Himiki bug çökündisi (HBÇ) dürli funksional plýonkalary we inçe gatlakly materiallary taýýarlamak üçin ulanylýan möhüm inçe plýonka çökündisi tehnologiýasydyr we ýarymgeçiriji önümçilikde we beýleki pudaklarda giňden ulanylýar.
1. Ýürek-damar ulgamynyň iş prinsipi
CVD prosesinde gaz prekursory (bir ýa-da birnäçe gaz prekursor birleşmeleri) substrat ýüzüne degýär we belli bir temperatura çenli gyzdyrylyp, himiki reaksiýa döredýär we substrat ýüzünde ýerleşdirilip, islenýän plýonka ýa-da örtük gatlagyny emele getirýär. Bu himiki reaksiýanyň önümi gaty jisimdir, adatça islenýän materialyň birleşmesidir. Eger biz kremniýi ýüze ýelmeşdirmek islesek, prekursor gaz hökmünde trihlorsilany (SiHCl3) ulanyp bileris: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Kremniý islendik açyk ýüze (içki we daşarky) baglanýar, hlor we duz turşusy gazlary bolsa kameradan çykarylar.
2. Ýürek-damar keselleriniň klassifikasiýasy
Termal CVD: Öňünden gelýän gazy gyzdyryp, ony parçalap, substratyň ýüzüne ýerleşdirmek arkaly. Plazma bilen güýçlendirilen CVD (PECVD): Reaksiýanyň tizligini ýokarlandyrmak we ýerleşdirme prosesini dolandyrmak üçin plazma termal CVD-e goşulýar. Metall Organiki CVD (MOCVD): Öňünden gelýän gazlar hökmünde metal organiki birleşmelerini ulanyp, metallaryň we ýarymgeçirijileriň inçe plýonkalaryny taýýarlap bolýar we köplenç LED ýaly enjamlaryň önümçiliginde ulanylýar.
3. Arza
(1) Ýarymgeçirijileriň önümçiligi
Silisid plýonkasy: izolýasiýa gatlaklaryny, substratlary, izolýasiýa gatlaklaryny we ş.m. taýýarlamak üçin ulanylýar. Nitrid plýonkasy: kremniý nitridini, alýumin nitridini we ş.m. taýýarlamak üçin ulanylýar, LED-lerde, elektrik enjamlarynda we ş.m. ulanylýar. Metal plýonkasy: geçiriji gatlaklary, metallaşdyrylan gatlaklary we ş.m. taýýarlamak üçin ulanylýar.
(2) Displeý tehnologiýasy
ITO plýonkasy: Ýassyk panelli displeýlerde we sensor ekranlarda giňden ulanylýan açyk geçiriji oksid plýonkasy. Mis plýonkasy: displeý enjamlarynyň işini gowulandyrmak üçin gaplama gatlaklaryny, geçiriji liniýalary we ş.m. taýýarlamak üçin ulanylýar.
(3) Beýleki meýdanlar
Optiki örtükler: şöhlelendiriji örtükler, optiki süzgüçler we ş.m. Korroziýa garşy örtük: awtoulag böleklerinde, aerokosmik enjamlarda we ş.m. ulanylýar.
4. Ýürek-damar ulgamynyň işiniň aýratynlyklary
Reaksiýanyň tizligini ýokarlandyrmak üçin ýokary temperaturaly gurşaw ulanyň. Adatça wakuum gurşawynda ýerine ýetirilýär. Boýamazdan öň bölegiň ýüzündäki hapalar aýrylmaly. Bu prosesde örtülip bilinjek substratlara çäklendirmeler bolup biler, ýagny temperatura çäklendirmeleri ýa-da reaksiýa çäklendirmeleri. CVD örtügi bölekiň ähli ýerlerini, şol sanda sapaklary, kör deşikleri we içki ýüzleri örtýär. Belli bir nyşana meýdanlaryny gizlemek ukybyny çäklendirip biler. Plenkanyň galyňlygy proses we material şertleri bilen çäklendirilýär. Ýokary ýelmeşme.
5. Ýürek-damar ulgamynyň tehnologiýasynyň artykmaçlyklary
Birmeňzeşlik: Uly meýdanly substratlarda birmeňzeş çökündi gazanyp bilýär.
Dolandyryp bolýar: Öňki gazyň akym tizligini we temperaturasyny dolandyrmak arkaly çökündi tizligini we plýonkanyň häsiýetlerini sazlap bolýar.
Köpugurlylyk: Metallar, ýarymgeçirijiler, oksidler we ş.m. ýaly dürli materiallary çökdürmek üçin amatly.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 6-njy maýy