Kev Siv Tshuaj Lom Zem (CVD) yog ib qho tseem ceeb ntawm kev siv tshuab tso cov yeeb yaj kiab nyias nyias, feem ntau siv los npaj ntau yam yeeb yaj kiab ua haujlwm thiab cov ntaub ntawv nyias nyias, thiab siv dav hauv kev tsim khoom semiconductor thiab lwm yam teb.
1. Txoj cai ua haujlwm ntawm CVD
Hauv cov txheej txheem CVD, cov roj ua ntej (ib lossis ntau cov roj ua ntej) raug coj los sib cuag nrog qhov chaw ntawm lub substrate thiab cua sov rau qee qhov kub kom ua rau muaj kev tshuaj lom neeg thiab tso rau ntawm qhov chaw ntawm lub substrate kom tsim cov zaj duab xis lossis txheej txheej uas xav tau. Cov khoom ntawm cov tshuaj lom neeg no yog cov khoom khov, feem ntau yog cov khoom sib xyaw ntawm cov khoom siv uas xav tau. Yog tias peb xav lo silicon rau ntawm qhov chaw, peb tuaj yeem siv trichlorosilane (SiHCl3) ua cov roj ua ntej: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon yuav khi rau txhua qhov chaw uas raug tshav ntuj (ob qho tib si sab hauv thiab sab nraud), thaum cov pa roj chlorine thiab hydrochloric acid yuav raug tso tawm ntawm lub chamber.
2. Kev faib tawm CVD
Thermal CVD: Los ntawm kev ua kom cov pa roj ua ntej kom lwj thiab tso rau ntawm qhov chaw substrate. Plasma Enhanced CVD (PECVD): Plasma raug ntxiv rau thermal CVD los txhim kho qhov nrawm ntawm cov tshuaj tiv thaiv thiab tswj cov txheej txheem tso tawm. Hlau Organic CVD (MOCVD): Siv cov hlau organic sib xyaw ua cov pa roj ua ntej, cov yeeb yaj kiab nyias ntawm cov hlau thiab semiconductors tuaj yeem npaj tau, thiab feem ntau siv rau hauv kev tsim cov khoom siv xws li LEDs.
3. Daim Ntawv Thov
(1) Kev tsim khoom siv semiconductor
Zaj duab xis silicide: siv los npaj cov txheej rwb thaiv tsev, cov khoom siv hauv qab, cov txheej cais tawm, thiab lwm yam. Zaj duab xis nitride: siv los npaj silicon nitride, txhuas nitride, thiab lwm yam, siv rau hauv LEDs, cov khoom siv fais fab, thiab lwm yam. Zaj duab xis hlau: siv los npaj cov txheej conductive, cov txheej metallized, thiab lwm yam.
(2) Kev siv tshuab tso saib
Zaj duab xis ITO: Zaj duab xis oxide pob tshab uas siv tau rau hauv cov zaub tiaj tiaj thiab cov ntxaij vab tshaus kov. Zaj duab xis tooj liab: siv los npaj cov txheej ntim khoom, cov kab hluav taws xob, thiab lwm yam, los txhim kho kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv tso saib.
(3) Lwm cov teb
Cov txheej txheem kho qhov muag: suav nrog cov txheej txheem tiv thaiv kev cuam tshuam, cov lim dej kho qhov muag, thiab lwm yam. Cov txheej txheem tiv thaiv xeb: siv rau hauv cov khoom siv tsheb, cov khoom siv aerospace, thiab lwm yam.
4. Cov yam ntxwv ntawm CVD txheej txheem
Siv qhov chaw kub siab los txhawb kev ua kom sai ntawm cov tshuaj tiv thaiv. Feem ntau ua tiav hauv qhov chaw nqus tsev. Cov pa phem ntawm qhov chaw ntawm qhov yuav tsum tau tshem tawm ua ntej pleev xim. Cov txheej txheem yuav muaj kev txwv ntawm cov substrates uas tuaj yeem coated, piv txwv li kev txwv kub lossis kev txwv reactivity. Lub CVD txheej yuav npog txhua qhov chaw ntawm qhov, suav nrog cov xov, qhov dig muag thiab cov nto sab hauv. Tej zaum yuav txwv tsis pub muaj peev xwm npog cov cheeb tsam tshwj xeeb. Cov zaj duab xis tuab yog txwv los ntawm cov txheej txheem thiab cov xwm txheej ntawm cov khoom siv. Kev nplaum zoo heev.
5. Cov txiaj ntsig ntawm CVD thev naus laus zis
Kev Sib Xws: Muaj peev xwm ua tiav kev sib xyaw ua ke ntawm thaj chaw loj.
Kev Tswjhwm: Tus nqi tso tawm thiab cov khoom ntawm zaj duab xis tuaj yeem hloov kho tau los ntawm kev tswj tus nqi ntws thiab qhov kub ntawm cov roj ua ntej.
Kev Siv Tau Ntau Yam: Haum rau kev tso cov khoom ntawm ntau yam khoom, xws li hlau, semiconductors, oxides, thiab lwm yam.
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-06-2024