Kuisa Chemical Vapor Deposition (CVD) inyanzvi yakakosha yekuisa firimu rakatetepa, inowanzoshandiswa kugadzira mafirimu akasiyana-siyana anoshanda uye zvinhu zvakatetepa, uye inoshandiswa zvakanyanya mukugadzira ma semiconductor nedzimwe nzvimbo.
1. Nheyo yekushanda kweCVD
Mukuita kweCVD, gasi rinotangira (imwe kana kupfuura gasi rinotanga) rinosangana nepamusoro pe substrate uye rinodziiswa kusvika patembiricha yakati kuti riite kuti pave nemakemikari anosanganiswa uye rinoiswa pamusoro pe substrate kuti rigadzire firimu kana coating yaunoda. Chigadzirwa cheiyi chemical reaction chinhu chakasimba, kazhinji kacho chinhu chakagadzirwa nezvinhu zvinodiwa. Kana tichida kunamira silicon pamusoro, tinogona kushandisa trichlorosilane (SiHCl3) segasi rinotanga: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon inosunga kune chero nzvimbo yakaratidzwa (yemukati neyekunze), nepo chlorine nehydrochloric acid magasi zvichiburitswa mukamuri.
2. Kurongwa kweCVD
CVD yekupisa: Nekudziisa gasi rinotanga kugadzirwa kuti riore uye riise pamusoro pe substrate. Plasma Enhanced CVD (PECVD): Plasma inowedzerwa kuCVD yekupisa kuti iwedzere reaction rate uye idzore maitiro ekuisa. Metal Organic CVD (MOCVD): Kushandisa simbi organic compounds se precursor gases, mafirimu matete esimbi nema semiconductors anogona kugadzirwa, uye anowanzo shandiswa mukugadzira zvishandiso zvakaita se LEDs.
3. Kushandiswa
(1) Kugadzirwa kwemasemiconductor
Firimu reSilicide: rinoshandiswa kugadzira machira ekudzivirira kupisa, ma substrate, machira ekudzivirira kupisa, nezvimwewo. Firimu reNitride: rinoshandiswa kugadzira silicon nitride, aluminium nitride, nezvimwewo, rinoshandiswa muma LED, zvishandiso zvemagetsi, nezvimwewo. Firimu resimbi: rinoshandiswa kugadzira machira ekufambisa mhepo, machira esimbi, nezvimwewo.
(2) Tekinoroji yekuratidzira
Firimu reITO: Firimu remhepo rinotenderera rinoita kuti zvinhu zvionekwe zviri pachena, rinowanzoshandiswa muzviratidziro zvepaneru dzakatsetseka uye muzviratidziro zvekubata. Firimu remhangura: rinoshandiswa kugadzira zvikamu zvekurongedza, mitsetse yemhepo inotenderera, nezvimwewo, kuvandudza mashandiro ezvishandiso zvekuratidza.
(3) Mimwe minda
Kupfeka kwemaziso: kusanganisira machira anodzivirira kupenya, mafirita emaziso, nezvimwewo. Kupfeka kwekudzivirira ngura: kunoshandiswa muzvikamu zvemotokari, zvishandiso zvemuchadenga, nezvimwewo.
4. Hunhu hwemaitiro eCVD
Shandisa nzvimbo inodziya zvakanyanya kukurudzira kumhanya kwekuita. Inowanzoitwa munzvimbo ine vacuum. Zvinosvibisa pamusoro pechikamu zvinofanirwa kubviswa usati wapenda. Maitiro acho anogona kunge aine miganho pazvikamu zvinogona kuputirwa, kureva miganho yekupisa kana miganho yekuita. Kuputira kweCVD kuchafukidza nzvimbo dzese dzechikamu, kusanganisira tambo, maburi asingaonekwe uye nzvimbo dzemukati. Inogona kuderedza kugona kwekuvhara nzvimbo dzakatarwa. Ukobvu hwefirimu hunogumira nekuda kwemaitiro nemamiriro ezvinhu. Kunamatira kwepamusoro.
5. Mabhenefiti etekinoroji yeCVD
Kufanana: Kukwanisa kuisa zvinhu zvakafanana pamusoro pevhu rakakura.
Kudzora: Mwero wekuisa uye hunhu hwefirimu zvinogona kugadziriswa nekudzora mwero wekuyerera uye tembiricha yegasi rinotangira.
Kuchinja-chinja: Yakakodzera kuiswa kwezvinhu zvakasiyana-siyana, zvakaita sesimbi, semiconductors, oxides, nezvimwewo.
Nguva yekutumira: Chivabvu-06-2024