A kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) egy fontos vékonyréteg-leválasztási technológia, amelyet gyakran használnak különféle funkcionális filmek és vékonyréteg-anyagok előállítására, és széles körben alkalmazzák a félvezetőgyártásban és más területeken.
1. A szív- és érrendszeri terápia működési elve
A CVD eljárás során egy gázprekurzort (egy vagy több gáznemű prekurzor vegyületet) érintkezésbe hoznak az aljzat felületével, majd egy bizonyos hőmérsékletre melegítik, hogy kémiai reakció induljon be, és lerakódjon az aljzat felületén, így létrehozva a kívánt filmet vagy bevonatot. Ennek a kémiai reakciónak a terméke egy szilárd anyag, általában a kívánt anyagból álló vegyület. Ha szilíciumot szeretnénk egy felületre ragasztani, triklór-szilánt (SiHCl3) használhatunk prekurzor gázként: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl. A szilícium minden szabadon lévő felülethez (mind a belső, mind a külső) kötődik, miközben klór- és sósavgázok távoznak a kamrából.
2. Szív- és érrendszeri betegségek osztályozása
Termikus CVD: A prekurzor gáz melegítésével bomlik le és rakódik le az aljzat felületére. Plazmával fokozott CVD (PECVD): Plazmát adnak a termikus CVD-hez a reakciósebesség fokozása és a lerakódási folyamat szabályozása érdekében. Fémorganikus CVD (MOCVD): Fémorganikus vegyületek prekurzor gázként való felhasználásával fémek és félvezetők vékonyrétegei állíthatók elő, amelyeket gyakran használnak olyan eszközök gyártásában, mint például a LED-ek.
3. Alkalmazás
(1) Félvezetőgyártás
Szilicid film: szigetelőrétegek, aljzatok, izolációs rétegek stb. előállítására használják. Nitrid film: szilícium-nitrid, alumínium-nitrid stb. előállítására használják, LED-ekben, teljesítményeszközökben stb. használják. Fém film: vezetőképes rétegek, fémezett rétegek stb. előállítására használják.
(2) Kijelzőtechnológia
ITO fólia: Átlátszó, vezetőképes oxid fólia, amelyet általában síkképernyőkben és érintőképernyőkben használnak. Rézfólia: csomagolórétegek, vezetőképes vonalak stb. előkészítésére használják a kijelzőeszközök teljesítményének javítása érdekében.
(3) Egyéb mezők
Optikai bevonatok: beleértve a tükröződésmentesítő bevonatokat, optikai szűrőket stb. Korróziógátló bevonat: autóalkatrészekben, repülőgépipari eszközökben stb. használják.
4. A szív- és érrendszeri betegségek (CVD) jellemzői
Használjon magas hőmérsékletű környezetet a reakciósebesség elősegítésére. Általában vákuumkörnyezetben végzik. Az alkatrész felületén lévő szennyeződéseket festés előtt el kell távolítani. Az eljárásnak lehetnek korlátai a bevonható alapanyagokkal kapcsolatban, pl. hőmérsékleti korlátok vagy reakcióképességi korlátok. A CVD bevonat az alkatrész minden területét lefedi, beleértve a meneteket, zsákfuratokat és a belső felületeket. Korlátozhatja az egyes célterületek maszkolásának lehetőségét. A filmvastagságot a folyamat és az anyag körülményei korlátozzák. Kiváló tapadás.
5. A CVD technológia előnyei
Egyenletesség: Nagy felületű aljzatokon is képes egyenletes lerakódást elérni.
Szabályozhatóság: A lerakódási sebesség és a film tulajdonságai a prekurzor gáz áramlási sebességének és hőmérsékletének szabályozásával állíthatók be.
Sokoldalúság: Különböző anyagok, például fémek, félvezetők, oxidok stb. leválasztására alkalmas.
Közzététel ideje: 2024. május 6.