1. CVD-SiC örtüklü qrafit kristal qayığı
Qrafit emal etmək asandır və tək blok materialdan birdən çox prosedur vasitəsilə tək hissəli kristal qayığa çevrilə bilər. Qrafit məsaməli bir material olduğundan, qrafit səthinin müxtəlif yarımkeçirici istehsala birbaşa məruz qalmasının yaratdığı hissəcik probleminin qarşısını almaq üçün onun səthinə təxminən 100 μm qalınlığında SiC təbəqəsi örtülməlidir. Lakin, qalınlığıCVD-SiC örtükXüsusilə örtüyün daha incə ola biləcəyi bəzi dərin dəliklərdə və künclərdə idarə etmək asan deyil. Qrafit gövdəsi ilə SiC filmi arasında CTE (istilik genişlənmə əmsalı) uyğunsuzluğu səbəbindən (25-1400℃, SIC üçün orta hesabla 4.4×10e-6/℃ və qrafit üçün 7.1×10e-6/℃), SiC filmi adətən bir neçə dəfə temperatur yüksəldikdən və düşdükdən sonra düşməyə meyllidir. Qrafit məruz qaldıqda, korroziyalı qazlar və ya mayelər məsaməli qrafit gövdəsinə daxil olacaq və tamamilə çıxarılması çətin olacaq, beləliklə, yüksək temperaturlu proseslərdə hissəciklərin əmələ gəlməsinə səbəb olacaq. Bu SiC örtüklü qrafit qayığı ən ucuzdur və ən qısa ömrünə malikdir, təxminən bir il.
2. CVD-SiC örtüklü yenidən kristallaşdırılmış SiC kristal qayığı
Yenidən kristallaşdırılmış SiC kristal qayıqları adətən əvvəlcə bir neçə hissənin sinterləşdirilməsi və emalı, sonra hər bir hissənin yüksək temperaturda Si pastası ilə birləşdirilərək kristal qayıq əmələ gətirilməsi və nəhayət CVD-SiC örtüyü (təxminən 100 um) tətbiq edilməsi ilə formalaşır. Yenidən kristallaşma məsaməli olduğundan, hissəciklər SiC örtüyü olmadan yarımkeçirici proseslərə də daxil edilə bilər. Bundan əlavə, bağlanma zonasındakı Si pastası SiC materialı ilə eyni yüksək temperatura davam gətirə bilməz. CVD-SiC örtüklü bu yenidən kristallaşdırılmış SiC kristal qayığının istehsal prosesi ən uzun müddətdir və dəyəri çox yüksəkdir. SiC ilə örtülmüş qrafit kristal qayığı ilə müqayisədə CVD-SiC ilə örtülmüş yenidən kristallaşdırılmış SiC kristal qayığında CTE uyğunsuzluğu problemi yoxdur, lakin turşu ilə yuyulma və toqquşma da SiC örtüyünün düşməsinə səbəb ola bilər. Onun xidmət müddəti bir qədər uzundur, təxminən 2-3 ildir.
3. CVD örtüyü olmayan bir hissəli SiC Kristal Qayıq
CVD örtüyü olmayan kristal qayıqlar üçün səth sıx olmalıdır. İki növ sıx SiC materialı var: təzyiqsiz sinterlənmiş SiC (SSiC) və reaksiya ilə sinterlənmiş SiC (RBSiC, həmçinin silikon keçiricili SiC, SiSiC kimi də tanınır). Lakin, bu iki növ SiC-nin heç biri kvars kimi tək bir vahidə əridilə bilməz. Tozdan SiC əmələ gətirmək və onu tək parçalı tək parçalı kristal qayığın təxmini formasına salmaq asan deyil. Üstəlik, SiC çox çətindir və emal etmək çətindir, bu da tək parçalı tək parçalı SiC kristal qayıqları üçün son dərəcə yüksək emal xərcinə səbəb olur. RBSiC-nin təxmini forma əmələ gətirməsi SSiC-dən bir qədər asan olsa da, yenə də çox sərtdir. Bundan əlavə, RBSC-də 10-15% sərbəst Si var ki, bu da onu SSiC materialları ilə eyni yüksək temperaturlara davam gətirə bilmir. Ümumiyyətlə, 1400 ° C-dən aşağı temperaturlara davam gətirə bilər. Üstəlik, sərbəst Si HF turşusu ilə asanlıqla aşındırılır və bu da qismən əmələ gəlməsinə səbəb olur.
4.Kallex SiC Modul Kristal Qayığı
Blok hissələri 99.675% təmizliyə malik təzyiqsiz sinterlənmiş SiC materialından istifadə edərək formalaşdırma, sinterləmə və üyütmə yolu ilə emal olunur. Daha sonra onları SSiC vintləri, qaykaları və s. ilə birləşdirin və yük daşıma qabiliyyətini təmin etmək üçün SSiC sancaqları ilə bərkidin. SiC örtüyü olmadan örtüyün qismən zədələnməsi riski yoxdur. Üstəlik, yüksək temperatur (1600℃) və HF turşusu kimi sərt mühitlərdə uzun müddət istifadə edilə bilər və xidmət müddəti beş ildən çoxdur.
Yazı vaxtı: 19 Avqust 2025