Химийн уурын тунадасжуулалт (CVD) нимгэн хальсан тунадасжуулалтын технологийн танилцуулга

Химийн уурын тунадасжуулалт (ХУТТ) нь нимгэн хальсан тунадасжуулалтын чухал технологи бөгөөд ихэвчлэн янз бүрийн функциональ хальс болон нимгэн давхаргын материалыг бэлтгэхэд ашиглагддаг бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.

1. ЗСӨ-ний ажиллах зарчим

CVD процесст хийн урьдал бодис (нэг буюу хэд хэдэн хийн урьдал нэгдлүүд)-ийг субстратын гадаргуутай холбож, тодорхой температурт халааж химийн урвал үүсгэж, субстратын гадаргуу дээр хуримтлагдаж хүссэн хальс эсвэл бүрхүүлийн давхарга үүсгэдэг. Энэхүү химийн урвалын бүтээгдэхүүн нь хатуу бодис бөгөөд ихэвчлэн хүссэн материалын нэгдэл юм. Хэрэв бид цахиурыг гадаргуу дээр наалдуулахыг хүсвэл урьдал хий болгон трихлорсилан (SiHCl3)-ийг ашиглаж болно: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Цахиур нь ил гарсан аливаа гадаргуутай (дотоод болон гадаад) холбогддог бол хлор болон давсны хүчлийн хий нь камернаас ялгардаг.

2. ЗСӨ-ний ангилал

Дулааны CVD: Урьдчилсан хийг халааж задалж, суурь гадаргуу дээр хуримтлуулах замаар. Плазмын сайжруулсан CVD (PECVD): Урвалын хурдыг нэмэгдүүлэх, тунадасжих процессыг хянахын тулд плазмыг дулааны CVD-д нэмнэ. Металл органик CVD (MOCVD): Металл органик нэгдлүүдийг урьдчилсан хий болгон ашиглан металл болон хагас дамжуулагчийн нимгэн хальс бэлтгэж болох бөгөөд ихэвчлэн LED зэрэг төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

3. Хэрэглээ

(1) Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл

Силикидын хальс: тусгаарлагч давхарга, суурь, тусгаарлагч давхарга гэх мэтийг бэлтгэхэд ашигладаг. Нитридын хальс: цахиурын нитрид, хөнгөн цагаан нитрид гэх мэтийг бэлтгэхэд ашигладаг бөгөөд LED, цахилгаан төхөөрөмж гэх мэтт ашигладаг. Металл хальс: дамжуулагч давхарга, металлжуулсан давхарга гэх мэтийг бэлтгэхэд ашигладаг.

(2) Дэлгэцийн технологи

ITO хальс: Хавтгай дэлгэц болон мэдрэгчтэй дэлгэцэнд түгээмэл хэрэглэгддэг тунгалаг дамжуулагч исэл хальс. Зэс хальс: дэлгэцийн төхөөрөмжийн ажиллагааг сайжруулахын тулд сав баглаа боодлын давхарга, дамжуулагч шугам гэх мэтийг бэлтгэхэд ашигладаг.

(3) Бусад талбарууд

Оптик бүрхүүл: гэрэл тусгалын эсрэг бүрхүүл, оптик шүүлтүүр гэх мэт орно. Зэврэлтийн эсрэг бүрхүүл: автомашины эд анги, сансрын төхөөрөмж гэх мэтт ашиглагддаг.

4. ЗСӨ-ний үйл явцын шинж чанар

Урвалын хурдыг нэмэгдүүлэхийн тулд өндөр температурын орчин ашиглана. Ихэвчлэн вакуум орчинд гүйцэтгэдэг. Будахаас өмнө эд ангийн гадаргуу дээрх бохирдлыг зайлуулах ёстой. Энэ процесс нь бүрэх боломжтой суурь дээр хязгаарлалттай байж болно, тухайлбал температурын хязгаарлалт эсвэл урвалд орох чадварын хязгаарлалт. CVD бүрхүүл нь эд ангийн бүх хэсгийг, түүний дотор утас, сохор нүх, дотор гадаргууг хамрах болно. Тодорхой зорилтот хэсгийг далдлах чадварыг хязгаарлаж болно. Киноны зузаан нь процесс болон материалын нөхцөл байдлаас шалтгаалан хязгаарлагдмал байдаг. Дээд зэргийн наалдацтай.