1. CVD-SiC ڪوٽنگ سان گريفائيٽ ڪرسٽل بوٽ
گريفائيٽ پروسيس ڪرڻ ۾ آسان آهي ۽ هڪ بلاڪ مواد مان ڪيترن ئي طريقن سان هڪ سنگل پيس ڪرسٽل بوٽ ۾ ٺاهي سگهجي ٿو. جيئن ته گريفائيٽ هڪ سوراخ وارو مواد آهي، ان جي مٿاڇري تي تقريبن 100μm جي ٿولهه سان هڪ SiC پرت کي ڪوٽ ڪيو وڃي ته جيئن گريفائيٽ جي مٿاڇري جي مختلف سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سڌي نمائش جي ڪري پيدا ٿيندڙ ذراتي مسئلي کي روڪي سگهجي. بهرحال، جي ٿلهيسي وي ڊي-سي آءِ سي ڪوٽنگڪنٽرول ڪرڻ آسان ناهي، خاص طور تي ڪجهه گہرے سوراخن ۽ ڪنڊن ۾ جتي ڪوٽنگ پتلي ٿي سگهي ٿي. گريفائيٽ باڊي ۽ SiC فلم جي وچ ۾ CTE (حرارتي توسيع جي کوٽائي) جي بي ترتيب هجڻ جي ڪري (25-1400℃، SIC لاءِ سراسري طور تي 4.4×10e-6/℃ ۽ گريفائيٽ لاءِ 7.1×10e-6/℃)، SiC فلم عام طور تي ڪيترن ئي گرمي پد وڌڻ ۽ گهٽجڻ کان پوءِ ڪري پوندي آهي. جڏهن گريفائيٽ کي ظاهر ڪيو ويندو آهي، ته corrosive گيسون يا مائع سوراخ واري گريفائيٽ باڊي ۾ داخل ٿيندا ۽ مڪمل طور تي هٽائڻ ڏکيو هوندو، ان ڪري اعليٰ درجه حرارت جي عملن ۾ ذرات جي پيداوار ٿيندي. هي SiC ڪوٽيڊ گريفائيٽ ٻيڙي سڀ کان سستي آهي ۽ ان جي عمر گهٽ آهي، تقريبن هڪ سال.
2. سي وي ڊي-سي سي ڪوٽنگ سان ٻيهر ڪرسٽل ٿيل سي آءِ سي ڪرسٽل بوٽ
ري ڪرسٽلائيزڊ SiC ڪرسٽل بوٽ عام طور تي پهرين ڪيترن ئي يونٽ حصن کي سنٽرنگ ۽ پروسيسنگ ذريعي ٺاهيا ويندا آهن، پوءِ هر حصي کي تيز گرمي پد تي Si پيسٽ سان ڳنڍي هڪ ڪرسٽل بوٽ ٺاهيندا آهن، ۽ آخر ۾ CVD-SiC ڪوٽنگ (تقريبن 100um) لاڳو ڪندا آهن. ڇاڪاڻ ته ري ڪرسٽلائيزيشن سوراخ آهي، پارٽيڪل کي SiC ڪوٽنگ کان سواءِ سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ پڻ متعارف ڪرايو وڃي ٿو. ان کان علاوه، بانڊنگ زون ۾ Si پيسٽ SiC مواد جي ساڳئي تيز گرمي پد کي برداشت نٿو ڪري سگهي. CVD-SiC ڪوٽنگ سان هن ري ڪرسٽلائيزڊ SiC ڪرسٽل بوٽ جي پيداوار جو عمل سڀ کان ڊگهو آهي ۽ قيمت تمام گهڻي آهي. SiC سان ڍڪيل گريفائيٽ ڪرسٽل بوٽ جي مقابلي ۾، CVD-SiC سان ڍڪيل ري ڪرسٽلائيزڊ SiC ڪرسٽل بوٽ ۾ CTE جي بي ترتيبي جو ڪو مسئلو ناهي، پر تيزاب ڌوئڻ ۽ ٽڪراءُ پڻ SiC ڪوٽنگ کي گرڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو. ان جي سروس لائف ٿوري گهڻي آهي، تقريبن 2 کان 3 سال.
3. هڪ ٽڪرو SiC ڪرسٽل بوٽ بغير CVD ڪوٽنگ جي
ڪرسٽل ٻيڙين لاءِ جن ۾ CVD ڪوٽنگ نه هجي، مٿاڇري گهاٽ هجڻ گهرجي. ٻن قسمن جا گهاٽا SiC مواد آهن: پريشر ليس سنٽرڊ SiC (SSiC) ۽ ري ايڪشن-سنٽرڊ SiC (RBSiC، جنهن کي سلڪون-پرميٽڊ SiC، SiSiC پڻ چيو ويندو آهي). تنهن هوندي به، انهن ٻن قسمن جي SiC کي ڪوارٽز وانگر هڪ يونٽ ۾ نه ٿو ملايو وڃي. پائوڊر مان SiC ٺاهڻ ۽ ان کي هڪ ٽڪري سنگل پيس ڪرسٽل ٻيڙي جي لڳ ڀڳ شڪل ۾ ساڙڻ آسان ناهي. ان کان علاوه، SiC تمام ڏکيو ۽ پروسيس ڪرڻ ڏکيو آهي، جيڪو هڪ ٽڪري سنگل پيس SiC ڪرسٽل ٻيڙين لاءِ انتهائي اعليٰ پروسيسنگ قيمت جو سبب بڻجي ٿو. جيتوڻيڪ RBSiC SSiC جي ڀيٽ ۾ لڳ ڀڳ شڪل ٺاهڻ ۾ ٿورو آسان آهي، پر اهو اڃا تائين تمام ڏکيو آهي. ان کان علاوه، RBSC ۾ 10 کان 15٪ مفت Si شامل آهي، جيڪو ان کي SSiC مواد جي ساڳئي اعليٰ درجه حرارت کي برداشت ڪرڻ جي قابل نٿو بڻائي. عام طور تي، اهو 1400 ° C کان گهٽ درجه حرارت کي برداشت ڪري سگهي ٿو. ان کان علاوه، مفت Si کي HF ايسڊ سان آساني سان ايچ ڪيو ويندو آهي، جنهن جي ڪري پارٽيڪل ٿيندي آهي.
4. ڪيليڪس سي آءِ سي ماڊيولر ڪرسٽل بوٽ
يونٽ جي حصن کي 99.675٪ جي پاڪائي سان پريشر ليس سنٽرڊ SiC مواد استعمال ڪندي فارمنگ، سنٽرنگ ۽ گرائنڊنگ ذريعي پروسيس ڪيو ويندو آهي. پوءِ انهن کي SSiC اسڪرو، نٽ وغيره سان گڏ ڪريو، ۽ انهن کي SSiC پنن سان درست ڪريو ته جيئن لوڊ برداشت ڪرڻ جي صلاحيت کي يقيني بڻائي سگهجي. SiC ڪوٽنگ کان سواءِ، پارٽيڪل ڪوٽنگ جي نقصان جو ڪو به خطرو ناهي. ان کان علاوه، اهو سخت ماحول ۾ ڊگهي وقت تائين استعمال ڪري سگهجي ٿو، جهڙوڪ تيز گرمي پد (1600℃) ۽ HF ايسڊ، پنجن سالن کان وڌيڪ سروس لائف سان.
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-19-2025