Ny Fametrahana Etona Simika (CVD) dia teknolojia fametrahana sarimihetsika manify manan-danja, izay matetika ampiasaina hanomanana sarimihetsika miasa isan-karazany sy fitaovana sosona manify, ary ampiasaina betsaka amin'ny famokarana semiconductor sy sehatra hafa.
1. Fitsipiky ny fiasan'ny CVD
Ao amin'ny dingana CVD, dia ampifandraisina amin'ny velaran'ny substrate ny entona mpialoha lalana (singa mpialoha lalana entona iray na maromaro) ary hafanaina amin'ny mari-pana iray mba hiteraka fihetsika simika sy hipetraka eo amin'ny velaran'ny substrate mba hamorona ny sarimihetsika na sosona irina. Ny vokatra azo avy amin'ity fihetsika simika ity dia zavatra mivaingana, matetika fitambaran'ny fitaovana irina. Raha te-hametraka silisiôma amin'ny velarana isika, dia afaka mampiasa trichlorosilane (SiHCl3) ho toy ny entona mpialoha lalana: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl. Ny silisiôma dia hiraikitra amin'ny velarana rehetra mibaribary (na anatiny na ivelany), raha toa kosa ka hivoaka avy ao amin'ny efitrano ny entona klôro sy asidra hidroklorika.
2. Fanasokajiana CVD
CVD mafana: Amin'ny fanafanana ny entona mpialoha lalana mba ho lo sy hametraka azy eo amin'ny velaran'ny substrate. CVD nohatsaraina amin'ny plasma (PECVD): Ampiana amin'ny CVD mafana ny plasma mba hampitomboana ny tahan'ny fihetsehana sy hifehezana ny fizotran'ny fametrahana. CVD metaly organika (MOCVD): Amin'ny fampiasana ireo akora metaly organika ho toy ny entona mpialoha lalana, dia azo omanina ny sarimihetsika manify amin'ny metaly sy ny semiconductors, ary matetika ampiasaina amin'ny fanamboarana fitaovana toy ny LED.
3. Fampiharana
(1) Fanamboarana semiconductor
Sarimihetsika silisida: ampiasaina hanomanana sosona manasaraka, substrates, sosona mampisaraka, sns. Sarimihetsika nitrida: ampiasaina hanomanana silikônina nitrida, aliminioma nitrida, sns., ampiasaina amin'ny LED, fitaovana herinaratra, sns. Sarimihetsika metaly: ampiasaina hanomanana sosona mpitondra herinaratra, sosona metaly, sns.
(2) Teknolojia fampisehoana
Sarimihetsika ITO: Sarimihetsika oksida mpitondra herinaratra mangarahara, matetika ampiasaina amin'ny efijery fisaka sy efijery mikasika. Sarimihetsika varahina: ampiasaina hanomanana sosona fonosana, tsipika mpitondra herinaratra, sns., mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fitaovana fampisehoana.
(3) Saha hafa
Fandrakofana optika: anisan'izany ny fandrakofana manohitra taratra, sivana optika, sns. Fandrakofana manohitra harafesina: ampiasaina amin'ny kojakoja fiara, fitaovana aerospace, sns.
4. Toetran'ny fizotran'ny CVD
Mampiasà tontolo iainana misy mari-pana avo mba hampiroboroboana ny hafainganam-pandehan'ny fihetsika. Matetika atao ao anaty tontolo banga. Tsy maintsy esorina ny loto eo amin'ny velaran'ny ampahany alohan'ny handokoana azy. Mety hisy fetrany amin'ny substrates azo hosorana ny dingana, izany hoe fetrany amin'ny mari-pana na fetrany amin'ny fihetsika. Ny coating CVD dia handrakotra ny faritra rehetra amin'ny ampahany, anisan'izany ny kofehy, ny lavaka jamba ary ny velaran-tany anatiny. Mety hametra ny fahafahana manafina faritra kendrena manokana. Ny hatevin'ny sarimihetsika dia voafetra amin'ny fepetran'ny dingana sy ny fitaovana. Firaikitra tsara kokoa.
5. Tombony azo avy amin'ny teknolojia CVD
Fitoviana: Afaka mametraka mitovy amin'ny velaran-tany midadasika.
Fahafahana mifehy: Azo amboarina amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ny tahan'ny fikorianan'ny entona mpialoha lalana sy ny mari-pana ny tahan'ny fametrahana sy ny toetran'ny sarimihetsika.
Fahaiza-manao maro samihafa: Azo ampiasaina amin'ny fametrahana fitaovana isan-karazany, toy ny metaly, semiconductors, oksida, sns.
Fotoana fandefasana: Mey-06-2024