ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមី (CVD) គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ស្តើងដ៏សំខាន់មួយ ដែលជារឿយៗត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំស្រទាប់មុខងារផ្សេងៗ និងសម្ភារៈស្រទាប់ស្តើង ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។
១. គោលការណ៍ធ្វើការរបស់ CVD
នៅក្នុងដំណើរការ CVD សារធាតុបឋមឧស្ម័ន (សមាសធាតុបឋមឧស្ម័នមួយ ឬច្រើន) ត្រូវបាននាំមកប៉ះនឹងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយត្រូវបានកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ដើម្បីបង្កឱ្យមានប្រតិកម្មគីមី និងដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ឬថ្នាំកូតដែលចង់បាន។ ផលិតផលនៃប្រតិកម្មគីមីនេះគឺជាសារធាតុរឹង ជាធម្មតាជាសមាសធាតុនៃវត្ថុធាតុដែលចង់បាន។ ប្រសិនបើយើងចង់បិទស៊ីលីកុនទៅនឹងផ្ទៃមួយ យើងអាចប្រើទ្រីក្លរ៉ូស៊ីឡាន (SiHCl3) ជាឧស្ម័នបឋម៖ SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl ស៊ីលីកុននឹងភ្ជាប់ទៅនឹងផ្ទៃដែលលាតត្រដាងណាមួយ (ទាំងខាងក្នុង និងខាងក្រៅ) ខណៈពេលដែលឧស្ម័នក្លរីន និងអាស៊ីតអ៊ីដ្រូក្លរីកនឹងត្រូវបានបញ្ចេញចេញពីបន្ទប់។
2. ចំណាត់ថ្នាក់ CVD
ប្រតិកម្មកម្ដៅ CVD៖ ដោយការកំដៅឧស្ម័នបឋមដើម្បីរលួយ និងដាក់វានៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ប្រតិកម្មកម្ដៅប្លាស្មា (PECVD)៖ ប្លាស្មាត្រូវបានបន្ថែមទៅក្នុងប្រតិកម្មកម្ដៅដើម្បីបង្កើនអត្រាប្រតិកម្ម និងគ្រប់គ្រងដំណើរការដាក់។ ប្រតិកម្មសរីរាង្គលោហៈ (MOCVD)៖ ដោយប្រើសមាសធាតុសរីរាង្គលោហៈជាឧស្ម័នបឋម ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃលោហៈ និងស៊ីមីកុងដុកទ័រអាចត្រូវបានរៀបចំ ហើយជារឿយៗត្រូវបានគេប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍ដូចជា LEDs។
៣. ការដាក់ពាក្យ
(1) ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីស៊ីត៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ ស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ជាដើម។ ខ្សែភាពយន្តនីទ្រីត៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស៊ីលីកុននីទ្រីត អាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត ជាដើម ប្រើក្នុងអំពូល LED ឧបករណ៍ថាមពល ជាដើម។ ខ្សែភាពយន្តលោហៈ៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស្រទាប់ដែលដឹកនាំចរន្តអគ្គិសនី ស្រទាប់លោហធាតុ។ល។
(2) បច្ចេកវិទ្យាបង្ហាញ
ខ្សែភាពយន្ត ITO៖ ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដដែលមានចរន្តអគ្គិសនីថ្លា ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងអេក្រង់បន្ទះសំប៉ែត និងអេក្រង់ប៉ះ។ ខ្សែភាពយន្តទង់ដែង៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស្រទាប់វេចខ្ចប់ ខ្សែចរន្តអគ្គិសនី។ល។ ដើម្បីកែលម្អដំណើរការនៃឧបករណ៍បង្ហាញ។
(3) វិស័យផ្សេងទៀត
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ រួមទាំងថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង តម្រងអុបទិក ជាដើម។ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការច្រេះ៖ ប្រើក្នុងគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត ឧបករណ៍អវកាស ជាដើម។
៤. លក្ខណៈនៃដំណើរការ CVD
ប្រើបរិស្ថានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីជំរុញល្បឿនប្រតិកម្ម។ ជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស។ សារធាតុកខ្វក់នៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកត្រូវតែត្រូវបានយកចេញមុនពេលលាបពណ៌។ ដំណើរការនេះអាចមានដែនកំណត់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលអាចត្រូវបានស្រោប ពោលគឺដែនកំណត់សីតុណ្ហភាព ឬដែនកំណត់ប្រតិកម្ម។ ថ្នាំកូត CVD នឹងគ្របដណ្តប់គ្រប់ផ្នែកទាំងអស់នៃផ្នែក រួមទាំងខ្សែស្រឡាយ រន្ធខ្វាក់ និងផ្ទៃខាងក្នុង។ អាចកំណត់សមត្ថភាពក្នុងការបិទបាំងតំបន់គោលដៅជាក់លាក់។ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តត្រូវបានកំណត់ដោយដំណើរការ និងលក្ខខណ្ឌសម្ភារៈ។ ភាពស្អិតខ្ពស់។
៥. គុណសម្បត្តិនៃបច្ចេកវិទ្យា CVD
ឯកសណ្ឋាន៖ អាចសម្រេចបាននូវការដាក់ស្រទាប់ឯកសណ្ឋានលើស្រទាប់ខាងក្រោមធំមួយ។
លទ្ធភាពគ្រប់គ្រង៖ អត្រានៃការដាក់សារធាតុ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយការគ្រប់គ្រងអត្រាលំហូរ និងសីតុណ្ហភាពនៃឧស្ម័នបឋម។
ភាពបត់បែន៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ការដាក់សម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាលោហធាតុ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អុកស៊ីដ ជាដើម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៦-២០២៤