១. ទូកគ្រីស្តាល់ក្រាហ្វីតជាមួយថ្នាំកូត CVD-SiC
ក្រាហ្វីតងាយស្រួលក្នុងការកែច្នៃ ហើយអាចផលិតទៅជាទូកគ្រីស្តាល់តែមួយដុំតាមរយៈនីតិវិធីច្រើនពីសម្ភារៈប្លុកតែមួយ។ ដោយសារក្រាហ្វីតជាសម្ភារៈដែលមានរន្ធច្រើន ស្រទាប់ SiC ដែលមានកម្រាស់ប្រហែល 100 μm ត្រូវតែស្រោបលើផ្ទៃរបស់វា ដើម្បីការពារបញ្ហាភាគល្អិតដែលបណ្តាលមកពីការប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់នៃផ្ទៃក្រាហ្វីតទៅនឹងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្សេងៗ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ កម្រាស់នៃថ្នាំកូត CVD-SiCវាមិនងាយស្រួលក្នុងការគ្រប់គ្រងទេ ជាពិសេសនៅក្នុងរន្ធជ្រៅ និងជ្រុងមួយចំនួនដែលថ្នាំកូតអាចស្តើងជាង។ ដោយសារតែភាពមិនស៊ីគ្នានៃ CTE (មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ) រវាងតួក្រាហ្វីត និងខ្សែភាពយន្ត SiC (25-1400 ℃ ដែលមានមធ្យមភាគ 4.4 × 10e-6/℃ សម្រាប់ SIC និង 7.1 × 10e-6/℃ សម្រាប់ក្រាហ្វីត) ខ្សែភាពយន្ត SiC ជាធម្មតាងាយនឹងជ្រុះបន្ទាប់ពីសីតុណ្ហភាពកើនឡើង និងធ្លាក់ចុះច្រើនដង។ នៅពេលដែលក្រាហ្វីតត្រូវបានប៉ះពាល់ ឧស្ម័ន ឬសារធាតុរាវដែលกัดกร่อนនឹងចូលទៅក្នុងតួក្រាហ្វីតដែលមានរន្ធញើស ហើយពិបាកដកចេញទាំងស្រុង ដោយហេតុនេះនាំឱ្យមានការបង្កើតភាគល្អិតនៅក្នុងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ទូកក្រាហ្វីតស្រោប SiC នេះមានតម្លៃថោកបំផុត និងមានអាយុកាលខ្លីបំផុត ប្រហែលមួយឆ្នាំ។
2. ទូកគ្រីស្តាល់ SiC ដែលបានគ្រីស្តាល់ឡើងវិញជាមួយនឹងថ្នាំកូត CVD-SiC
ទូកគ្រីស្តាល់ SiC ដែលបានកែច្នៃឡើងវិញជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការផ្សំ និងដំណើរការផ្នែកឯកតាជាច្រើនជាមុនសិន បន្ទាប់មកភ្ជាប់ផ្នែកនីមួយៗជាមួយនឹងប៉ាស្តា Si នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតជាទូកគ្រីស្តាល់ ហើយចុងក្រោយលាបថ្នាំកូត CVD-SiC (ប្រហែល 100 μm)។ ដោយសារតែគ្រីស្តាល់ឡើងវិញមានរន្ធញើស ភាគល្អិតក៏អាចត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងដំណើរការ semiconductor ដោយគ្មានថ្នាំកូត SiC ផងដែរ។ លើសពីនេះ ប៉ាស្តា Si នៅក្នុងតំបន់ភ្ជាប់មិនអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដូចគ្នានឹងសម្ភារៈ SiC បានទេ។ ដំណើរការផលិតទូកគ្រីស្តាល់ SiC ដែលបានកែច្នៃឡើងវិញជាមួយនឹងថ្នាំកូត CVD-SiC នេះគឺវែងបំផុត ហើយតម្លៃគឺខ្ពស់ណាស់។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងទូកគ្រីស្តាល់ក្រាហ្វីតដែលស្រោបដោយ SiC ទូកគ្រីស្តាល់ SiC ដែលបានកែច្នៃឡើងវិញដែលស្រោបដោយ CVD-SiC មិនមានបញ្ហាភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៃ CTE ទេ ប៉ុន្តែការលាងសម្អាតដោយអាស៊ីត និងការប៉ះទង្គិចគ្នាក៏អាចបណ្តាលឱ្យថ្នាំកូត SiC ជ្រុះផងដែរ។ អាយុកាលសេវាកម្មរបស់វាវែងជាងបន្តិច ប្រហែល 2 ទៅ 3 ឆ្នាំ។
៣. ទូកគ្រីស្តាល់ SiC មួយដុំដោយគ្មានថ្នាំកូត CVD
ចំពោះទូកគ្រីស្តាល់ដែលគ្មានថ្នាំកូត CVD ផ្ទៃត្រូវតែមានដង់ស៊ីតេ។ មានសម្ភារៈ SiC ដង់ស៊ីតេពីរប្រភេទ៖ SiC ស៊ីនធឺរដែលគ្មានសម្ពាធ (SSiC) និង SiC ស៊ីនធឺរប្រតិកម្ម (RBSiC ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា SiC ដែលជ្រាបចូលស៊ីលីកុន SiSiC)។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ SiC ទាំងពីរប្រភេទនេះមិនអាចបញ្ចូលគ្នាទៅជាឯកតាតែមួយដូចរ៉ែថ្មខៀវបានទេ។ វាមិនងាយស្រួលក្នុងការបង្កើត SiC ពីម្សៅ ហើយដុតវាទៅជារាងប្រហាក់ប្រហែលនៃទូកគ្រីស្តាល់ដុំតែមួយនោះទេ។ លើសពីនេះ SiC គឺរឹង និងពិបាកក្នុងការដំណើរការ ដែលនាំឱ្យមានថ្លៃដើមដំណើរការខ្ពស់ខ្លាំងសម្រាប់ទូកគ្រីស្តាល់ SiC ដុំតែមួយ។ ទោះបីជា RBSiC ងាយស្រួលបង្កើតរាងប្រហាក់ប្រហែលជាង SSiC បន្តិចក៏ដោយ វានៅតែរឹងខ្លាំង។ លើសពីនេះ RBSC មានផ្ទុក Si សេរី 10 ទៅ 15% ដែលធ្វើឱ្យវាមិនអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដូចគ្នានឹងសម្ភារៈ SSiC បានទេ។ ជាទូទៅ វាអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពក្រោម 1400 អង្សាសេ។ លើសពីនេះ Si សេរីត្រូវបានឆ្លាក់ដោយអាស៊ីត HF យ៉ាងងាយស្រួល ដែលនាំឱ្យមានភាគល្អិត។
៤.ទូកគ្រីស្តាល់ម៉ូឌុល Kallex SiC
ផ្នែកនីមួយៗត្រូវបានដំណើរការតាមរយៈការបង្កើត ការដុត និងការកិនដោយប្រើសម្ភារៈ SiC ដែលបានដុតដោយមិនប្រើសម្ពាធ ដែលមានភាពបរិសុទ្ធ 99.675%។ បន្ទាប់មកផ្សំវាជាមួយវីស SSiC គ្រាប់ជាដើម ហើយជួសជុលវាដោយម្ជុល SSiC ដើម្បីធានាបាននូវសមត្ថភាពទ្រទម្ងន់។ បើគ្មានថ្នាំកូត SiC ទេ វាមិនមានហានិភ័យនៃការខូចខាតថ្នាំកូតភាគល្អិតទេ។ លើសពីនេះ វាអាចប្រើបានយូរក្នុងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់ ដូចជាសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (1600℃) និងអាស៊ីត HF ជាមួយនឹងអាយុកាលសេវាកម្មជាងប្រាំឆ្នាំ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៩ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៥