1. Sekepe sa Crystal sa Graphite se nang le seaparo sa CVD-SiC
Graphite e bonolo ho e sebetsana mme e ka etswa sekepe sa kristale sa karolo e le nngwe ka mekgwa e mengata ho tswa ho thepa e le nngwe ya boloko. Kaha graphite ke thepa e nang le masoba, lera la SiC le nang le botenya ba hoo e ka bang 100μm le tlameha ho kwahelwa hodima bokahodimo ba lona ho thibela bothata bo itseng bo bakwang ke ho pepesehela bokahodimo ba graphite ka kotloloho tlhahisong e fapaneng ya di-semiconductor. Leha ho le jwalo, botenya baSeaparo sa CVD-SiCHa ho bonolo ho e laola, haholo-holo masobeng a mang a tebileng le likhutlong moo ho koaheloang ho ka bang mosesaane. Ka lebaka la ho se lumellane ha CTE (coefficient of thermal expansion) pakeng tsa 'mele oa graphite le filimi ea SiC (25-1400℃, ka karolelano ea 4.4×10e-6/℃ bakeng sa SIC le 7.1×10e-6/℃ bakeng sa graphite), filimi ea SiC hangata e atisa ho oa ka mor'a hore mocheso o phahame 'me o theohe ka makhetlo a' maloa. Ha graphite e pepesitsoe, likhase tse senyang kapa metsi a tla kena 'meleng oa graphite o nang le masoba 'me ho be thata ho o tlosa ka ho feletseng, kahoo ho lebisa tlhahisong ea karoloana lits'ebetsong tsa mocheso o phahameng. Sekepe sena sa graphite se koahetsoeng ke SiC ke se theko e tlaase 'me se na le nako e khutšoanyane ka ho fetisisa ea bophelo, hoo e ka bang selemo se le seng.
2. Sekepe sa Crystal sa SiC se entsoeng hape se nang le CVD-SiC Coating
Likepe tsa kristale tsa SiC tse nchafalitsoeng hangata li etsoa ka ho sila le ho sebetsana le likarolo tse 'maloa tsa yuniti pele, ebe li kopanya karolo ka 'ngoe le Si paste mochesong o phahameng ho etsa sekepe sa kristale, 'me qetellong li sebelisa CVD-SiC coating (hoo e ka bang 100um). Hobane recrystallization e na le masoba, karolo e itseng e ka boela ea kenngoa lits'ebetsong tsa semiconductor ntle le coating ea SiC. Ho phaella moo, Si paste sebakeng sa bond e ke ke ea mamella mocheso o phahameng o tšoanang le oa thepa ea SiC. Ts'ebetso ea tlhahiso ea sekepe sena sa kristale sa SiC se nchafalitsoeng se nang le coating ea CVD-SiC ke e telele ka ho fetisisa 'me litšenyehelo li holimo haholo. Ha e bapisoa le sekepe sa kristale sa graphite se koahetsoeng ka SiC, sekepe sa kristale sa SiC se nchafalitsoeng se koahetsoeng ka CVD-SiC ha se na bothata ba ho se tšoane ha CTE, empa ho hlatsoa ka asiti le ho thulana le hona ho ka etsa hore coating ea SiC e oe. Bophelo ba eona ba ts'ebeletso bo bolelele hanyane, lilemo tse ka bang 2 ho isa ho tse 3.
3. Sekepe sa Crystal sa SiC se nang le karolo e le 'ngoe se se nang seaparo sa CVD
Bakeng sa likepe tsa kristale tse se nang CVD coating, bokaholimo bo tlameha ho ba bo teteaneng. Ho na le mefuta e 'meli ea thepa e teteaneng ea SiC: SiC e se nang khatello (SSiC) le SiC e sintered reaction (RBSiC, e tsejoang hape e le silicon-permeated SiC, SiSiC). Leha ho le joalo, ha ho le e 'ngoe ea mefuta ena e 'meli ea SiC e ka kopanngoang ho ba yuniti e le 'ngoe joalo ka quartz. Ha ho bonolo ho etsa SiC ho tsoa phofong le ho e chesa hore e be sebopeho se batlang se tšoana le sekepe sa kristale se nang le karolo e le 'ngoe. Ho feta moo, SiC e thata haholo ebile e thata ho e sebetsana, e leng se lebisang litšenyehelong tse phahameng haholo tsa ts'ebetso bakeng sa likepe tsa kristale tsa SiC tse nang le karolo e le 'ngoe. Le hoja RBSiC e le bonolo hanyane ho etsa sebopeho se batlang se tšoana le SSiC, e ntse e le thata haholo. Ho phaella moo, RBSC e na le Si e lokolohileng ea 10 ho isa ho 15%, e leng se etsang hore e se khone ho mamella mocheso o tšoanang le oa thepa ea SSiC. Ka kakaretso, e ka mamella mocheso o ka tlase ho 1400 ° C. Ho feta moo, Si e lokolohileng e betloa habonolo ke HF acid, e leng se lebisang ho karolo e itseng.
4. Sekepe sa Kallex SiC Modular Crystal
Likarolo tsa yuniti li sebetsoa ka ho etsa, ho sila le ho sila ho sebelisoa thepa ea SiC e silang e se nang khatello e hloekileng ea 99.675%. Ebe u li kopanya hammoho le li-screw tsa SSiC, linate, jj., 'me u li lokise ka li-pin tsa SSiC ho netefatsa bokhoni ba ho jara mojaro. Ntle le ho koaheloa ha SiC, ha ho na kotsi ea tšenyo e itseng ea ho koaheloa. Ho feta moo, e ka sebelisoa nako e telele libakeng tse thata, tse kang mocheso o phahameng (1600℃) le HF acid, ka bophelo ba tšebeletso ba lilemo tse fetang tse hlano.
Nako ea poso: Phato-19-2025