இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) என்பது ஒரு முக்கியமான மென்படலப் படிவுத் தொழில்நுட்பமாகும். இது பல்வேறு செயல்பாட்டுப் படலங்களையும் மென்படலப் பொருட்களையும் தயாரிக்கப் பயன்படுவதுடன், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
1. CVD-யின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
CVD செயல்முறையில், ஒரு வாயு முன்னோடி (ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வாயு முன்னோடி சேர்மங்கள்) அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புடன் தொடர்புபடுத்தப்பட்டு, ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு சூடுபடுத்தப்படுகிறது. இது ஒரு வேதிவினையை ஏற்படுத்தி, விரும்பிய படலம் அல்லது பூச்சு அடுக்கை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படிய வைக்கிறது. இந்த வேதிவினையின் விளைபொருள் ஒரு திடப்பொருளாகும், இது பொதுவாக விரும்பிய பொருளின் ஒரு சேர்மமாக இருக்கும். நாம் சிலிக்கானை ஒரு மேற்பரப்பில் ஒட்ட விரும்பினால், டிரைகுளோரோசிலேன் (SiHCl3) ஐ முன்னோடி வாயுவாகப் பயன்படுத்தலாம்: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl. சிலிக்கான் வெளிப்படும் எந்தவொரு மேற்பரப்புடனும் (உள்ளேயும் வெளியேயும்) பிணைந்துவிடும், அதே நேரத்தில் குளோரின் மற்றும் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமில வாயுக்கள் அறையிலிருந்து வெளியேற்றப்படும்.
2. இருதய நோய் வகைப்பாடு
வெப்ப CVD: முன்னோடி வாயுவை வெப்பப்படுத்தி, அதைச் சிதைத்து அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படிய வைப்பதன் மூலம் இது செய்யப்படுகிறது. பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD): வினை வேகத்தை அதிகரிக்கவும், படிதல் செயல்முறையைக் கட்டுப்படுத்தவும் வெப்ப CVD-இல் பிளாஸ்மா சேர்க்கப்படுகிறது. உலோக கரிம CVD (MOCVD): உலோக கரிம சேர்மங்களை முன்னோடி வாயுக்களாகப் பயன்படுத்தி, உலோகங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிக்கலாம், மேலும் இவை பெரும்பாலும் LED-கள் போன்ற சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
3. விண்ணப்பம்
(1) குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
சிலிசைடு படலம்: மின்காப்பு அடுக்குகள், அடித்தளங்கள், தனிமைப்படுத்தல் அடுக்குகள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. நைட்ரைடு படலம்: சிலிக்கான் நைட்ரைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது; இவை எல்.ஈ.டி-கள், ஆற்றல் சாதனங்கள் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உலோகப் படலம்: கடத்தும் அடுக்குகள், உலோகப்பூச்சு அடுக்குகள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
(2) காட்சி தொழில்நுட்பம்
ITO படலம்: ஒளிபுகும் கடத்தும் ஆக்சைடு படலம், இது பொதுவாக தட்டையான திரைக்காட்சிகள் மற்றும் தொடுதிரைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. தாமிரப் படலம்: காட்சி சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்காக, உறையிடல் அடுக்குகள், கடத்தும் கோடுகள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
(3) பிற புலங்கள்
ஒளியியல் பூச்சுகள்: எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் பூச்சுகள், ஒளியியல் வடிகட்டிகள் போன்றவை இதில் அடங்கும். அரிப்புத் தடுப்புப் பூச்சு: வாகன உதிரிபாகங்கள், விண்வெளி சாதனங்கள் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
4. CVD செயல்முறையின் பண்புகள்
வினை வேகத்தை ஊக்குவிக்க உயர் வெப்பநிலை சூழலைப் பயன்படுத்தவும். பொதுவாக வெற்றிடச் சூழலில் செய்யப்படுகிறது. வண்ணம் பூசுவதற்கு முன், பாகத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுகள் அகற்றப்பட வேண்டும். இந்தச் செயல்முறையில், பூசப்படக்கூடிய அடி மூலக்கூறுகளில் வரம்புகள் இருக்கலாம், அதாவது வெப்பநிலை வரம்புகள் அல்லது வினைத்திறன் வரம்புகள். CVD பூச்சானது, இழைகள், மறைவான துளைகள் மற்றும் உள் மேற்பரப்புகள் உட்பட, பாகத்தின் அனைத்துப் பகுதிகளையும் மூடும். குறிப்பிட்ட இலக்குப் பகுதிகளை மறைக்கும் திறனைக் கட்டுப்படுத்தலாம். படலத்தின் தடிமன், செயல்முறை மற்றும் மூலப்பொருளின் நிலைமைகளால் வரையறுக்கப்படுகிறது. சிறந்த ஒட்டுதல்.
5. CVD தொழில்நுட்பத்தின் நன்மைகள்
சீரான தன்மை: பெரிய பரப்பளவுள்ள தளங்களில் சீரான படிதலை அடையக்கூடியது.
கட்டுப்படுத்தக்கூடிய தன்மை: முன்னோடி வாயுவின் பாய்வு விகிதம் மற்றும் வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், படிதல் விகிதம் மற்றும் படலப் பண்புகளைச் சரிசெய்ய முடியும்.
பல்நோக்கு பயன்பாடு: உலோகங்கள், குறைக்கடத்திகள், ஆக்சைடுகள் போன்ற பல்வேறு பொருட்களைப் படியவைப்பதற்கு ஏற்றது.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-06-2024