Химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) – бул жука пленка чөктүрүүнүн маанилүү технологиясы, ал көбүнчө ар кандай функционалдык пленкаларды жана жука катмарлуу материалдарды даярдоо үчүн колдонулат жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана башка тармактарда кеңири колдонулат.
1. Жүрөк-кан тамыр ооруларынын иштөө принциби
CVD процессинде газ прекурсору (бир же бир нече газ түрүндөгү прекурсор кошулмалары) субстраттын бетине тийип, белгилүү бир температурага чейин ысытылат, химиялык реакцияны пайда кылат жана субстраттын бетине чөкмөлөп, керектүү пленканы же каптоо катмарын пайда кылат. Бул химиялык реакциянын продуктусу катуу зат, адатта, керектүү материалдын кошулмасы. Эгерде биз кремнийди бетке жабыштыргыбыз келсе, прекурсор газы катары трихлорсиланды (SiHCl3) колдоно алабыз: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Кремний ар кандай ачык бетке (ички жана тышкы) байланат, ал эми хлор жана туз кислотасы газдары камерадан чыгарылат.
2. Жүрөк-кан тамыр ооруларынын классификациясы
Термикалык CVD: Прекурсордук газды ысытып, аны бөлүп, субстраттын бетине жайгаштыруу аркылуу. Плазма менен күчөтүлгөн CVD (PECVD): Реакция ылдамдыгын жогорулатуу жана жайгаштыруу процессин башкаруу үчүн плазма термикалык CVDге кошулат. Металл органикалык CVD (MOCVD): Металл органикалык кошулмаларын прекурсордук газдар катары колдонуп, металлдардын жана жарым өткөргүчтөрдүн жука пленкаларын даярдоого болот жана көбүнчө LED сыяктуу түзүлүштөрдү өндүрүүдө колдонулат.
3. Колдонмо
(1) Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү
Силикиддик пленка: изоляциялык катмарларды, субстраттарды, изоляциялык катмарларды ж.б. даярдоо үчүн колдонулат. Нитриддик пленка: кремний нитридин, алюминий нитридин ж.б. даярдоо үчүн колдонулат, светодиоддордо, электр түзүлүштөрүндө ж.б. колдонулат. Металлдык пленка: өткөргүч катмарларды, металлдаштырылган катмарларды ж.б. даярдоо үчүн колдонулат.
(2) Дисплей технологиясы
ITO пленкасы: Тунук өткөргүч кычкыл пленкасы, көбүнчө жалпак панелдүү дисплейлерде жана сенсордук экрандарда колдонулат. Жез пленкасы: дисплей түзмөктөрүнүн иштешин жакшыртуу үчүн таңгактоочу катмарларды, өткөргүч линияларды ж.б. даярдоо үчүн колдонулат.
(3) Башка талаалар
Оптикалык каптоолор: анын ичинде чагылдырууга каршы каптоолор, оптикалык чыпкалар ж.б. Коррозияга каршы каптоо: автомобиль тетиктеринде, аэрокосмостук аппараттарда ж.б. колдонулат.
4. Жүрөк-кан тамыр ооруларынын процессинин мүнөздөмөсү
Реакциянын ылдамдыгын жогорулатуу үчүн жогорку температуралуу чөйрөнү колдонуңуз. Адатта вакуумдук чөйрөдө жасалат. Тетиктин бетиндеги булгоочу заттар боёодон мурун алынып салынышы керек. Процесс капталуучу субстраттарга, башкача айтканда, температуранын чектөөлөрүнө же реактивдүүлүктүн чектөөлөрүнө чектөөлөрдү камтышы мүмкүн. CVD каптоосу тетиктин бардык аймактарын, анын ичинде жиптерди, сокур тешиктерди жана ички беттерди камтыйт. Белгилүү бир максаттуу аймактарды жаап коюу мүмкүнчүлүгүн чектеши мүмкүн. Плёнканын калыңдыгы процесстин жана материалдын шарттары менен чектелет. Мыкты адгезия.
5. Жүрөк-кан тамыр системасынын технологиясынын артыкчылыктары
Бирдейлик: Чоң аянттагы субстраттарга бирдей чөкмөгө жетише алат.
Башкаруу мүмкүнчүлүгү: Чөкмө ылдамдыгын жана пленканын касиеттерин прекурсордук газдын агым ылдамдыгын жана температурасын көзөмөлдөө менен тууралоого болот.
Көп функциялуулугу: Металлдар, жарым өткөргүчтөр, оксиддер ж.б. сыяктуу ар кандай материалдарды чөктүрүүгө ылайыктуу.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 6-майы