1. ເຮືອໄປເຊຍກັນກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີການເຄືອບ CVD-SiC
ກຣາໄຟທ໌ແມ່ນງ່າຍຕໍ່ການປຸງແຕ່ງ ແລະ ສາມາດເຮັດເປັນເຮືອຜລຶກຊິ້ນດຽວຜ່ານຫຼາຍຂັ້ນຕອນຈາກວັດສະດຸບລັອກດຽວ. ເນື່ອງຈາກກຣາໄຟທ໌ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີຮູພຸນ, ຊັ້ນ SiC ທີ່ມີຄວາມໜາປະມານ 100 μm ຕ້ອງໄດ້ເຄືອບຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງມັນເພື່ອປ້ອງກັນບັນຫາອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກການສຳຜັດໂດຍກົງຂອງໜ້າດິນກຣາໄຟທ໌ກັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຕ່າງໆ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມໜາຂອງການເຄືອບ CVD-SiCບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະຄວບຄຸມ, ໂດຍສະເພາະໃນບາງຮູເລິກ ແລະ ມຸມທີ່ການເຄືອບອາດຈະບາງລົງ. ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ກົງກັນຂອງ CTE (ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ) ລະຫວ່າງຮ່າງກາຍແກຣໄຟ ແລະ ຟິມ SiC (25-1400 ℃, ໂດຍສະເລ່ຍ 4.4 × 10e-6/℃ ສຳລັບ SIC ແລະ 7.1 × 10e-6/℃ ສຳລັບແກຣໄຟ), ຟິມ SiC ມັກຈະຫຼຸດອອກຫຼັງຈາກອຸນຫະພູມເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດລົງຫຼາຍຄັ້ງ. ເມື່ອແກຣໄຟຖືກສຳຜັດ, ອາຍແກັສ ຫຼື ຂອງແຫຼວທີ່ກັດກ່ອນຈະເຂົ້າໄປໃນຮ່າງກາຍແກຣໄຟທີ່ມີຮູພຸນ ແລະ ຍາກທີ່ຈະກຳຈັດອອກໝົດ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງນຳໄປສູ່ການສ້າງອະນຸພາກໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເຮືອແກຣໄຟທີ່ເຄືອບ SiC ນີ້ແມ່ນລາຄາຖືກທີ່ສຸດ ແລະ ມີອາຍຸການໃຊ້ງານສັ້ນທີ່ສຸດ, ປະມານໜຶ່ງປີ.
2. ເຮືອໄປເຊຍ SiC ທີ່ຖືກປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ດ້ວຍການເຄືອບ CVD-SiC
ເຮືອຜລຶກ SiC ທີ່ຖືກປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ມັກຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍການເຜົາ ແລະ ປຸງແຕ່ງສ່ວນຕ່າງໆກ່ອນ, ຈາກນັ້ນເຊື່ອມຕໍ່ແຕ່ລະສ່ວນດ້ວຍແປ້ງ Si ທີ່ອຸນຫະພູມສູງເພື່ອສ້າງເປັນເຮືອຜລຶກ, ແລະ ສຸດທ້າຍໃຊ້ການເຄືອບ CVD-SiC (ປະມານ 100um). ເນື່ອງຈາກການປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ມີຮູພຸນ, ອະນຸພາກຍັງສາມາດນຳເຂົ້າສູ່ຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳໄດ້ໂດຍບໍ່ຕ້ອງເຄືອບ SiC. ນອກຈາກນັ້ນ, ແປ້ງ SiC ໃນເຂດເຊື່ອມຕໍ່ບໍ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຄືກັນກັບວັດສະດຸ SiC. ຂະບວນການຜະລິດຂອງເຮືອຜລຶກ SiC ທີ່ຖືກປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ທີ່ມີການເຄືອບ CVD-SiC ນີ້ແມ່ນໃຊ້ເວລາດົນນານທີ່ສຸດ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງຫຼາຍ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຮືອຜລຶກ graphite ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC, ເຮືອຜລຶກ SiC ທີ່ຖືກປັບໂຄງສ້າງຄືນໃໝ່ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ CVD-SiC ບໍ່ມີບັນຫາການບໍ່ກົງກັນຂອງ CTE, ແຕ່ການລ້າງດ້ວຍກົດ ແລະ ການປະທະກັນຍັງສາມາດເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ SiC ຫຼຸດລົງໄດ້. ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງມັນຍາວກວ່າເລັກນ້ອຍ, ປະມານ 2 ຫາ 3 ປີ.
3. ເຮືອໄປເຊຍ SiC ຊິ້ນດຽວໂດຍບໍ່ມີການເຄືອບ CVD
ສຳລັບເຮືອໄປເຊຍກັນທີ່ບໍ່ມີການເຄືອບ CVD, ໜ້າດິນຕ້ອງມີຄວາມໜາແໜ້ນ. ມີວັດສະດຸ SiC ທີ່ໜາແໜ້ນສອງປະເພດຄື: SiC ທີ່ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນ (SSiC) ແລະ SiC ທີ່ມີການປະຕິກິລິຍາ (RBSiC, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ SiC ທີ່ຊຶມຜ່ານຊິລິກອນ, SiSiC). ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, SiC ສອງປະເພດນີ້ບໍ່ສາມາດລວມເຂົ້າກັນເປັນໜ່ວຍດຽວໄດ້ຄືກັບ quartz. ມັນບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະສ້າງ SiC ຈາກຜົງ ແລະ ເຜົາມັນເປັນຮູບຮ່າງປະມານຂອງເຮືອໄປເຊຍກັນຊິ້ນດຽວ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, SiC ແມ່ນແຂງຫຼາຍ ແລະ ຍາກທີ່ຈະປຸງແຕ່ງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການປຸງແຕ່ງສູງຫຼາຍສຳລັບເຮືອໄປເຊຍກັນ SiC ຊິ້ນດຽວ. ເຖິງແມ່ນວ່າ RBSiC ຈະງ່າຍກວ່າທີ່ຈະສ້າງຮູບຮ່າງປະມານກ່ວາ SSiC ເລັກນ້ອຍ, ແຕ່ມັນຍັງແຂງຫຼາຍ. ນອກຈາກນັ້ນ, RBSC ປະກອບດ້ວຍ Si ອິດສະຫຼະ 10 ຫາ 15%, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນບໍ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຄືກັນກັບວັດສະດຸ SSiC. ໂດຍທົ່ວໄປ, ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມຕ່ຳກວ່າ 1400 °C. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, Si ອິດສະຫຼະຖືກແກະສະຫຼັກໄດ້ງ່າຍໂດຍກົດ HF, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ອະນຸພາກ.
4. ເຮືອ Kallex SiC Modular Crystal
ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆຂອງໜ່ວຍງານຈະຖືກປຸງແຕ່ງຜ່ານການຂຶ້ນຮູບ, ການເຜົາ ແລະ ການບົດໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸ SiC ທີ່ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ 99.675%. ຈາກນັ້ນ, ໃຫ້ລວມເຂົ້າກັນກັບສະກູ, ນັອດ SSiC, ແລະອື່ນໆ, ແລະ ຕິດຕັ້ງມັນດ້ວຍໝຸດ SSiC ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ຳໜັກ. ໂດຍບໍ່ມີການເຄືອບ SiC, ຈະບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຈາກການເຄືອບອະນຸພາກ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ດົນນານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງ (1600℃) ແລະ ກົດ HF, ມີອາຍຸການໃຊ້ງານຫຼາຍກວ່າຫ້າປີ.
ເວລາໂພສ: ສິງຫາ-19-2025