1.ግራፋይት ክሪስታል ጀልባ ከሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን ጋር
ግራፋይት ለማቀነባበር ቀላል ሲሆን ከአንድ ብሎክ ቁሳቁስ በተለያዩ ሂደቶች አማካኝነት ወደ አንድ ቁራጭ ክሪስታል ጀልባ ሊሠራ ይችላል። ግራፋይት ቀዳዳ ያለው ቁሳቁስ ስለሆነ፣ የግራፋይት ወለል ለተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻዎች ቀጥተኛ መጋለጥ የሚያስከትለውን ከፊል ችግር ለመከላከል በግምት 100 μm ውፍረት ያለው የሲሲ ንብርብር በላዩ ላይ መቀባት አለበት። ሆኖም ግን፣ የየሲቪዲ-ሲሲ ሽፋንበተለይም ሽፋኑ ቀጭን ሊሆን በሚችልባቸው አንዳንድ ጥልቅ ጉድጓዶችና ማዕዘኖች ውስጥ ለመቆጣጠር ቀላል አይደለም። በግራፍይት አካል እና በሲሲ ፊልም (25-1400℃፣ በአማካይ ለሲሲ 4.4×10e-6/℃ እና ለግራፋይት 7.1×10e-6/℃) መካከል ባለው የCTE (የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት) አለመጣጣም ምክንያት፣ የSiC ፊልም ብዙውን ጊዜ ብዙ የሙቀት መጨመር እና መውደቅ ካለፈ በኋላ ይወድቃል። ግራፋይት ሲጋለጥ፣ ዝገት የሚፈጥሩ ጋዞች ወይም ፈሳሾች ወደ ቀዳዳው ግራፋይት አካል ውስጥ ይገባሉ እና ሙሉ በሙሉ ለማስወገድ አስቸጋሪ ይሆናሉ፣ በዚህም ምክንያት በከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች ውስጥ ከፊል እንዲፈጠር ያደርጋል። ይህ የሲሲ ሽፋን ያለው ግራፋይት ጀልባ በጣም ርካሹ እና አጭር የህይወት ዘመን አለው፣ በግምት አንድ ዓመት።
2.እንደገና የተቀረጸ የሲሲ ክሪስታል ጀልባ ከሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን ጋር
እንደገና የተገነቡ የሲሲ ክሪስታል ጀልባዎች ብዙውን ጊዜ የሚፈጠሩት በመጀመሪያ በርካታ የዩኒት ክፍሎችን በማጣራት እና በማቀነባበር ሲሆን ከዚያም እያንዳንዱን ክፍል በከፍተኛ ሙቀት ከሲ ፓስታ ጋር በማያያዝ ክሪስታል ጀልባ ለመፍጠር እና በመጨረሻም የሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን (100um አካባቢ) በመተግበር ነው። እንደገና የተገነቡት ቀዳዳዎች ስላሉት፣ ከፊል ደግሞ የሲሲ ሽፋን ሳይኖር በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ሊገባ ይችላል። በተጨማሪም፣ በማያያዝ ዞን ውስጥ ያለው የሲ ፓስታ ከሲሲ ቁሳቁስ ጋር ተመሳሳይ የሆነ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም አይችልም። የዚህ እንደገና የተገነቡ የሲሲ ክሪስታል ጀልባ ከሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን ጋር የማምረት ሂደት ረጅሙ ሲሆን ዋጋውም በጣም ከፍተኛ ነው። በሲሲ ከተሸፈነው ግራፋይት ክሪስታል ጀልባ ጋር ሲነጻጸር፣ በሲቪዲ-ሲሲ የተሸፈነው እንደገና የተሻሻሉ የሲሲ ክሪስታል ጀልባ የCTE አለመመጣጠን ችግር የለውም፣ ነገር ግን የአሲድ ማጠቢያ እና ግጭት የሲሲ ሽፋን እንዲወድቅ ሊያደርግ ይችላል። የአገልግሎት ህይወቱ ትንሽ ረዘም ያለ ነው፣ ከ2 እስከ 3 ዓመታት አካባቢ።
3. አንድ ቁራጭ የሲሲ ክሪስታል ጀልባ ያለ ሲቪዲ ሽፋን
የሲቪዲ ሽፋን ለሌላቸው ክሪስታል ጀልባዎች፣ ወለሉ ጥቅጥቅ ያለ መሆን አለበት። ሁለት አይነት ጥቅጥቅ ያሉ የሲሲ ቁሳቁሶች አሉ፡ ግፊት የሌለው ሲንተርድ ሲሲ (SSiC) እና ምላሽ-ሲሲንትድ ሲሲ (RBSiC፣ እንዲሁም ሲሊኮን-ፐርሜሬትድ ሲሲ፣ ሲሲሲ በመባልም ይታወቃል)። ሆኖም፣ ከእነዚህ ሁለት የሲሲ ዓይነቶች ውስጥ አንዳቸውም እንደ ኳርትዝ በአንድ ክፍል ውስጥ ሊዋሃዱ አይችሉም። ከዱቄት ሲሲ መፍጠር እና እንደ አንድ ቁራጭ ክሪስታል ጀልባ ግምታዊ ቅርፅ ማቃጠል ቀላል አይደለም። ከዚህም በላይ ሲሲ በጣም ከባድ እና ለማስኬድ አስቸጋሪ ነው፣ ይህም ለአንድ ቁራጭ ነጠላ ቁራጭ ሲሲ ክሪስታል ጀልባዎች እጅግ በጣም ከፍተኛ የማቀነባበሪያ ወጪ ያስከትላል። ምንም እንኳን RBSiC ከኤስሲሲ ግምታዊ ቅርፅ ለመፍጠር ትንሽ ቀላል ቢሆንም፣ አሁንም በጣም ከባድ ነው። በተጨማሪም፣ RBSC ከ10 እስከ 15% ነፃ ሲ ይዟል፣ ይህም እንደ ኤስሲሲ ቁሳቁሶች ተመሳሳይ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም አይችልም። በአጠቃላይ፣ ከ1400 ° ሴ በታች የሙቀት መጠንን መቋቋም ይችላል። ከዚህም በላይ፣ ነፃ ሲ በኤችኤፍ አሲድ በቀላሉ የተቀረጸ ሲሆን ይህም ወደ ከፊል ይመራል።
4.ካሌክስ ሲሲ ሞዱላር ክሪስታል ጀልባ
የክፍሎቹ ክፍሎች የሚቀነባበሩት ግፊት በሌለው የሲሲ ቁሳቁስ 99.675% ንፁህ በመጠቀም ሲሆን ከዚያም ከኤስሲሲ ዊንጮች፣ ለውዝ፣ ወዘተ ጋር ያዋህዷቸው እና የጭነት ተሸካሚ አቅምን ለማረጋገጥ በኤስሲሲ ፒኖች ያስተካክሏቸው። የሲሲሲ ሽፋን ከሌለ፣ በከፊል ሽፋን ላይ የመጉዳት አደጋ የለም። ከዚህም በላይ፣ እንደ ከፍተኛ ሙቀት (1600℃) እና HF አሲድ ባሉ አስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፣ ከአምስት ዓመት በላይ የአገልግሎት ዘመን አለው።
የፖስታ ሰዓት፡ ኦገስት-19-2025