1. Grafita Kristala Boato kun CVD-SiC-Tegaĵo
Grafito estas facile prilaborebla kaj povas esti transformita en unu-pecan kristalan boaton per pluraj proceduroj el unu bloka materialo. Ĉar grafito estas pora materialo, tavolo de SiC kun dikeco de proksimume 100 μm devas esti kovrita sur ĝia surfaco por eviti la partiklajn problemojn kaŭzitajn de rekta eksponiĝo de la grafita surfaco al diversaj duonkonduktaĵaj fabrikadoj. Tamen, la dikeco de la...CVD-SiC-tegaĵone estas facile kontrolebla, precipe en iuj profundaj truoj kaj anguloj, kie la tegaĵo povas esti pli maldika. Pro la miskongruo de CTE (koeficiento de termika ekspansio) inter la grafita korpo kaj la SiC-filmo (25-1400℃, kun averaĝo de 4,4×10e-6/℃ por SIC kaj 7,1×10e-6/℃ por grafito), la SiC-filmo kutime emas defali post pluraj temperaturplialtiĝoj kaj malaltiĝoj. Kiam grafito estas eksponita, korodaj gasoj aŭ likvaĵoj eniros la poran grafitan korpon kaj estos malfacile tute forigi ilin, tiel kondukante al la generado de partikloj en alttemperaturaj procezoj. Ĉi tiu SiC-kovrita grafita boato estas la plej malmultekosta kaj havas la plej mallongan vivdaŭron, ĉirkaŭ unu jaron.
2. Rekristaligita SiC-kristala boato kun CVD-SiC-tegaĵo
Rekristaligitaj SiC-kristalaj boatoj kutime formiĝas per sinterizado kaj prilaborado de pluraj unuopaj partoj unue, poste ligado de ĉiu parto per SiC-pasto je altaj temperaturoj por formi kristalan boaton, kaj fine apliko de CVD-SiC-tegaĵo (ĉirkaŭ 100 µm). Ĉar la rekristaliĝo estas pora, partikloj ankaŭ povas esti enkondukitaj en duonkonduktajn procezojn sen SiC-tegaĵo. Krome, la Si-pasto en la ligzono ne povas elteni la saman altan temperaturon kiel la SiC-materialo. La fabrikada procezo de ĉi tiu rekristaligita SiC-kristala boato kun CVD-SiC-tegaĵo estas la plej longa kaj la kosto estas tre alta. Kompare kun la grafita kristala boato kovrita per SiC, la rekristaligita SiC-kristala boato kovrita per CVD-SiC ne havas problemon de misagordo de CTE, sed acida lavado kaj kolizio ankaŭ povas kaŭzi la defalon de la SiC-tegaĵo. Ĝia servodaŭro estas iom pli longa, ĉirkaŭ 2 ĝis 3 jaroj.
3. Unupeca SiC-kristala boato sen CVD-tegaĵo
Por kristalaj ŝipoj sen CVD-tegaĵo, la surfaco devas esti densa. Ekzistas du tipoj de densaj SiC-materialoj: senprema sintrita SiC (SSiC) kaj reakci-sintrita SiC (RBSiC, ankaŭ konata kiel silicio-trapenetrita SiC, SiSiC). Tamen, neniu el ĉi tiuj du tipoj de SiC povas esti fandita en unu unuon kiel kvarco. Ne estas facile formi SiC el pulvoro kaj bruligi ĝin en proksimuman formon de unu-peca unu-peca kristala ŝipo. Krome, SiC estas tre malmola kaj malfacile prilaborebla, kio kondukas al ekstreme alta prilabora kosto por unu-pecaj unu-pecaj SiC-kristalaj ŝipoj. Kvankam RBSiC estas iom pli facile formebla en proksimuma formo ol SSiC, ĝi tamen estas tre malmola. Krome, RBSC enhavas 10 ĝis 15% liberan Si, kio igas ĝin nekapabla elteni la samajn altajn temperaturojn kiel SSiC-materialoj. Ĝenerale, ĝi povas elteni temperaturojn sub 1400 °C. Plie, la libera Si estas facile gratita per HF-acido, kondukante al partiklaj...
4. Kallex SiC Modula Kristala Boato
La unuopaj partoj estas prilaboritaj per formado, sinterizado kaj muelado uzante senpreman sinteritan SiC-materialon kun pureco de 99.675%. Poste ili estas kombinitaj per SSiC-ŝraŭboj, nuksoj, ktp., kaj fiksitaj per SSiC-stiftoj por certigi la ŝarĝoportantan kapaciton. Sen SiC-tegaĵo, ne ekzistas risko de parta difekto de la tegaĵo. Krome, ĝi povas esti uzata dum longa tempo en severaj medioj, kiel altaj temperaturoj (1600℃) kaj HF-acido, kun servodaŭro de pli ol kvin jaroj.
Afiŝtempo: 19-a de aŭgusto 2025