Parte e assemblaggio a mezzaluna in grafite rivestita in SiC per epitassia in SiC

Breve descrizione:

VET Energy è un produttore e fornitore professionale di componenti principali per forni epitassiali in carburo di silicio. Il nostro sistema a mezzaluna utilizza grafite ad alta purezza combinata con un'avanzata tecnologia di rivestimento CVD. È progettato per ambienti epitassiali ad alta temperatura e altamente corrosivi. La grafite ad alta purezza conferisce al componente un'eccellente resistenza alle alte temperature (>1600°C) e stabilità termica, garantendo l'uniformità del campo termico; il rivestimento CVD forma uno strato protettivo denso sulla superficie grazie alla tecnologia CVD, migliorando significativamente le proprietà antiossidanti e anti-incisione e prolungandone la durata di oltre 3 volte.

Materiale:Grafite ad alta purezza

Trattamento:Rivestimento CVD-SiC o CVD-TaC

Personalizzazione:Disponibile

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Dettagli del prodotto

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Parte a mezzaluna in grafite rivestita in SiCÈ un componente chiave utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare per le apparecchiature epitassiali in SiC. Il suo design strutturale e le proprietà del materiale determinano direttamente la qualità e l'efficienza produttiva dei wafer epitassiali.

Costruzione della camera di reazione:
La parte a mezzaluna è composta da due parti, quella superiore e quella inferiore, che sono unite insieme per formare una camera di crescita chiusa, che ospita il substrato di carburo di silicio (solitamente 4H-SiC o 6H-SiC) e realizza la crescita dello strato epitassiale controllando con precisione il campo di flusso del gas (ad esempio una miscela di SiH₄, C₃H₈ e H₂).
Regolazione del campo di temperatura:
La base in grafite ad alta purezza combinata con la bobina di riscaldamento a induzione può mantenere l'uniformità della temperatura della camera (entro ±5°C) a una temperatura elevata di 1500-1700°C per garantire la costanza dello spessore dello strato epitassiale.
Guida del flusso d'aria:
Progettando la posizione dell'ingresso e dell'uscita dell'aria (ad esempio l'ingresso laterale dell'aria e l'uscita superiore dell'aria del corpo del forno orizzontale), il flusso laminare del gas di reazione viene guidato attraverso la superficie del substrato per ridurre i difetti di crescita causati dalla turbolenza.

Materiale di base: grafite ad alta purezza
Requisiti di purezza:contenuto di carbonio ≥99,99%, contenuto di ceneri ≤5 ppm, per garantire che nessuna impurità precipiti e contamini lo strato epitassiale ad alte temperature.
Vantaggi in termini di prestazioni:
Elevata conduttività termica:La conduttività termica a temperatura ambiente raggiunge i 150 W/(m・K), valore prossimo a quello del rame, e consente di trasferire rapidamente il calore.
Basso coefficiente di dilatazione:5×10^-6/℃ (25-1000℃), corrispondente al substrato di carburo di silicio (4,2×10^-6/℃), riducendo la formazione di crepe nel rivestimento causate dallo stress termico.
Precisione di elaborazione:Grazie alla lavorazione CNC si ottiene una tolleranza dimensionale di ±0,05 mm per garantire la sigillatura della camera.

Applicazioni differenziate di CVD SiC e CVD TaC

Rivestimento	Processo	Confronto	Applicazione tipica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Pressione: 10-100 Torr	Durezza HV2500, spessore 50-100 µm, eccellente resistenza all'ossidazione (stabile al di sotto di 1600°C)	Forni epitassiali universali, adatti ad atmosfere convenzionali come idrogeno e silano
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Pressione: 1-10 Torr	Durezza HV3000, spessore 20-50 µm, estremamente resistente alla corrosione (può resistere a gas corrosivi come HCl, NH₃, ecc.)	Ambienti altamente corrosivi (come apparecchiature di epitassia e incisione GaN) o processi speciali che richiedono temperature ultra elevate di 2600 °C

VET Energy è un produttore professionale focalizzato sulla ricerca e sviluppo e sulla produzione di materiali avanzati di alta qualità quali grafite, carburo di silicio, quarzo, nonché trattamenti di materiali quali rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel settore fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

I vantaggi di VET Energy includono:
• Fabbrica propria e laboratorio professionale;
• Livelli di purezza e qualità leader del settore;
• Prezzo competitivo e tempi di consegna rapidi;
• Numerose partnership industriali in tutto il mondo;

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