خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD) مۇھىم نېپىز پەردە چۆكۈش تېخنىكىسى بولۇپ، كۆپىنچە ھەر خىل ئىقتىدارلىق پەردىلەر ۋە نېپىز قەۋەتلىك ماتېرىياللارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ، ھەمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە باشقا ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
1. يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرىنىڭ ئىشلەش پىرىنسىپى
CVD جەريانىدا، گاز ئالدىنقى بىرىكمىسى (بىر ياكى بىردىن ئارتۇق گاز ئالدىنقى بىرىكمىسى) ئاساسىي قاتلام يۈزى بىلەن ئۇچرىشىپ، بەلگىلىك تېمپېراتۇرىغا قىزىتىلىپ، خىمىيىلىك رېئاكسىيە پەيدا قىلىدۇ ۋە ئاساسىي قاتلام يۈزىگە چۆكۈپ، ئارزۇ قىلىنغان پەردە ياكى قاپلاش قەۋىتىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيەنىڭ مەھسۇلاتى قاتتىق ماددا بولۇپ، ئادەتتە ئارزۇ قىلىنغان ماتېرىيالنىڭ بىرىكمىسىدىن تەركىب تاپىدۇ. ئەگەر بىز كرېمنىينى بىر يۈزگە چاپلىماقچى بولساق، ئالدىنقى گاز سۈپىتىدە ترىخلوروسىلان (SiHCl3) نى ئىشلەتسەك بولىدۇ: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl كرېمنىي ھەر قانداق ئوچۇق يۈزگە (ئىچكى ۋە تاشقى) چاپلىشىدۇ، خلور ۋە تۇز كىسلاتاسى گازلىرى بولسا كامېرادىن چىقىرىلىدۇ.
2. يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرىنىڭ تۈرگە ئايرىلىشى
ئىسسىقلىق CVD: ئالدىنقى گازنى قىزىتىپ پارچىلاپ، ئاساسىي قەۋەت يۈزىگە قويۇش ئارقىلىق. پلازما كۈچەيتىلگەن CVD (PECVD): رېئاكسىيە سۈرئىتىنى ئاشۇرۇش ۋە قويۇش جەريانىنى كونترول قىلىش ئۈچۈن پلازما ئىسسىقلىق CVD غا قوشۇلىدۇ. مېتال ئورگانىك CVD (MOCVD): مېتال ئورگانىك بىرىكمىلىرىنى ئالدىنقى گاز سۈپىتىدە ئىشلىتىپ، مېتاللار ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنىڭ نېپىز پەردىلىرىنى تەييارلىغىلى بولىدۇ، ھەمدە كۆپىنچە LED قاتارلىق ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدۇ.
3. قوللىنىش
(1) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش
سىلىتسىيد پىلاستىنكىسى: ئىزولياتسىيە قەۋىتى، ئاساسىي قەۋەت، ئىزولياتسىيە قەۋىتى قاتارلىقلارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. نىترىد پىلاستىنكىسى: كرېمنىي نىترىد، ئاليۇمىن نىترىد قاتارلىقلارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ، LED چىراغلىرى، ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ. مېتال پىلاستىنكىسى: ئۆتكۈزگۈچ قەۋەت، مېتاللاشتۇرۇلغان قەۋەت قاتارلىقلارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ.
(2) كۆرسىتىش تېخنىكىسى
ITO پىلاستىنكىسى: سۈزۈك ئۆتكۈزگۈچ ئوكسىد پىلاستىنكىسى، ئادەتتە ياپىلاق ئېكران ۋە سېزىمچان ئېكرانلاردا ئىشلىتىلىدۇ. مىس پىلاستىنكىسى: كۆرسىتىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىقتىدارىنى ياخشىلاش ئۈچۈن ئورالما قەۋىتى، ئۆتكۈزگۈچ لىنىيىسى قاتارلىقلارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ.
(3) باشقا ساھەلەر
ئوپتىكىلىق قاپلاش: نۇر قايتۇرۇشقا قارشى قاپلاش، ئوپتىكىلىق سۈزگۈچ قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. چىرىشكە قارشى قاپلاش: ئاپتوموبىل زاپچاسلىرى، ئاۋىئاتسىيە ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ.
4. يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى جەريانىنىڭ ئالاھىدىلىكلىرى
رېئاكسىيە سۈرئىتىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىت ئىشلىتىڭ. ئادەتتە ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. بوياقتىن بۇرۇن زاپچاسنىڭ يۈزىدىكى بۇلغانمىلارنى چىقىرىۋېتىش كېرەك. بۇ جەرياندا قاپلىغىلى بولىدىغان ئاساسىي قاتلاملارغا چەكلىمە قويۇلۇشى مۇمكىن، يەنى تېمپېراتۇرا چەكلىمىسى ياكى رېئاكسىيە چەكلىمىسى. CVD قاپلىمىسى زاپچاسنىڭ بارلىق رايونلىرىنى، جۈملىدىن يىپ، كۆرۈنمەيدىغان تۆشۈكلەر ۋە ئىچكى يۈزلەرنى قاپلايدۇ. مەلۇم نىشان رايونلىرىنى يېپىش ئىقتىدارىنى چەكلەشى مۇمكىن. پىلاستىنكا قېلىنلىقى جەريان ۋە ماتېرىيال شارائىتى بىلەن چەكلىنىدۇ. ئېسىل يېپىشتۇرۇش ئىقتىدارى.
5. CVD تېخنىكىسىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى
بىردەكلىك: چوڭ كۆلەمدىكى ئاساسىي قاتلاملارغا بىردەك چۆكۈش ئىقتىدارىغا ئىگە.
كونترول قىلىش ئىقتىدارى: ئالدىنقى گازنىڭ ئېقىم سۈرئىتى ۋە تېمپېراتۇرىسىنى كونترول قىلىش ئارقىلىق چۆكمە سۈرئىتى ۋە پىلاستىنكا خۇسۇسىيىتىنى تەڭشىگىلى بولىدۇ.
كۆپ ئىقتىدارلىق: مېتال، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، ئوكسىد قاتارلىق ھەر خىل ماتېرىياللارنى چۆكتۈرۈشكە ماس كېلىدۇ.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 5-ئاينىڭ 6-كۈنى