1. Bád Criostail Graifíte le Sciath CVD-SiC
Is furasta graifít a phróiseáil agus is féidir bád criostail aonphíosa a dhéanamh de trí nósanna imeachta iolracha ó ábhar bloc aonair. Ós rud é gur ábhar scagach é graifít, ní mór ciseal SiC le tiús de thart ar 100μm a chóta ar a dhromchla chun an fhadhb pháirteach a eascraíonn as nochtadh díreach dhromchla an ghraifíte do mhonarú leathsheoltóra éagsúil a chosc. Mar sin féin, is féidir tiús an...Sciath CVD-SiCNíl sé éasca le rialú, go háirithe i roinnt poill dhomhain agus coirnéil ina bhféadfadh an sciath a bheith níos tanaí. Mar gheall ar an neamhréir idir CTE (comhéifeacht leathnúcháin theirmigh) idir corp an ghraifíte agus an scannán SiC (25-1400 ℃, le meán de 4.4 × 10e-6 / ℃ do SIC agus 7.1 × 10e-6 / ℃ do ghraifít), is gnách go dtiteann an scannán SiC de tar éis roinnt arduithe agus titeann teochta. Nuair a nochtar graifít, rachaidh gáis nó leachtanna creimneacha isteach sa chorp graifíte scagach agus beidh sé deacair é a bhaint go hiomlán, rud a fhágann go ngintear páirteanna i bpróisis ardteochta. Is é an bád graifíte atá brataithe le SiC seo an ceann is saoire agus tá an saolré is giorra aige, thart ar bhliain amháin.
2. Bád Criostail SiC Athchriostalaithe le Sciath CVD-SiC
De ghnáth, déantar báid chriostail SiC athchriostalaithe trí roinnt codanna aonaid a shintéiriú agus a phróiseáil ar dtús, ansin gach cuid a nascadh le greamaigh Si ag teochtaí arda chun bád criostail a dhéanamh, agus ar deireadh sciath CVD-SiC a chur i bhfeidhm (thart ar 100um). Ós rud é go bhfuil an t-athchriostalú scagach, is féidir cáithníní a thabhairt isteach i bpróisis leathsheoltóra gan sciath SiC. Ina theannta sin, ní féidir leis an ngreamaigh Si sa chrios nasctha an teocht ard chéanna a sheasamh leis an ábhar SiC. Is é an próiseas monaraíochta don bhád criostail SiC athchriostalaithe seo le sciath CVD-SiC an ceann is faide agus tá an costas an-ard. I gcomparáid leis an mbád criostail graifíte atá brataithe le SiC, níl aon fhadhb neamh-mheaitseála CTE ag an mbád criostail SiC athchriostalaithe atá brataithe le CVD-SiC, ach is féidir le níochán aigéadach agus imbhualadh a chur faoi deara go dtitfidh an sciath SiC as freisin. Tá a shaolré seirbhíse beagán níos faide, thart ar 2 go 3 bliana.
3. Bád Criostail SiC aonphíosa gan sciath CVD
I gcás báid chriostail gan sciath CVD, ní mór don dromchla a bheith dlúth. Tá dhá chineál ábhar SiC dlúth ann: SiC sintéaraithe gan bhrú (SSiC) agus SiC sintéaraithe imoibrithe (RBSiC, ar a dtugtar SiC sileacain-thréscaoilte, SiSiC freisin). Mar sin féin, ní féidir ceachtar den dá chineál SiC seo a chumasc in aonad amháin cosúil le grianchloch. Níl sé éasca SiC a fhoirmiú as púdar agus é a dhó i gcruth garbh báid chriostail aon phíosa. Thairis sin, tá SiC an-chrua agus deacair a phróiseáil, rud a fhágann go bhfuil costas próiseála thar a bheith ard ann do bháid chriostail SiC aon phíosa. Cé go bhfuil sé beagán níos éasca cruth garbh a fhoirmiú ar RBSiC ná SSiC, tá sé fós an-chrua. Ina theannta sin, tá 10 go 15% Si saor in RBSC, rud a fhágann nach féidir leis na teochtaí arda céanna a sheasamh le hábhair SSiC. Go ginearálta, is féidir leis teochtaí faoi bhun 1400 °C a sheasamh. Thairis sin, is furasta an Si saor a ghreanadh le haigéad HF, rud a fhágann go mbíonn páirteanna páirteacha ann.
4. Bád Criostail Modúlach Kallex SiC
Déantar na codanna aonaid a phróiseáil trí mhúnlú, shintéiriú agus meilt ag baint úsáide as ábhar SiC sintéirithe gan bhrú a bhfuil íonacht 99.675% aige. Ansin cuirtear le chéile iad le scriúnna, cnónna, srl. SSiC, agus socraítear iad le bioráin SSiC chun an cumas ualaigh a chinntiú. Gan sciath SiC, níl aon bhaol ann go ndéanfar damáiste don sciath pháirteach. Thairis sin, is féidir é a úsáid ar feadh i bhfad i dtimpeallachtaí crua, amhail teochtaí arda (1600℃) agus aigéad HF, le saolré seirbhíse níos mó ná cúig bliana.
Am an phoist: 19 Lúnasa 2025