ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي) پتلي فلم ڊپوزيشن ٽيڪنالاجي جو تعارف

ڪيميڪل وانپ ڊيپوزيشن (سي وي ڊي) هڪ اهم پتلي فلم ڊيپوزيشن ٽيڪنالاجي آهي، جيڪا اڪثر مختلف فنڪشنل فلمن ۽ پتلي پرت واري مواد کي تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ ٻين شعبن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندي آهي.

1. سي وي ڊي جو ڪم ڪندڙ اصول

CVD جي عمل ۾، هڪ گيس پريڪرسر (هڪ يا وڌيڪ گيس پريڪرسر مرڪب) کي سبسٽريٽ جي مٿاڇري سان رابطي ۾ آندو ويندو آهي ۽ هڪ خاص درجه حرارت تي گرم ڪيو ويندو آهي ته جيئن ڪيميائي رد عمل ٿئي ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ٿي گهربل فلم يا ڪوٽنگ ٺاهي سگهجي. پرت. هن ڪيميائي رد عمل جي پيداوار هڪ مضبوط آهي، عام طور تي گهربل مواد جو هڪ مرڪب. جيڪڏهن اسان سلڪون کي ڪنهن مٿاڇري تي چپڪائڻ چاهيون ٿا، ته اسان ٽرائڪلوروسيلين (SiHCl3) کي اڳڪٿي گئس طور استعمال ڪري سگهون ٿا: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl سلڪون ڪنهن به بي نقاب مٿاڇري (اندروني ۽ ٻاهرين) سان جڙيل هوندو، جڏهن ته ڪلورين ۽ هائيڊروڪلورڪ ايسڊ گيس چيمبر مان خارج ٿي وينديون.

2. سي وي ڊي جي درجه بندي

حرارتي سي وي ڊي: اڳواٽ گئس کي گرم ڪرڻ سان ان کي سڙڻ ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪرڻ لاءِ. پلازما اينهانسڊ سي وي ڊي (PECVD): پلازما کي رد عمل جي شرح کي وڌائڻ ۽ جمع ڪرڻ جي عمل کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ حرارتي سي وي ڊي ۾ شامل ڪيو ويندو آهي. ڌاتو نامياتي سي وي ڊي (MOCVD): ڌاتو نامياتي مرڪب کي اڳواٽ گيسن طور استعمال ڪندي، ڌاتو ۽ سيمي ڪنڊڪٽرز جون پتلي فلمون تيار ڪري سگهجن ٿيون، ۽ اڪثر ڪري ايل اي ڊي جهڙن ڊوائيسز جي تياري ۾ استعمال ٿينديون آهن.

3. درخواست

(1) سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار

سلائسائيڊ فلم: انسوليٽنگ پرتون، سبسٽريٽس، آئسوليشن پرتون، وغيره تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ٿينديون آهن. نائٽرائڊ فلم: سلڪون نائٽرائڊ، ايلومينيم نائٽرائڊ، وغيره تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ٿينديون آهن، جيڪي ايل اي ڊي، پاور ڊوائيسز وغيره ۾ استعمال ٿينديون آهن. ڌاتو فلم: ڪنڊڪٽو پرتون، ميٽلائيزڊ پرتون، وغيره تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ٿينديون آهن.

(2) ڊسپلي ٽيڪنالاجي

آئي ٽي او فلم: شفاف ڪنڊڪٽو آڪسائيڊ فلم، عام طور تي فليٽ پينل ڊسپلي ۽ ٽچ اسڪرين ۾ استعمال ٿيندي آهي. ڪاپر فلم: ڊسپلي ڊوائيسز جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ لاءِ پيڪنگنگ ليئرز، ڪنڊڪٽو لائينز وغيره تيار ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي.

(3) ٻيا شعبا

آپٽيڪل ڪوٽنگ: جنهن ۾ اينٽي ريفليڪٽو ڪوٽنگ، آپٽيڪل فلٽر وغيره شامل آهن. اينٽي ڪورروشن ڪوٽنگ: آٽوميٽو حصن، ايرو اسپيس ڊوائيسز وغيره ۾ استعمال ٿيندي آهي.

4. سي وي ڊي عمل جون خاصيتون

رد عمل جي رفتار کي وڌائڻ لاءِ اعليٰ درجه حرارت واري ماحول جو استعمال ڪريو. عام طور تي ويڪيوم ماحول ۾ ڪيو ويندو آهي. پينٽنگ ڪرڻ کان اڳ حصي جي مٿاڇري تي موجود آلودگي کي هٽائڻ گهرجي. عمل ۾ سبسٽريٽ تي حدون ٿي سگهن ٿيون جيڪي ڪوٽ ڪري سگهجن ٿيون، يعني گرمي پد جي حدون يا رد عمل جي حدون. سي وي ڊي ڪوٽنگ حصي جي سڀني علائقن کي ڍڪيندي، جنهن ۾ ڌاڙا، بلائنڊ هول ۽ اندروني سطحون شامل آهن. مخصوص ٽارگيٽ علائقن کي ماسڪ ڪرڻ جي صلاحيت کي محدود ڪري سگھي ٿو. فلم جي ٿلهي عمل ۽ مادي حالتن جي ڪري محدود آهي. اعليٰ آسنجن.