Is teicneolaíocht thábhachtach taiscthe scannán tanaí í an Taisceadh Gaile Ceimiceach (CVD), a úsáidtear go minic chun scannáin fheidhmiúla agus ábhair shraitheanna tanaí éagsúla a ullmhú, agus a úsáidtear go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí agus i réimsí eile.
1. Prionsabal oibre CVD
Sa phróiseas CVD, tugtar réamhtheachtaí gáis (comhdhúil réamhtheachtaí gásach amháin nó níos mó) i dteagmháil le dromchla an tsubstráit agus téitear é go teocht áirithe chun imoibriú ceimiceach a chur faoi deara agus taisceadh ar dhromchla an tsubstráit chun an scannán nó an ciseal sciath atá ag teastáil a fhoirmiú. Is solad é táirge an imoibrithe cheimicigh seo, de ghnáth comhdhúil den ábhar atá ag teastáil. Más mian linn sileacan a ghreamú de dhromchla, is féidir linn tríchlórasilán (SiHCl3) a úsáid mar an ngás réamhtheachtaí: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Ceanglóidh sileacan le haon dromchla nochtaithe (inmheánach agus seachtrach araon), agus scaoilfear gáis clóirín agus aigéid hidreaclóraigh amach as an seomra.
2. Aicmiú CVD
CVD Teirmeach: Trí ghás réamhtheachtaí a théamh chun é a dhíghrádú agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. CVD Feabhsaithe Plasma (PECVD): Cuirtear plasma le CVD teirmeach chun an ráta imoibrithe a fheabhsú agus an próiseas taiscthe a rialú. CVD Orgánach Miotail (MOCVD): Agus comhdhúile orgánacha miotail á n-úsáid mar gháis réamhtheachtaí, is féidir scannáin tanaí miotail agus leathsheoltóirí a ullmhú, agus is minic a úsáidtear iad i monarú gléasanna amhail soilse LED.
3. Feidhmchlár
(1) Déantúsaíocht leathsheoltóra
Scannán sileaicíde: a úsáidtear chun sraitheanna inslithe, foshraitheanna, sraitheanna aonraithe, etc. a ullmhú. Scannán níotráite: a úsáidtear chun níotráite sileacain, níotráite alúmanaim, etc. a ullmhú, a úsáidtear i soilse LED, gléasanna cumhachta, etc. Scannán miotail: a úsáidtear chun sraitheanna seoltaí, sraitheanna miotalaithe, etc. a ullmhú.
(2) Teicneolaíocht taispeána
Scannán ITO: Scannán ocsaíde seoltaí trédhearcach, a úsáidtear go coitianta i dtaispeántais painéil chomhréidh agus i scáileáin tadhaill. Scannán copair: a úsáidtear chun sraitheanna pacáistíochta, línte seoltaí, etc. a ullmhú, chun feidhmíocht gléasanna taispeána a fheabhsú.
(3) Réimsí eile
Bratuithe optúla: lena n-áirítear bratuithe frith-fhrithchaiteacha, scagairí optúla, etc. Bratú frith-chreimthe: a úsáidtear i gcodanna feithicleach, i bhfeistí aeraspáis, etc.
4. Saintréithe an phróisis CVD
Úsáid timpeallacht ardteochta chun luas imoibrithe a chur chun cinn. De ghnáth déantar é i dtimpeallacht folúis. Ní mór truailleáin ar dhromchla na coda a bhaint roimh phéinteáil. D’fhéadfadh teorainneacha a bheith ag an bpróiseas maidir leis na foshraitheanna is féidir a sciathú, i.e. teorainneacha teochta nó teorainneacha imoibríochta. Clúdóidh an sciath CVD gach réimse den chuid, lena n-áirítear snáitheanna, poill dhall agus dromchlaí inmheánacha. Féadfaidh sé srian a chur leis an gcumas limistéir sprice sonracha a cheilt. Tá tiús an scannáin teoranta ag coinníollacha an phróisis agus an ábhair. Greamaitheacht níos fearr.
5. Buntáistí na teicneolaíochta CVD
Aonfhoirmeacht: In ann taisceadh aonfhoirmeach a bhaint amach thar foshraitheanna limistéir mhóra.
Inrialaitheacht: Is féidir an ráta taiscthe agus airíonna an scannáin a choigeartú trí ráta sreafa agus teocht an gháis réamhtheachtaí a rialú.
Ilúsáideacht: Oiriúnach le haghaidh taisciú ábhar éagsúil, amhail miotail, leathsheoltóirí, ocsaídí, etc.
Am an phoist: 6 Bealtaine 2024