የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ መግቢያ

የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) ብዙ ጊዜ የተለያዩ ተግባራዊ ፊልሞችን እና ቀጭን-ንብርብር ቁሳቁሶችን ለማዘጋጀት የሚያገለግል አስፈላጊ ቀጭን ፊልም ዲፖዚሽን ቴክኖሎጂ ሲሆን በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና በሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።

1. የሲቪዲ የአሠራር መርህ

በሲቪዲ (CVD) ሂደት ውስጥ የጋዝ ፕሪከርሰር (አንድ ወይም ከዚያ በላይ የጋዝ ፕሪከርሰር ውህዶች) ከንጣፉ ወለል ጋር ይገናኛሉ እና በተወሰነ የሙቀት መጠን ይሞቃሉ፣ ይህም የኬሚካል ምላሽ እንዲፈጠር እና በንጣፉ ወለል ላይ እንዲቀመጥ እና የተፈለገውን ፊልም ወይም ሽፋን እንዲፈጥር ያደርጋል። የዚህ ኬሚካላዊ ምላሽ ውጤት ጠንካራ፣ ብዙውን ጊዜ የሚፈለገው ቁሳቁስ ውህድ ነው። ሲሊኮንን ከአንድ ወለል ጋር ለመለጠፍ ከፈለግን፣ ትሪክሎሮሲላን (SiHCl3) እንደ ፕሪከርሰር ጋዝ መጠቀም እንችላለን፡ SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl ሲሊከን ከማንኛውም የተጋለጠ ወለል (ውስጣዊም ሆነ ውጫዊ) ጋር ይያያዛል፣ ክሎሪን እና ሃይድሮክሎሪክ አሲድ ጋዞች ደግሞ ከክፍሉ ይለቀቃሉ።

2. የሲቪዲ ምደባ

የሙቀት ሲቪዲ (CVD)፡- ቅድመ-ተቆጣጣሪውን ጋዝ በማሞቅ በንጥረ ነገር ወለል ላይ እንዲበሰብስ እና እንዲቀመጥ በማድረግ። የፕላዝማ የተሻሻለ ሲቪዲ (PECVD)፡- ፕላዝማ የምላሽ መጠኑን ለማሻሻል እና የማስቀመጫ ሂደቱን ለመቆጣጠር ወደ ቴርማል ሲቪዲ (CVD) ይታከላል። ሜታል ኦርጋኒክ ሲቪዲ (MOCVD)፡- የብረት ኦርጋኒክ ውህዶችን እንደ ቅድመ-ዝግጅት ጋዞች በመጠቀም፣ ቀጭን የብረታ ብረት እና ሴሚኮንዳክተሮች ፊልሞች ሊዘጋጁ ይችላሉ፣ እና ብዙውን ጊዜ እንደ ኤልኢዲዎች ያሉ መሳሪያዎችን በማምረት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

3. አፕሊኬሽን

(1) የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ

የሲሊሳይድ ፊልም፡- መከላከያ ንብርብሮችን፣ ንጣፎችን፣ የመለየት ንብርብሮችን ወዘተ ለማዘጋጀት ያገለግላል። የኒትራይድ ፊልም፡- ሲሊኮን ናይትራይድ፣ አልሙኒየም ናይትራይድ፣ ወዘተ ለማዘጋጀት ያገለግላል፣ በኤልኢዲዎች፣ በሃይል መሳሪያዎች፣ ወዘተ. ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። የብረት ፊልም፡- ኮንዳክቲቭ ንብርብሮችን፣ ሜታላይዝድ ንብርብሮችን፣ ወዘተ ለማዘጋጀት ያገለግላል።

(2) የማሳያ ቴክኖሎጂ

የአይቲኦ ፊልም፡- ግልጽ የሆነ የኮንዳክቲቭ ኦክሳይድ ፊልም፣ በተለምዶ በጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች እና በንክኪ ማያ ገጾች ላይ ጥቅም ላይ ይውላል። የመዳብ ፊልም፡- የማሳያ መሳሪያዎችን አፈፃፀም ለማሻሻል የማሸጊያ ንብርብሮችን፣ የኮንዳክቲቭ መስመሮችን ወዘተ ለማዘጋጀት ይጠቅማል።

(3) ሌሎች መስኮች

የኦፕቲካል ሽፋኖች፡- ፀረ-ነጸብራቅ ሽፋኖችን፣ የኦፕቲካል ማጣሪያዎችን፣ ወዘተ ጨምሮ። ፀረ-ዝገት ሽፋን፡- በአውቶሞቲቭ ክፍሎች፣ በኤሮስፔስ መሳሪያዎች፣ ወዘተ. ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

4. የሲቪዲ ሂደት ባህሪያት

የምላሽ ፍጥነትን ለማሳደግ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው አካባቢ ይጠቀሙ። ብዙውን ጊዜ በቫክዩም አካባቢ ውስጥ ይከናወናል። ከመቀባትዎ በፊት በክፍሉ ወለል ላይ ያሉ ብክለቶች መወገድ አለባቸው። ሂደቱ ሊሸፈኑ በሚችሉት ንጣፎች ላይ ገደቦች ሊኖሩት ይችላል፣ ለምሳሌ የሙቀት ገደቦች ወይም የምላሽ ገደቦች። የCVD ሽፋን ክሮችን፣ ዓይነ ስውር ቀዳዳዎችን እና ውስጣዊ ገጽታዎችን ጨምሮ ሁሉንም የክፍሉን ክፍሎች ይሸፍናል። የተወሰኑ የታለሙ ቦታዎችን የመሸፈን ችሎታን ሊገድብ ይችላል። የፊልም ውፍረት በሂደቱ እና በቁሳቁስ ሁኔታዎች የተገደበ ነው። የላቀ ማጣበቂያ።