Efnafræðileg gufuútfelling (CVD) er mikilvæg þunnfilmuútfellingartækni, oft notuð til að búa til ýmsar virknifilmur og þunnlagsefni, og er mikið notuð í hálfleiðaraframleiðslu og á öðrum sviðum.
1. Virknisregla CVD
Í CVD ferlinu er gasforveri (eitt eða fleiri gaskennd forverasambönd) komið í snertingu við yfirborð undirlagsins og hitað upp í ákveðið hitastig til að valda efnahvörfum og setjast á yfirborð undirlagsins til að mynda tilætlaða filmu eða húðun. Afurð þessarar efnahvarfs er fast efni, venjulega efnasamband af tilteknu efni. Ef við viljum líma kísill á yfirborð getum við notað tríklórsílan (SiHCl3) sem forveragas: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl. Kísill binst hvaða yfirborði sem er sem verður fyrir barðinu (bæði innra og ytra), en klór- og saltsýrugas losnar úr hólfinu.
2. Flokkun hjarta- og æðasjúkdóma
Varma-CVD: Með því að hita forveragasið til að brjóta það niður og setjast á yfirborð undirlagsins. Plasma-enhanced CVD (PECVD): Plasma er bætt við varma-CVD til að auka viðbragðshraða og stjórna útfellingarferlinu. Málm-lífræn CVD (MOCVD): Með því að nota málm-lífræn efnasambönd sem forveragas er hægt að búa til þunnar filmur af málmum og hálfleiðurum, sem eru oft notaðar við framleiðslu á tækjum eins og LED ljósum.
3. Umsókn
(1) Framleiðsla hálfleiðara
Kísilfilma: notuð til að búa til einangrunarlög, undirlag, einangrunarlög o.s.frv. Nítríðfilma: notuð til að búa til kísilnítríð, álnítríð o.s.frv., notuð í LED ljós, aflgjafa o.s.frv. Málmfilma: notuð til að búa til leiðandi lög, málmhúðuð lög o.s.frv.
(2) Skjátækni
ITO-filma: Gagnsæ leiðandi oxíðfilma, almennt notuð í flatskjái og snertiskjái. Koparfilma: Notuð til að undirbúa umbúðalög, leiðandi línur o.s.frv., til að bæta afköst skjátækja.
(3) Önnur svið
Ljósfræðileg húðun: þar á meðal endurskinsvörn, ljósfræðileg síur o.s.frv. Ryðvarnarhúðun: notuð í bílahlutum, geimferðatækjum o.s.frv.
4. Einkenni hjarta- og æðasjúkdómsferlisins
Notið umhverfi við hátt hitastig til að auka viðbragðshraða. Venjulega framkvæmt í lofttæmi. Fjarlægja þarf mengunarefni á yfirborði hlutarins áður en málun fer fram. Ferlið getur haft takmarkanir á undirlaginu sem hægt er að húða, þ.e. hitastigstakmarkanir eða hvarfgirnitakmarkanir. CVD húðunin mun þekja öll svæði hlutarins, þar á meðal þræði, blindgöt og innri yfirborð. Getur takmarkað getu til að hylja tiltekin marksvæði. Þykkt filmunnar er takmörkuð af ferli og efnisskilyrðum. Frábær viðloðun.
5. Kostir CVD tækni
Einsleitni: Getur náð einsleitri útfellingu yfir stór undirlag.
Stýranleiki: Hægt er að aðlaga útfellingarhraða og eiginleika filmunnar með því að stjórna rennslishraða og hitastigi forveragassins.
Fjölhæfni: Hentar til útfellingar á ýmsum efnum, svo sem málmum, hálfleiðurum, oxíðum o.s.frv.
Birtingartími: 6. maí 2024