതെ, RBSC യിൽ 10 മുതൽ 15% വരെ സ്വതന്ത്ര Si അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, ഇത് SSiC മെറ്റീരിയലുകളുടെ അതേ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയില്ല. സാധാരണയായി, ഇതിന് 1400 ° C ന് താഴെയുള്ള താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയും. മാത്രമല്ല, സ്വതന്ത്ര Si HF ആസിഡ് ഉപയോഗിച്ച് എളുപ്പത്തിൽ കൊത്തിവയ്ക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ഭാഗികതയിലേക്ക് നയിക്കുന്നു.
4. കാലെക്സ് സിഐസി മോഡുലാർ ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട്
99.675% പരിശുദ്ധിയുള്ള പ്രഷർലെസ് സിന്റേർഡ് SiC മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച് യൂണിറ്റ് ഭാഗങ്ങൾ ഫോമിംഗ്, സിന്ററിംഗ്, ഗ്രൈൻഡിംഗ് എന്നിവയിലൂടെ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു. തുടർന്ന് അവയെ SSiC സ്ക്രൂകൾ, നട്ടുകൾ മുതലായവയുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, ലോഡ്-ബെയറിംഗ് ശേഷി ഉറപ്പാക്കാൻ SSiC പിന്നുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ഉറപ്പിക്കുക. SiC കോട്ടിംഗ് ഇല്ലാതെ, ഭാഗിക കോട്ടിംഗ് കേടുപാടുകൾ ഉണ്ടാകാനുള്ള സാധ്യതയില്ല. മാത്രമല്ല, ഉയർന്ന താപനില (1600℃), HF ആസിഡ് പോലുള്ള കഠിനമായ അന്തരീക്ഷങ്ങളിൽ, അഞ്ച് വർഷത്തിൽ കൂടുതൽ സേവന ജീവിതത്തോടെ, ഇത് വളരെക്കാലം ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയും.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഓഗസ്റ്റ്-19-2025