1. Grafitni kristalni čamac sa CVD-SiC premazom
Grafit se lako obrađuje i može se pretvoriti u kristalni čamac od jednog komada kroz više postupaka iz jednog bloka materijala. Budući da je grafit porozni materijal, na njegovu površinu mora se nanijeti sloj SiC debljine približno 100 μm kako bi se spriječio određeni problem uzrokovan direktnim izlaganjem grafitne površine raznim poluprovodničkim materijalima. Međutim, debljina...CVD-SiC premazNije lako kontrolisati, posebno u nekim dubokim rupama i uglovima gdje premaz može biti tanji. Zbog neusklađenosti CTE (koeficijent termičkog širenja) između grafitnog tijela i SiC filma (25-1400℃, sa prosjekom od 4,4×10e-6/℃ za SIC i 7,1×10e-6/℃ za grafit), SiC film obično ima tendenciju otpadanja nakon nekoliko porasta i padova temperature. Kada je grafit izložen, korozivni gasovi ili tečnosti će ući u porozno grafitno tijelo i teško ih je potpuno ukloniti, što dovodi do stvaranja čestica u procesima na visokim temperaturama. Ovaj SiC obloženi grafitni brod je najjeftiniji i ima najkraći vijek trajanja, otprilike godinu dana.
2. Rekristalizirani SiC kristalni čamac sa CVD-SiC premazom
Rekristalizirani SiC kristalni čamci se obično formiraju sinterovanjem i obradom nekoliko pojedinačnih dijelova, zatim lijepljenjem svakog dijela Si pastom na visokim temperaturama kako bi se formirao kristalni čamac, i na kraju nanošenjem CVD-SiC premaza (oko 100μm). Budući da je rekristalizacija porozna, čestice se mogu uvesti u poluprovodničke procese i bez SiC premaza. Osim toga, Si pasta u zoni lijepljenja ne može izdržati istu visoku temperaturu kao SiC materijal. Proces proizvodnje ovog rekristaliziranog SiC kristalnog čamca s CVD-SiC premazom je najduži, a cijena vrlo visoka. U poređenju s grafitnim kristalnim čamcem obloženim SiC-om, rekristalizirani SiC kristalni čamac obložen CVD-SiC-om nema problema s neusklađenošću CTE-a, ali pranje kiselinom i sudar također mogu uzrokovati otpadanje SiC premaza. Njegov vijek trajanja je nešto duži, oko 2 do 3 godine.
3. Jednodijelni SiC kristalni čamac bez CVD premaza
Za kristalne brodiće bez CVD premaza, površina mora biti gusta. Postoje dvije vrste gustih SiC materijala: sinterovani SiC bez pritiska (SSiC) i reakcijski sinterovani SiC (RBSiC, također poznat kao silicijum-prožeti SiC, SiSiC). Međutim, nijedan od ove dvije vrste SiC ne može se stopiti u jednu jedinicu kao kvarc. Nije lako formirati SiC iz praha i spaliti ga u približan oblik jednodijelnog kristalnog brodića. Štaviše, SiC je vrlo tvrd i teško ga je obraditi, što dovodi do izuzetno visokih troškova obrade jednodijelnih kristalnih brodića od jednog dijela. Iako je RBSiC nešto lakše formirati približan oblik od SSiC, on je i dalje vrlo tvrd. Osim toga, RBSC sadrži 10 do 15% slobodnog Si, što ga čini nesposobnim da izdrži iste visoke temperature kao SSiC materijali. Općenito, može izdržati temperature ispod 1400 °C. Štaviše, slobodni Si se lako nagriza HF kiselinom, što dovodi do čestica.
4. Kallex SiC modularni kristalni brod
Dijelovi jedinice se obrađuju oblikovanjem, sinterovanjem i brušenjem korištenjem sinterovanog SiC materijala bez pritiska čistoće 99,675%. Zatim se spajaju sa SSiC vijcima, maticama itd. i pričvršćuju SSiC klinovima kako bi se osigurala nosivost. Bez SiC premaza, ne postoji rizik od djelomičnog oštećenja premaza. Štaviše, može se dugo koristiti u teškim okruženjima, kao što su visoke temperature (1600℃) i HF kiselina, sa vijekom trajanja dužim od pet godina.
Vrijeme objave: 19. avg. 2025.