1. CVD-SiC کوٹنگ کے ساتھ گریفائٹ کرسٹل بوٹ
گریفائٹ پر عملدرآمد کرنا آسان ہے اور اسے ایک ہی بلاک کے مواد سے متعدد طریقہ کار کے ذریعے سنگل پیس کرسٹل بوٹ میں بنایا جا سکتا ہے۔ چونکہ گریفائٹ ایک غیر محفوظ مواد ہے، اس لیے اس کی سطح پر تقریباً 100μm کی موٹائی والی SiC تہہ کو لیپ کرنا ضروری ہے تاکہ مختلف سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں گریفائٹ کی سطح کے براہ راست نمائش کی وجہ سے پیدا ہونے والے جزوی مسئلے کو روکا جا سکے۔ تاہم، کی موٹائیCVD-SiC کوٹنگکنٹرول کرنا آسان نہیں ہے، خاص طور پر کچھ گہرے سوراخوں اور کونوں میں جہاں کوٹنگ پتلی ہو سکتی ہے۔ گریفائٹ باڈی اور SiC فلم (25-1400℃، SIC کے لیے اوسطاً 4.4×10e-6/℃ اور گریفائٹ کے لیے 7.1×10e-6/℃) کے درمیان CTE (تھرمل توسیع کا گتانک) کی مماثلت کی وجہ سے، SiC فلم عام طور پر درجہ حرارت میں کئی مرتبہ اضافے اور گرنے کے بعد گر جاتی ہے۔ جب گریفائٹ بے نقاب ہوتا ہے تو، سنکنرن گیسیں یا مائع غیر محفوظ گریفائٹ کے جسم میں داخل ہوں گے اور انہیں مکمل طور پر ہٹانا مشکل ہو جائے گا، اس طرح اعلی درجہ حرارت کے عمل میں جزوی طور پر پیدا ہوتا ہے۔ یہ SiC کوٹڈ گریفائٹ کشتی سب سے سستی ہے اور اس کی عمر کم و بیش ایک سال ہے۔
2. CVD-SiC کوٹنگ کے ساتھ دوبارہ تیار کردہ SiC کرسٹل بوٹ
دوبارہ کرسٹلائزڈ SiC کرسٹل کشتیاں عام طور پر پہلے کئی یونٹ حصوں کو sintering اور پروسیسنگ کے ذریعے بنائی جاتی ہیں، پھر ہر حصے کو Si پیسٹ کے ساتھ اعلی درجہ حرارت پر جوڑ کر کرسٹل بوٹ بناتی ہیں، اور آخر میں CVD-SiC کوٹنگ (تقریبا 100um) لگاتی ہیں۔ چونکہ ری کرسٹلائزیشن غیر محفوظ ہے، جزوی کو بغیر کسی SiC کوٹنگ کے سیمی کنڈکٹر کے عمل میں بھی متعارف کرایا جا سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، بانڈنگ زون میں Si پیسٹ SiC میٹریل کی طرح اعلی درجہ حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا۔ CVD-SiC کوٹنگ والی اس ری کرسٹلائزڈ SiC کرسٹل بوٹ کی تیاری کا عمل سب سے طویل ہے اور قیمت بہت زیادہ ہے۔ SiC کے ساتھ لیپت کردہ گریفائٹ کرسٹل بوٹ کے مقابلے میں، CVD-SiC کے ساتھ لیپت دوبارہ تیار کردہ SiC کرسٹل بوٹ میں CTE کی مماثلت کا کوئی مسئلہ نہیں ہے، لیکن تیزاب دھونے اور تصادم بھی SiC کوٹنگ کو گرنے کا سبب بن سکتا ہے۔ اس کی سروس کی زندگی تھوڑی لمبی ہے، تقریباً 2 سے 3 سال۔
3. سی وی ڈی کوٹنگ کے بغیر ایک ٹکڑا SiC کرسٹل بوٹ
CVD کوٹنگ کے بغیر کرسٹل کشتیوں کے لیے، سطح گھنی ہونی چاہیے۔ گھنے SiC مواد کی دو قسمیں ہیں: دباؤ کے بغیر sintered SiC (SSiC) اور ردعمل-sintered SiC (RBSiC، جسے سلکان پرمیٹیڈ SiC، SiSiC بھی کہا جاتا ہے)۔ تاہم، ان دونوں قسموں میں سے کسی کو بھی کوارٹج کی طرح ایک یونٹ میں نہیں ملایا جا سکتا۔ پاؤڈر سے SiC بنانا اور اسے ایک ٹکڑا سنگل پیس کرسٹل بوٹ کی تخمینی شکل میں جلانا آسان نہیں ہے۔ مزید یہ کہ، SiC پر کارروائی کرنا بہت مشکل اور مشکل ہے، جس کی وجہ سے ایک ٹکڑا سنگل پیس SiC کرسٹل کشتیوں کے لیے پروسیسنگ کی لاگت بہت زیادہ ہوتی ہے۔ اگرچہ RBSiC SSiC کے مقابلے میں ایک تخمینی شکل بنانا قدرے آسان ہے، لیکن یہ اب بھی بہت مشکل ہے۔ اس کے علاوہ، RBSC میں 10 سے 15% مفت Si ہوتا ہے، جو اسے SSiC مواد کی طرح اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کے قابل نہیں بناتا ہے۔ عام طور پر، یہ 1400 ° C سے کم درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے۔ مزید برآں، مفت Si آسانی سے HF ایسڈ کے ذریعے کھینچا جاتا ہے، جس کی وجہ سے جزوی ہوتا ہے۔
4.Kallex SiC ماڈیولر کرسٹل بوٹ
یونٹ کے پرزوں کو 99.675% کی پاکیزگی کے ساتھ بغیر پریشر کے سنٹرڈ SiC مواد کا استعمال کرتے ہوئے بنانے، سنٹرنگ اور پیسنے کے ذریعے پروسیس کیا جاتا ہے۔ پھر انہیں SSiC پیچ، گری دار میوے، وغیرہ کے ساتھ جوڑیں، اور لوڈ برداشت کرنے کی صلاحیت کو یقینی بنانے کے لیے انہیں SSiC پنوں سے ٹھیک کریں۔ SiC کوٹنگ کے بغیر، جزوی کوٹنگ کے نقصان کا کوئی خطرہ نہیں ہے۔ مزید برآں، اسے سخت ماحول میں طویل عرصے تک استعمال کیا جا سکتا ہے، جیسے کہ زیادہ درجہ حرارت (1600℃) اور HF ایسڈ، جس کی سروس لائف پانچ سال سے زیادہ ہے۔
پوسٹ ٹائم: اگست 19-2025