1. Grafytkristalboat mei CVD-SiC-coating
Grafyt is maklik te ferwurkjen en kin troch meardere prosedueres fan ien blokmateriaal ta in iendielige kristalboat makke wurde. Omdat grafyt in poreus materiaal is, moat in SiC-laach mei in dikte fan sawat 100 μm op it oerflak oanbrocht wurde om it diels probleem te foarkommen dat feroarsake wurdt troch direkte bleatstelling fan it grafytoerflak oan ferskate healgeleiderproduksje. De dikte fan 'eCVD-SiC-coatingis net maklik te kontrolearjen, foaral yn guon djippe gatten en hoeken dêr't de coating tinner wêze kin. Troch de ferskil fan CTE (koëffisjint fan termyske útwreiding) tusken it grafytlichem en de SiC-film (25-1400 ℃, mei in gemiddelde fan 4,4 × 10e-6/℃ foar SIC en 7,1 × 10e-6/℃ foar grafyt), hat de SiC-film meastentiids de neiging om ôf te fallen nei ferskate temperatuerstigingen en -dalingen. As grafyt bleatsteld wurdt, sille korrosive gassen of floeistoffen it poreuze grafytlichem yngean en lestich folslein te ferwiderjen wêze, wat liedt ta de generaasje fan dieltsjes yn prosessen mei hege temperatuer. Dizze SiC-coated grafytboat is de goedkeapste en hat de koartste libbensdoer, sawat ien jier.
2. Opnij kristallisearre SiC-kristalboat mei CVD-SiC-coating
Rekristallisearre SiC-kristalboaten wurde meastentiids foarme troch it sinterjen en ferwurkjen fan ferskate ienheden earst, dan it binen fan elk ûnderdiel mei Si-pasta by hege temperatueren om in kristalboat te foarmjen, en úteinlik it oanbringen fan in CVD-SiC-coating (sawat 100 µm). Omdat rekristallisaasje poreus is, kin dieltsjes ek yn healgeleiderprosessen ynfierd wurde sûnder in SiC-coating. Derneist kin de Si-pasta yn 'e bondingsône net deselde hege temperatuer ferneare as it SiC-materiaal. It produksjeproses fan dizze rekristallisearre SiC-kristalboat mei CVD-SiC-coating is it langste en de kosten binne tige heech. Yn ferliking mei de grafytkristalboat bedekt mei SiC, hat de rekristallisearre SiC-kristalboat bedekt mei CVD-SiC gjin CTE-mismatchprobleem, mar soerwaskjen en botsing kinne ek feroarsaakje dat de SiC-coating ôffalt. De libbensdoer is wat langer, sawat 2 oant 3 jier.
3. Ien-stik SiC kristalboat sûnder CVD-coating
Foar kristalboaten sûnder CVD-coating moat it oerflak ticht wêze. Der binne twa soarten tichte SiC-materialen: drukleas sintere SiC (SSiC) en reaksje-sintere SiC (RBSiC, ek wol bekend as silisium-permeate SiC, SiSiC). Gjin fan dizze twa soarten SiC kin lykwols ta ien ienheid lykas kwarts fusearre wurde. It is net maklik om SiC út poeier te foarmjen en it te ferbaarnen yn in ungefeare foarm fan in iendielige kristalboat. Boppedat is SiC tige hurd en lestich te ferwurkjen, wat liedt ta ekstreem hege ferwurkingskosten foar iendielige SiC-kristalboaten. Hoewol RBSiC wat makliker in ungefeare foarm te jaan is as SSiC, is it noch altyd tige hurd. Derneist befettet RBSC 10 oant 15% frij Si, wêrtroch't it net deselde hege temperatueren kin wjerstean as SSiC-materialen. Yn 't algemien kin it temperatueren ûnder 1400 °C wjerstean. Boppedat wurdt it frije Si maklik etst troch HF-soer, wat liedt ta dieltsjes.
4. Kallex SiC Modular Crystal Boat
De ûnderdielen fan 'e ienheid wurde ferwurke troch foarmjaan, sinterjen en slypjen mei drukleas sintere SiC-materiaal mei in suverens fan 99,675%. Dêrnei wurde se tegearre kombinearre mei SSiC-skroeven, moeren, ensfh., en befestige mei SSiC-pinnen om de draachkapasiteit te garandearjen. Sûnder SiC-coating is der gjin risiko op skea oan 'e coating. Boppedat kin it lange tiid brûkt wurde yn rûge omjouwings, lykas hege temperatueren (1600 ℃) en HF-soer, mei in libbensdoer fan mear as fiif jier.
Pleatsingstiid: 19 augustus 2025