Usoro Mmepụta 4 maka Ụgbọ Mmiri Wafer Silicon Carbide (SiC)

1. Ụgbọ mmiri kristal Graphite nwere mkpuchi CVD-SiC

Ọ dị mfe nhazi graphite, a pụkwara ime ka ọ bụrụ otu ụgbọ mmiri kristal site na ọtụtụ usoro site na otu ihe blọk. Ebe ọ bụ na graphite bụ ihe nwere oghere, a ga-ekpuchi oyi akwa SiC nke nwere ọkpụrụkpụ ihe dị ka 100 μm n'elu ya iji gbochie nsogbu nke akụkụ ahụ nke ikpughe elu graphite ozugbo nye ụdị mmepụta semiconductor dị iche iche. Agbanyeghị, ọkpụrụkpụ nkeMkpuchi CVD-SiCọ dịghị mfe ijikwa, ọkachasị n'ime oghere na nkuku miri emi ebe mkpuchi ahụ nwere ike ịdị gịrịgịrị. N'ihi enweghị njikọ nke CTE (ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ) n'etiti ahụ graphite na ihe nkiri SiC (25-1400℃, yana nkezi nke 4.4×10e-6/℃ maka SIC na 7.1×10e-6/℃ maka graphite), ihe nkiri SiC na-adakarị mgbe okpomọkụ gbagoro ma daa ọtụtụ ugboro. Mgbe graphite kpugheere ya, gas ma ọ bụ mmiri mmiri na-emebi emebi ga-abanye n'ahụ graphite oghere ma sie ike iwepụ kpamkpam, si otú a na-eduga n'inweta akụkụ n'ime usoro okpomọkụ dị elu. Ụgbọ mmiri graphite a nke SiC kpuchiri bụ nke kachasị ọnụ ala ma nwee ndụ kacha mkpụmkpụ, ihe dị ka otu afọ.

2. Ụgbọ mmiri SiC Crystal nke e megharịrị emegharị nwere mkpuchi CVD-SiC

A na-akpụkarị ụgbọ mmiri kristal SiC e megharịrị emegharị site n'ịsachapụ ma hazie ọtụtụ akụkụ nkeji mbụ, wee jikọta akụkụ ọ bụla na pasta Si na okpomọkụ dị elu iji mepụta ụgbọ mmiri kristal, wee tinye mkpuchi CVD-SiC (ihe dị ka 100um). Ebe ọ bụ na recrystallization bụ oghere, enwere ike itinye akụkụ n'ime usoro semiconductor na-enweghị mkpuchi SiC. Na mgbakwunye, pasta Si na mpaghara njikọ enweghị ike iguzogide otu okpomọkụ dị elu dị ka ihe SiC. Usoro mmepụta nke ụgbọ mmiri kristal SiC a megharịrị emegharị nwere mkpuchi CVD-SiC bụ nke kachasị ogologo ma ọnụ ahịa ya dị oke elu. Ma e jiri ya tụnyere ụgbọ mmiri kristal graphite nke e ji SiC kpuchie, ụgbọ mmiri kristal SiC e megharịrị emegharị nke e ji CVD-SiC kpuchie enweghị nsogbu CTE na-adabaghị, mana ịsacha acid na nkpọkọ nwekwara ike ime ka mkpuchi SiC daa. Ndụ ọrụ ya dị ntakịrị ogologo, ihe dị ka afọ 2 ruo 3.

3. Ụgbọ mmiri SiC Crystal nke otu akụkụ na-enweghị mkpuchi CVD

Maka ụgbọ mmiri kristal na-enweghị mkpuchi CVD, elu ya ga-adị oke. E nwere ụdị ihe SiC abụọ dị oke arọ: SiC na-enweghị nrụgide (SSiC) na SiC na-eme ka mmeghachi omume sie ike (RBSiC, nke a makwaara dị ka silicon-permeated SiC, SiSiC). Agbanyeghị, ọ dịghị nke ọ bụla n'ime ụdị SiC abụọ a nwere ike ijikọta n'otu unit dị ka quartz. Ọ dịghị mfe ịmepụta SiC site na ntụ ntụ ma gbaa ya ọkụ ka ọ bụrụ ihe dị ka otu ụgbọ mmiri kristal otu iberibe. Ọzọkwa, SiC siri ike ma sie ike nhazi, nke na-eduga na ọnụ ahịa nhazi dị oke elu maka ụgbọ mmiri kristal SiC otu iberibe otu iberibe. Ọ bụ ezie na RBSiC dị ntakịrị mfe ịmepụta ọdịdị dị ka SSiC, ọ ka siri ike. Na mgbakwunye, RBSC nwere Si 10 ruo 15% n'efu, nke na-eme ka ọ ghara inwe ike iguzogide otu okpomọkụ dị elu dị ka ihe SSiC. N'ozuzu, ọ nwere ike iguzogide okpomọkụ dị n'okpuru 1400 ° C. Ọzọkwa, a na-eji acid HF tee Si free ngwa ngwa, na-eduga na akụkụ.

4.Kallex SiC Modular Crystal Boat

A na-eji ihe SiC nke na-enweghị nrụgide emezi akụkụ nke otu ahụ, na-akpụ ya, na-egweri ya, site na iji ihe SiC nke na-enweghị nrụgide, nke dị ọcha nke 99.675%. Mgbe ahụ, jikọta ha na skru SSiC, mkpụrụ, wdg, ma jiri SSiC pin dozie ha iji hụ na ibu ibu ahụ dị. Na-enweghị mkpuchi SiC, ọ dịghị ihe egwu nke mmebi nke mkpuchi akụkụ. Ọzọkwa, enwere ike iji ya ruo ogologo oge n'ebe siri ike, dị ka okpomọkụ dị elu (1600℃) na HF acid, yana ndụ ọrụ karịrị afọ ise.