1. Doonta Graphite Crystal oo leh dahaarka CVD-SiC
Graphite waa mid si fudud loo farsamayn karo waxaana laga samayn karaa doon hal xabbo ah oo kiristaalo ah iyada oo loo marayo habab badan oo laga soo qaadayo walxo hal baloog ah. Maadaama garaafitku yahay walax daloolo leh, lakabka SiC oo dhumucdiisu tahay qiyaastii 100 μm waa in lagu dahaadhaa dusha sare si looga hortago dhibaatada qayb ahaan ka dhalata soo-gaadhista tooska ah ee dusha sare ee garaafitka ee wax-soo-saarka semiconductor-ka kala duwan. Si kastaba ha ahaatee, dhumucdaDahaarka CVD-SiCMa fududa in la xakameeyo, gaar ahaan godad qoto dheer iyo geeso halkaas oo dahaadhku uu khafiif noqon karo. Sababtoo ah isku dheelitir la'aanta CTE (isku-darka ballaarinta kulaylka) ee u dhexeeya jirka garaafka iyo filimka SiC (25-1400℃, iyadoo celcelis ahaan 4.4×10e-6/℃ loogu talagalay SIC iyo 7.1×10e-6/℃ loogu talagalay garaafka), filimka SiC wuxuu badanaa u janjeeraa inuu dhaco ka dib markii heerkulku kor u kaco oo uu dhaco dhowr jeer. Marka garaafka la soo bandhigo, gaasaska ama dareerayaasha daxalka leh waxay geli doonaan jirka garaafka daloolsan waxayna adkaan doontaa in gebi ahaanba laga saaro, taasoo horseedaysa soo saarista qayb ka mid ah hababka heerkulka sare. Doontan garaafka ee SiC lagu dahaadhay ayaa ah tan ugu jaban waxayna leedahay cimriga ugu gaaban, qiyaastii hal sano.
2. Doon SiC Crystal ah oo dib loo warshadeeyay oo leh dahaarka CVD-SiC
Doomaha kiristaalka SiC ee dib loo warshadeeyay waxaa badanaa la sameeyaa iyadoo marka hore la sinteriyo oo la farsameeyo qaybo badan oo cutub ah, ka dibna qayb kasta lagu xidho koolada Si heerkul sare si loo sameeyo doon kiristaal ah, ugu dambayntiina lagu mariyo dahaarka CVD-SiC (qiyaastii 100um). Sababtoo ah dib-u-warshadayntu waa daloolo, qayb ahaan waxaa sidoo kale lagu soo bandhigi karaa hababka semiconductor-ka iyada oo aan lahayn dahaarka SiC. Intaa waxaa dheer, koolada Si ee aagga isku xidhka ma adkaysan karto heerkulka sare ee la mid ah walxaha SiC. Habka wax soo saarka ee doonidan kiristaalka SiC ee dib loo warshadeeyay oo leh dahaarka CVD-SiC ayaa ah kan ugu dheer kharashkuna aad ayuu u sarreeyaa. Marka la barbardhigo doonida kiristaalka garaafka ee lagu dahaadhay SiC, doonida kiristaalka SiC ee dib loo warshadeeyay ee lagu dahaadhay CVD-SiC ma lahan dhibaato isku mid ah oo CTE ah, laakiin dhaqidda aashitada iyo isku dhaca ayaa sidoo kale sababi kara in dahaarka SiC uu dhaco. Cimrigeeda adeeggu waa wax yar ka dheer, qiyaastii 2 ilaa 3 sano.
3. Doon SiC Crystal ah oo hal xabbo leh oo aan lahayn dahaarka CVD
Doonyaha kiristaalka ah ee aan lahayn dahaarka CVD, dusha sare waa inay cufan tahay. Waxaa jira laba nooc oo walxo SiC ah oo cufan ah: SiC aan cadaadis lahayn oo sintered ah (SSiC) iyo SiC oo sintered ah oo falcelin leh (RBSiC, oo sidoo kale loo yaqaan SiC oo sintered ah oo sintered ah, SiSiC). Si kastaba ha ahaatee, labadan nooc ee SiC midkoodna laguma dari karo hal unug sida quartz. Ma fududa in SiC laga sameeyo budada oo lagu gubo qaab qiyaas ah oo ah doon kiristaal ah oo hal xabbo ah. Intaa waxaa dheer, SiC aad bay u adag tahay oo way adag tahay in la farsameeyo, taas oo horseedaysa kharash aad u sarreeya oo lagu farsameeyo doonyaha kiristaalka ah ee hal xabbo ah ee SiC. Inkasta oo RBSiC ay si yar u fududahay in la sameeyo qaab qiyaas ah marka loo eego SSiC, haddana weli aad bay u adag tahay. Intaa waxaa dheer, RBSC waxay ka kooban tahay 10 ilaa 15% Si bilaash ah, taas oo ka dhigaysa mid aan awoodin inay u adkaysato heerkulka sare ee la mid ah walxaha SSiC. Guud ahaan, waxay u adkaysan kartaa heerkulka ka hooseeya 1400 ° C. Intaa waxaa dheer, Si bilaash ah si fudud ayaa loogu xoqaa aashitada HF, taasoo keenta qayb ahaan.
4.Kallex SiC Modular Crystal Boat
Qaybaha cutubka waxaa lagu farsameeyaa sameynta, sintering iyo shiidid iyadoo la adeegsanayo walxo SiC ah oo aan cadaadis lahayn oo nadiif ah oo ah 99.675%. Kadibna isku dar boolal SSiC ah, laws, iwm., oo ku hagaaji biinanka SSiC si loo hubiyo awoodda culeyska. Haddii aan lahayn dahaarka SiC, ma jirto khatar waxyeello u geysan karta dahaarka qayb ahaan. Intaa waxaa dheer, waxaa loo isticmaali karaa muddo dheer jawi adag, sida heerkulka sare (1600℃) iyo aashitada HF, iyadoo cimri adeeggu ka badan yahay shan sano.
Waqtiga boostada: Agoosto-19-2025