Awọn ilana iṣelọpọ mẹrin fun ọkọ oju omi wafer Silicon Carbide (SiC)

1.Ọkọ̀ ojú omi Kírísítà Gráfítì pẹ̀lú ìbòrí CVD-SiC

Ó rọrùn láti ṣe àgbékalẹ̀ graphite, a sì lè ṣe é gẹ́gẹ́ bí ọkọ̀ ojú omi kirisita kan ṣoṣo nípasẹ̀ ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìlànà láti inú ohun èlò bulọọki kan. Nítorí pé graphite jẹ́ ohun èlò oníhò, a gbọ́dọ̀ fi aṣọ SiC kan tí ó ní ìwọ̀n tó tó 100μm bo ojú rẹ̀ láti dènà ìṣòro díẹ̀ tí ó wáyé nítorí ìfarahàn tààrà sí oríṣiríṣi iṣẹ́ semiconductor. Síbẹ̀síbẹ̀, ìwọ̀n náàIbora CVD-SiCKò rọrùn láti ṣàkóso, pàápàá jùlọ ní àwọn ihò jíjìn àti igun kan níbi tí ìbòrí náà ti lè jẹ́ tinrin. Nítorí àìbáramu CTE (ìṣọ̀kan ìfàsẹ́yìn ooru) láàárín ara graphite àti fíìmù SiC (25-1400℃, pẹ̀lú àròpín 4.4×10e-6/℃ fún SIC àti 7.1×10e-6/℃ fún graphite), fíìmù SiC sábà máa ń jábọ́ lẹ́yìn ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbóná àti ìṣàn. Nígbà tí a bá farahàn graphite, àwọn gáàsì oníbàjẹ́ tàbí omi yóò wọ inú ara graphite oníhò tí ó ní ihò náà, yóò sì ṣòro láti yọ kúrò pátápátá, èyí tí yóò mú kí àwọn ohun èlò díẹ̀ jáde nínú àwọn iṣẹ́ ìgbóná gíga. Ọkọ̀ graphite tí a fi SiC bo yìí ni ó rẹlẹ̀ jùlọ, ó sì ní ìgbésí ayé kúkúrú, tó nǹkan bí ọdún kan.

2. Ọkọ̀ ojú omi SiC Crystal tí a tún ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ìbòrí CVD-SiC

Àwọn ọkọ̀ ojú omi SiC tí a tún ṣe àtúnṣe sábà máa ń ṣẹ̀dá nípa síntering àti ṣíṣe àwọn ẹ̀yà ara ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ ní àkọ́kọ́, lẹ́yìn náà so apá kọ̀ọ̀kan pọ̀ mọ́ Si paste ní iwọ̀n otútù gíga láti ṣẹ̀dá ọkọ̀ ojú omi kristali, àti ní ìkẹyìn lílo àwọ̀ CVD-SiC (tó tó 100um). Nítorí pé àtúnṣe náà jẹ́ ihò, a lè fi apá kan sínú àwọn ìlànà semiconductor láìsí àwọ̀ SiC. Ní àfikún, àwọ̀ Si ní agbègbè ìsopọ̀ kò le fara da iwọ̀n otútù gíga kan náà gẹ́gẹ́ bí ohun èlò SiC. Ìlànà ìṣelọ́pọ́ ọkọ̀ ojú omi kristali SiC tí a tún ṣe àtúnṣe yìí pẹ̀lú àwọ̀ CVD-SiC ni ó gùn jùlọ àti iye owó rẹ̀ ga gan-an. Ní ìfiwéra pẹ̀lú ọkọ̀ ojú omi kristali graphite tí a fi SiC bo, ọkọ̀ ojú omi kristali SiC tí a tún ṣe àtúnṣe tí a fi CVD-SiC bo kò ní ìṣòro àìbáramu CTE, ṣùgbọ́n fífọ acid àti ìkọlù tún lè fa kí àwọ̀ SiC jábọ́. Ìgbésí ayé iṣẹ́ rẹ̀ gùn díẹ̀, tó nǹkan bí ọdún 2 sí 3.

3. Ọkọ̀ ojú omi SiC Crystal kan tí kò ní ìbòrí CVD

Fún àwọn ọkọ̀ ojú omi kírísítà tí kò ní ìbòrí CVD, ojú ilẹ̀ náà gbọ́dọ̀ nípọn. Oríṣi ohun èlò SiC onípele méjì ló wà: SiC tí kò ní ìtẹ̀síwájú (SSiC) àti SiC tí a fi ìfèsì-sínẹ́ẹ̀tì ṣe (RBSiC, tí a tún mọ̀ sí silicon-permeated SiC, SiSiC). Síbẹ̀síbẹ̀, kò sí èyíkéyìí nínú àwọn irú SiC méjì wọ̀nyí tí a lè so pọ̀ mọ́ ẹyọ kan bí quartz. Kò rọrùn láti ṣẹ̀dá SiC láti inú lulú kí a sì sun ún ní ìrísí tó súnmọ́ bí ọkọ̀ ojú omi kírísítà onípele kan. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, SiC le gan-an ó sì ṣòro láti ṣe, èyí tí ó ń yọrí sí iye owó ìṣiṣẹ́ gíga gan-an fún àwọn ọkọ̀ ojú omi kírísítà SiC onípele kan. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó rọrùn díẹ̀ láti ṣẹ̀dá ìrísí tó súnmọ́ ju SSiC lọ, ó ṣì le gan-an. Ní àfikún, RBSC ní 10 sí 15% ọ̀fẹ́ Si, èyí tí ó mú kí ó má ​​lè fara da ìgbóná gíga kan náà bí àwọn ohun èlò SSiC. Ní gbogbogbòò, ó lè fara da ìgbóná tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 1400 ° C. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, a lè fi HF acid HF gé Si free náà, èyí tí ó ń yọrí sí ìpín.

4.Kallex SiC Modular Crystal Boat

A máa ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ẹ̀yà ara náà nípasẹ̀ ìṣẹ̀dá, síntẹ́ àti fífọ́ nípa lílo ohun èlò SiC tí kò ní ìfúnpá pẹ̀lú mímọ́ tónítóní ti 99.675%. Lẹ́yìn náà, da wọ́n pọ̀ mọ́ àwọn skru SSiC, èso, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, kí o sì fi àwọn pin SSiC ṣe é láti rí i dájú pé ó ní agbára láti gbé ẹrù náà. Láìsí ìbòrí SiC, kò sí ewu ìbòrí díẹ̀. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, a lè lò ó fún ìgbà pípẹ́ ní àwọn àyíká líle koko, bí i otútù gíga (1600℃) àti HF acid, pẹ̀lú ìgbésí ayé iṣẹ́ tí ó ju ọdún márùn-ún lọ.