Ifihan si imọ-ẹrọ fifi simu tinrin tinrin fun fifi simu kemikali (CVD)

Ìfipamọ́ Afẹ́fẹ́ Kemikali (CVD) jẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ ìfipamọ́ fíìmù tín-tín pàtàkì, tí a sábà máa ń lò láti pèsè onírúurú fíìmù iṣẹ́-ṣíṣe àti àwọn ohun èlò tín-tín-tín, a sì ń lò ó gidigidi nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor àti àwọn pápá mìíràn.

1. Ìlànà Iṣẹ́ ti CVD

Nínú ìlànà CVD, a máa ń fi ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ gaasi kan (ẹ̀yà kan tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ àwọn ohun èlò ìṣàfihàn gaasi) kan ojú ilẹ̀ tí a sì máa ń gbóná sí i dé ìwọ̀n otútù kan láti fa ìṣàfihàn kemikali kan kí ó sì rọ̀ sí orí ilẹ̀ tí a fẹ́ láti ṣe fíìmù tàbí ìbòrí tí a fẹ́. Àbájáde ìṣàfihàn kemikali yìí jẹ́ ohun líle, tí ó sábà máa ń jẹ́ àdàpọ̀ ohun èlò tí a fẹ́. Tí a bá fẹ́ fi ohun èlò ìṣàfihàn sí ojú ilẹ̀ kan, a lè lo trichlorosilane (SiHCl3) gẹ́gẹ́ bí gaasi ìṣàfihàn: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon yóò so mọ́ ojú ilẹ̀ tí ó bá fara hàn (nínú àti ní òde), nígbà tí a óò tú àwọn gaasi chlorine àti hydrochloric acid jáde kúrò nínú yàrá náà.

2. Ìpínsísọ̀rí CVD

CVD ti o gbona: Nipa gbigbona gaasi ti o ṣaju lati jẹ ki o jẹ ki o si fi sii lori dada substrate naa. Plasma Enhanced CVD (PECVD): A fi Plasma kun si CVD ti o gbona lati mu iyara iṣedaṣe pọ si ati lati ṣakoso ilana ifipamọ. Metal Organic CVD (MOCVD): Lilo awọn agbo-ara adayeba irin bi awọn gaasi ti o ṣaju, awọn fiimu tinrin ti awọn irin ati awọn semiconductors le ṣee pese, ati pe a maa n lo wọn nigbagbogbo ninu iṣelọpọ awọn ẹrọ bii LED.

3. Ohun elo

(1) Ṣíṣe ẹ̀rọ Semiconductor

Fíìmù Silikisi: tí a lò láti pèsè àwọn ìpele ìdábòbò, àwọn ohun èlò ìṣàn, àwọn ìpele ìyàsọ́tọ̀, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Fíìmù Nitride: tí a lò láti pèsè silicon nitride, aluminiomu nitride, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, tí a lò nínú àwọn LED, àwọn ẹ̀rọ agbára, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Fíìmù irin: tí a lò láti pèsè àwọn ìpele adarí, àwọn ìpele irin, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

(2) Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìfihàn

Fíìmù ITO: Fíìmù oxide oníhò tí ó hàn gbangba, tí a sábà máa ń lò nínú àwọn ìfihàn pánẹ́lì aláfẹ́fẹ́ àti àwọn ìbòjú ìfọwọ́kàn. Fíìmù bàbà: tí a lò láti pèsè àwọn ìpele ìdìpọ̀, àwọn ìlà oníhò, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, láti mú iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ ìfihàn sunwọ̀n síi.

(3) Àwọn pápá mìíràn

Àwọn ìbòrí ojú: pẹ̀lú àwọn ìbòrí ojú tí kò ní àwọ̀, àwọn àlẹ̀mọ́ ojú, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ìbòrí ojú tí kò ní àwọ̀: tí a lò nínú àwọn ẹ̀yà ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, àwọn ẹ̀rọ afẹ́fẹ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

4. Àwọn ànímọ́ ìlànà CVD

Lo àyíká ooru gíga láti mú kí iyàrá ìṣesí pọ̀ sí i. A sábà máa ń ṣe é ní àyíká afẹ́fẹ́. Àwọn ohun tí ó ní eléèérí lórí ojú apa náà gbọ́dọ̀ yọ kúrò kí a tó fi kun ún. Ìlànà náà lè ní àwọn ààlà lórí àwọn ohun tí a lè fi bo, fún àpẹẹrẹ, àwọn ìdíwọ̀n otutu tàbí àwọn ìdíwọ̀n ìṣesí ...