1. Bàta criostail grafait le còmhdach CVD-SiC
Tha grafait furasta a phròiseasadh agus faodar bàta criostail aon-phìos a dhèanamh dheth tro iomadh modh-obrach bho aon stuth bloca. Leis gur e stuth porous a th’ ann an grafait, feumar sreath SiC le tiugh de mu 100μm a chòmhdach air an uachdar aige gus casg a chuir air a’ chùis mhionaideach a tha air adhbhrachadh le bhith a’ nochdadh uachdar a’ ghrafait gu dìreach do dhiofar sheòrsaichean saothrachaidh leth-chonnsachaidh. Ach, tha tiugh anCòmhdach CVD-SiCChan eil e furasta a smachdachadh, gu h-àraidh ann an cuid de thuill dhomhainn agus oisnean far am faodadh an còmhdach a bhith nas taine. Air sgàth mì-chothromachadh CTE (co-èifeachd leudachaidh teirmeach) eadar corp a’ ghrafait agus am film SiC (25-1400 ℃, le cuibheasachd de 4.4 × 10e-6 / ℃ airson SIC agus 7.1 × 10e-6 / ℃ airson grafait), mar as trice bidh am film SiC a’ tuiteam dheth às deidh grunn àrdachadh is tuiteam ann an teòthachd. Nuair a bhios grafait fosgailte, thèid gasaichean no lionntan creimneach a-steach don chorp grafait porous agus bidh e duilich a thoirt air falbh gu tur, agus mar sin a’ leantainn gu gineadh pàirteach ann am pròiseasan àrd-teodhachd. Is e am bàta grafait còmhdaichte le SiC seo an fheadhainn as saoire agus tha an ùine-beatha as giorra aige, timcheall air bliadhna.
2. Bàta criostail SiC ath-chriostalaichte le còmhdach CVD-SiC
Mar as trice, bidh bàtaichean criostail SiC ath-chriostalaichte air an cruthachadh le bhith a’ sintering agus a’ giullachd grunn phàirtean aonad an toiseach, agus an uairsin a’ ceangal gach pàirt le pasg Si aig teòthachd àrd gus bàta criostail a chruthachadh, agus mu dheireadh a’ cur còmhdach CVD-SiC (mu 100um) air. Leis gu bheil ath-chriostalachadh porous, faodar mìrean a thoirt a-steach do phròiseasan leth-chonnsachaidh cuideachd às aonais còmhdach SiC. A bharrachd air an sin, chan urrainn don phasg Si anns an raon ceangail seasamh an aghaidh an aon teòthachd àrd ris an stuth SiC. Is e am pròiseas saothrachaidh den bhàta criostail SiC ath-chriostalaichte seo le còmhdach CVD-SiC an fheadhainn as fhaide agus tha a’ chosgais glè àrd. An coimeas ris a’ bhàta criostail grafait còmhdaichte le SiC, chan eil duilgheadas mì-cho-fhreagarrachd CTE aig a’ bhàta criostail SiC ath-chriostalaichte còmhdaichte le CVD-SiC, ach faodaidh nighe searbhagach agus bualadh adhbhrachadh gun tuit an còmhdach SiC dheth. Tha a bheatha seirbheis beagan nas fhaide, timcheall air 2 gu 3 bliadhna.
3. Bàta criostail SiC aon-phìos gun chòmhdach CVD
Airson bàtaichean criostail às aonais còmhdach CVD, feumaidh an uachdar a bhith dùmhail. Tha dà sheòrsa de stuthan SiC dùmhail ann: SiC sintéaraichte gun chuideam (SSiC) agus SiC sintéaraichte le ath-bhualadh (RBSiC, ris an canar cuideachd SiC le silicon-treòraichte, SiSiC). Ach, chan urrainnear gin de na dà sheòrsa SiC seo a leaghadh a-steach do aon aonad mar chuartas. Chan eil e furasta SiC a chruthachadh bho phùdar agus a losgadh gu cumadh tuairmseach bàta criostail aon-phìos. A bharrachd air an sin, tha SiC gu math cruaidh agus duilich a phròiseasadh, a tha ag adhbhrachadh cosgais giollachd gu math àrd airson bàtaichean criostail SiC aon-phìos. Ged a tha e beagan nas fhasa cumadh tuairmseach a chruthachadh ann an RBSiC na SSiC, tha e fhathast gu math cruaidh. A bharrachd air an sin, tha 10 gu 15% Si an-asgaidh ann an RBSC, a tha ga dhèanamh neo-chomasach seasamh an aghaidh na h-aon teòthachd àrd ri stuthan SSiC. San fharsaingeachd, faodaidh e seasamh an aghaidh teòthachd fo 1400 ° C. A bharrachd air an sin, tha an Si an-asgaidh furasta a ghràbhaladh le searbhag HF, ag adhbhrachadh pàirt.
4. Bàta Criostail Modúlach Kallex SiC
Tha pàirtean an aonaid air an giullachd tro bhith gan cruthachadh, gan sintearachd agus gan bleith le bhith a’ cleachdadh stuth SiC sintearachd gun chuideam le purrachd de 99.675%. An uairsin gan cur còmhla le sgriothan, cnothan, msaa. SSiC, agus gan daingneachadh le prìnichean SSiC gus dèanamh cinnteach à comas giùlain luchd. Às aonais còmhdach SiC, chan eil cunnart ann gun tèid milleadh a dhèanamh air a’ chòmhdach pàirteach. A bharrachd air an sin, faodar a chleachdadh airson ùine mhòr ann an àrainneachdan cruaidh, leithid teòthachd àrd (1600℃) agus searbhag HF, le beatha seirbheis nas fhaide na còig bliadhna.
Àm puist: 19 Lùnastal 2025