1. Graphite Crystal Boat nga adunay CVD-SiC Coating
Sayon ra iproseso ang graphite ug mahimo kining usa ka single-piece crystal boat pinaagi sa daghang pamaagi gikan sa usa ka single block nga materyal. Tungod kay ang graphite usa ka porous nga materyal, ang usa ka SiC layer nga adunay gibag-on nga gibana-bana nga 100μm kinahanglan nga tabunan sa ibabaw niini aron malikayan ang partial nga problema nga gipahinabo sa direktang pagkaladlad sa graphite surface sa lainlaing semiconductor manufacturing. Bisan pa, ang gibag-on saPagtabon sa CVD-SiCdili sayon kontrolon, labi na sa pipila ka lawom nga mga lungag ug mga kanto diin ang coating mahimong mas nipis. Tungod sa dili pagkatugma sa CTE (coefficient of thermal expansion) tali sa graphite body ug sa SiC film (25-1400℃, nga adunay aberids nga 4.4×10e-6/℃ para sa SIC ug 7.1×10e-6/℃ para sa graphite), ang SiC film kasagaran mahulog human sa pipila ka pagsaka ug pag-ubos sa temperatura. Kung maladlad ang graphite, ang mga corrosive gas o likido mosulod sa porous graphite body ug malisud nga tangtangon sa hingpit, sa ingon mosangpot sa pagmugna og partial sa mga proseso nga taas ang temperatura. Kini nga SiC coated graphite boat mao ang pinakabarato ug adunay pinakamubo nga lifespan, gibana-bana nga usa ka tuig.
2. Gi-recrystallize nga SiC Crystal Boat nga adunay CVD-SiC Coating
Ang mga recrystallized SiC crystal boat kasagarang giporma pinaagi sa sintering ug pagproseso sa daghang unit parts una, dayon pag-bonding sa matag part gamit ang Si paste sa taas nga temperatura aron maporma ang usa ka crystal boat, ug sa katapusan pag-apply og CVD-SiC coating (mga 100um). Tungod kay porous ang recrystallization, ang partial mahimo usab nga ipaila sa mga proseso sa semiconductor nga walay SiC coating. Dugang pa, ang Si paste sa bonding zone dili makasugakod sa parehas nga taas nga temperatura sama sa SiC material. Ang proseso sa paggama niining recrystallized SiC crystal boat nga adunay CVD-SiC coating mao ang pinakataas ug ang gasto taas kaayo. Kung itandi sa graphite crystal boat nga gi-coat og SiC, ang recrystallized SiC crystal boat nga gi-coat og CVD-SiC walay problema sa CTE mismatch, apan ang acid washing ug collision mahimo usab nga hinungdan sa pagkahulog sa SiC coating. Ang kinabuhi sa serbisyo niini medyo mas taas, mga 2 hangtod 3 ka tuig.
3. Usa ka piraso nga SiC Crystal Boat nga Walay CVD Coating
Para sa mga kristal nga sakayan nga walay CVD coating, ang nawong kinahanglan nga dasok. Adunay duha ka klase sa dasok nga SiC nga materyales: pressureless sintered SiC (SSiC) ug reaction-sintered SiC (RBSiC, nailhan usab nga silicon-permeated SiC, SiSiC). Bisan pa, wala niining duha ka klase sa SiC ang mahimong isagol sa usa ka yunit sama sa quartz. Dili sayon ang pagporma sa SiC gikan sa pulbos ug pagsunog niini ngadto sa halos porma sa usa ka one-piece single-piece crystal boat. Dugang pa, ang SiC gahi kaayo ug lisod iproseso, nga mosangpot sa taas kaayo nga gasto sa pagproseso para sa one-piece single-piece SiC crystal boat. Bisan tuod ang RBSiC mas sayon nga maporma ang halos porma kaysa SSiC, gahi gihapon kini. Dugang pa, ang RBSC adunay 10 ngadto sa 15% nga libre nga Si, nga naghimo niini nga dili makasugakod sa parehas nga taas nga temperatura sama sa mga materyales sa SSiC. Kasagaran, makasugakod kini sa temperatura nga ubos sa 1400 ° C. Dugang pa, ang libre nga Si dali nga ma-etch sa HF acid, nga mosangpot sa partial.
4. Kallex SiC Modular nga Kristal nga Bangka
Ang mga piyesa sa yunit giproseso pinaagi sa pagporma, sintering, ug paggaling gamit ang pressureless sintered SiC nga materyal nga adunay kaputli nga 99.675%. Dayon ihiusa kini gamit ang mga SSiC screw, nuts, ug uban pa, ug ayuhon kini gamit ang mga SSiC pin aron masiguro ang kapasidad sa pagdala sa karga. Kung walay SiC coating, walay risgo sa partial nga kadaot sa coating. Dugang pa, magamit kini sa dugay nga panahon sa lisod nga mga palibot, sama sa taas nga temperatura (1600℃) ug HF acid, nga adunay kinabuhi nga sobra sa lima ka tuig.
Oras sa pag-post: Agosto-19-2025