He ʻenehana waiho ʻili lahilahi koʻikoʻi ka Chemical Vapor Deposition (CVD), i hoʻohana pinepine ʻia e hoʻomākaukau i nā ʻili hana like ʻole a me nā mea papa lahilahi, a hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor a me nā ʻoihana ʻē aʻe.
1. Kumu hana o CVD
Ma ke kaʻina hana CVD, ua lawe ʻia mai kahi mea hoʻomaka kinoea (hoʻokahi a ʻoi aku paha nā mea hoʻomaka kinoea) i ka pilina me ka ʻili substrate a hoʻomehana ʻia i kahi mahana e hana ai i kahi hopena kemika a waiho ma luna o ka ʻili substrate e hana i ka ʻili a i ʻole ka uhi i makemake ʻia. papa. ʻO ka huahana o kēia hopena kemika he paʻa, maʻamau he hui o ka mea i makemake ʻia. Inā makemake mākou e hoʻopili i ka silicon i kahi ʻili, hiki iā mākou ke hoʻohana i ka trichlorosilane (SiHCl3) ma ke ʻano he kinoea hoʻomaka: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl E hoʻopaʻa ʻo Silicon i kekahi ʻili i hōʻike ʻia (i loko a i waho), ʻoiai e hoʻokuʻu ʻia nā kinoea chlorine a me hydrochloric acid mai ke keʻena.
2. Hoʻokaʻawale ʻana o CVD
CVD Wera: Ma ka hoʻomehana ʻana i ke kinoea mua e palaho a waiho ma luna o ka ʻili o ka substrate. Plasma Enhanced CVD (PECVD): Hoʻohui ʻia ka plasma i ka CVD wela e hoʻonui i ka wikiwiki o ka hopena a kaohi i ke kaʻina hana waiho. Metal Organic CVD (MOCVD): Ma ka hoʻohana ʻana i nā hui metala organik ma ke ʻano he mau kinoea mua, hiki ke hoʻomākaukau ʻia nā ʻili lahilahi o nā metala a me nā semiconductors, a hoʻohana pinepine ʻia i ka hana ʻana i nā mea hana e like me nā LED.
3. Noi
(1) Hana ʻana i ka semiconductor
ʻO ke kiʻiʻoniʻoni silicide: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i nā papa insulating, substrates, nā papa isolation, etc. ʻO ke kiʻiʻoniʻoni Nitride: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i ka silicon nitride, alumini nitride, etc., i hoʻohana ʻia i nā LED, nā mea mana, etc. ʻO ke kiʻiʻoniʻoni metala: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i nā papa conductive, nā papa metallized, etc.
(2) ʻenehana hōʻike
ʻO ke kiʻiʻoniʻoni ITO: ʻO ke kiʻiʻoniʻoni oxide conductive moakaka, i hoʻohana pinepine ʻia i nā hōʻikeʻike panel pālahalaha a me nā pale paʻi. ʻO ke kiʻiʻoniʻoni keleawe: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i nā papa hoʻopili, nā laina conductive, a me nā mea ʻē aʻe, e hoʻomaikaʻi i ka hana o nā hāmeʻa hōʻike.
(3) Nā kahua ʻē aʻe
Nā uhi ʻōnika: me nā uhi anti-reflective, nā kānana optical, a pēlā aku. Uhi anti-corrosion: hoʻohana ʻia i nā ʻāpana kaʻa, nā mea aerospace, a pēlā aku.
4. Nā ʻano o ke kaʻina hana CVD
E hoʻohana i kahi mahana kiʻekiʻe e hoʻoulu ai i ka wikiwiki o ka pane. Hana pinepine ʻia i loko o kahi ʻano hakahaka. Pono e wehe ʻia nā mea haumia ma luna o ka ʻili o ka ʻāpana ma mua o ka pena ʻana. Hiki i ke kaʻina hana ke loaʻa nā palena ma nā substrates i hiki ke uhi ʻia, ʻo ia hoʻi nā palena mahana a i ʻole nā palena reactivity. E uhi ka uhi CVD i nā wahi āpau o ka ʻāpana, me nā kaula, nā lua makapō a me nā ʻili o loko. Hiki ke kaupalena i ka hiki ke uhi i nā wahi kikoʻī. Ua kaupalena ʻia ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni e ke kaʻina hana a me nā kūlana mea. Hoʻopili maikaʻi loa.
5. Nā pono o ka ʻenehana CVD
ʻAno like: Hiki ke hoʻokō i ka waiho like ʻana ma luna o nā substrates nui.
Ka Mana Hoʻokele: Hiki ke hoʻololi ʻia ka nui o ka waiho ʻana a me nā waiwai kiʻiʻoniʻoni ma ka kaohi ʻana i ka nui o ke kahe a me ka mahana o ke kinoea mua.
Versatility: Kūpono no ka waiho ʻana o nā ʻano mea like ʻole, e like me nā metala, semiconductors, oxides, etc.
Ka manawa hoʻouna: Mei-06-2024