1. Bangka na Kristal na Graphite na may Patong na CVD-SiC
Madaling iproseso ang grapayt at maaaring gawing isang bangkang kristal na may iisang piraso sa pamamagitan ng maraming pamamaraan mula sa isang bloke lamang. Dahil ang grapayt ay isang porous na materyal, ang isang SiC layer na may kapal na humigit-kumulang 100μm ay dapat na pahiran sa ibabaw nito upang maiwasan ang partikular na problemang dulot ng direktang pagkakalantad ng ibabaw ng grapayt sa iba't ibang paggawa ng semiconductor. Gayunpaman, ang kapal ngPatong na CVD-SiCay hindi madaling kontrolin, lalo na sa ilang malalalim na butas at sulok kung saan maaaring mas manipis ang patong. Dahil sa hindi pagtutugma ng CTE (coefficient of thermal expansion) sa pagitan ng katawan ng grapayt at ng SiC film (25-1400℃, na may average na 4.4×10e-6/℃ para sa SIC at 7.1×10e-6/℃ para sa grapayt), ang SiC film ay karaniwang may posibilidad na mahulog pagkatapos ng ilang pagtaas at pagbaba ng temperatura. Kapag nalantad ang grapayt, ang mga kinakaing unti-unting gas o likido ay papasok sa porous na katawan ng grapayt at magiging mahirap tanggalin nang tuluyan, kaya humahantong sa pagbuo ng mga particle sa mga prosesong may mataas na temperatura. Ang SiC coated graphite boat na ito ang pinakamura at may pinakamaikling lifespan, humigit-kumulang isang taon.
2. Muling kristalisang SiC Crystal Boat na may CVD-SiC Coating
Ang mga recrystallized SiC crystal boat ay karaniwang nabubuo sa pamamagitan ng sintering at pagproseso ng ilang bahagi ng yunit muna, pagkatapos ay pinagbubuklod ang bawat bahagi gamit ang Si paste sa mataas na temperatura upang bumuo ng isang crystal boat, at sa huli ay naglalagay ng CVD-SiC coating (mga 100um). Dahil ang recrystallization ay porous, ang particle ay maaari ring ipasok sa mga proseso ng semiconductor nang walang SiC coating. Bukod pa rito, ang Si paste sa bonding zone ay hindi kayang tiisin ang parehong mataas na temperatura gaya ng materyal na SiC. Ang proseso ng paggawa ng recrystallized SiC crystal boat na ito na may CVD-SiC coating ang pinakamahaba at napakataas ng gastos. Kung ikukumpara sa graphite crystal boat na pinahiran ng SiC, ang recrystallized SiC crystal boat na pinahiran ng CVD-SiC ay walang problema sa CTE mismatch, ngunit ang acid washing at collision ay maaari ring maging sanhi ng pagkahulog ng SiC coating. Ang buhay ng serbisyo nito ay bahagyang mas mahaba, mga 2 hanggang 3 taon.
3. Isang pirasong SiC Crystal Boat na Walang CVD Coating
Para sa mga bangkang kristal na walang CVD coating, dapat siksik ang ibabaw. Mayroong dalawang uri ng siksik na materyales na SiC: pressureless sintered SiC (SSiC) at reaction-sintered SiC (RBSiC, kilala rin bilang silicon-permeated SiC, SiSiC). Gayunpaman, wala sa dalawang uri ng SiC na ito ang maaaring pagsamahin sa isang yunit tulad ng quartz. Hindi madaling bumuo ng SiC mula sa pulbos at sunugin ito sa isang tinatayang hugis ng isang one-piece single-piece crystal boat. Bukod dito, ang SiC ay napakatigas at mahirap iproseso, na humahantong sa napakataas na gastos sa pagproseso para sa mga one-piece single-piece SiC crystal boat. Bagama't ang RBSiC ay bahagyang mas madaling bumuo ng tinatayang hugis kaysa sa SSiC, ito ay napakatigas pa rin. Bukod pa rito, ang RBSC ay naglalaman ng 10 hanggang 15% na libreng Si, na ginagawa itong hindi kayang tiisin ang parehong mataas na temperatura tulad ng mga materyales na SSiC. Sa pangkalahatan, kaya nitong tiisin ang mga temperaturang mas mababa sa 1400 °C. Bukod dito, ang libreng Si ay madaling inukit ng HF acid, na humahantong sa partical.
4. Kallex SiC Modular na Kristal na Bangka
Ang mga bahagi ng yunit ay pinoproseso sa pamamagitan ng paghubog, pagsasanla, at paggiling gamit ang pressureless sintered SiC material na may kadalisayan na 99.675%. Pagkatapos ay pinagsasama-sama ang mga ito gamit ang mga SSiC screw, nuts, atbp., at ikinakabit gamit ang mga SSiC pin upang matiyak ang kapasidad sa pagdadala ng karga. Kung walang SiC coating, walang panganib na masira ang partial coating. Bukod dito, maaari itong gamitin nang matagal sa malupit na kapaligiran, tulad ng mataas na temperatura (1600℃) at HF acid, na may lifetime na higit sa limang taon.
Oras ng pag-post: Agosto-19-2025