Чопкунии буғи кимиёвӣ (CVD) як технологияи муҳими ҷойгиркунии плёнкаи тунук аст, ки аксар вақт барои тайёр кардани плёнкаҳои гуногуни функсионалӣ ва маводҳои қабати тунук истифода мешавад ва дар истеҳсоли нимноқилҳо ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешавад.
1. Принсипи кори CVD
Дар раванди CVD, як прекурсори газ (як ё якчанд пайвастагиҳои прекурсори газӣ) бо сатҳи субстрат тамос гирифта, то ҳарорати муайян гарм карда мешавад, то аксуламали кимиёвӣ ба вуҷуд ояд ва дар сатҳи субстрат ҷойгир шуда, қабати плёнка ё пӯшиши дилхоҳро ташкил диҳад. Маҳсули ин аксуламали кимиёвӣ ҷисми сахт аст, одатан як пайвастагии маводи дилхоҳ. Агар мо хоҳем, ки кремнийро ба сатҳ часпонем, мо метавонем трихлорсилан (SiHCl3)-ро ҳамчун гази прекурсор истифода барем: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Кремний ба ҳама гуна сатҳи фошшуда (ҳам дохилӣ ва ҳам беруна) пайваст мешавад, дар ҳоле ки газҳои хлор ва кислотаи хлорид аз камера хориҷ карда мешаванд.
2. Таснифи бемориҳои дилу раг
CVD гармӣ: Бо гарм кардани гази пешгузашта барои таҷзия ва гузоштани он дар сатҳи субстрат. CVD-и такмилёфтаи плазма (PECVD): Плазма ба CVD-и гармӣ илова карда мешавад, то суръати реаксияро афзоиш диҳад ва раванди гузоштани онро назорат кунад. CVD-и органикии металлӣ (MOCVD): Бо истифода аз пайвастагиҳои органикии металлӣ ҳамчун газҳои пешгузашта, плёнкаҳои тунуки металлҳо ва нимноқилҳоро метавон омода кард ва аксар вақт дар истеҳсоли дастгоҳҳо ба монанди LED истифода мешаванд.
3. Ариза
(1) Истеҳсоли нимноқилҳо
Плёнкаи силикидӣ: барои тайёр кардани қабатҳои изолятсия, субстратҳо, қабатҳои изолятсия ва ғайра истифода мешавад. Плёнкаи нитридӣ: барои тайёр кардани нитриди силикон, нитриди алюминий ва ғайра истифода мешавад, ки дар LED-ҳо, дастгоҳҳои барқӣ ва ғайра истифода мешавад. Плёнкаи металлӣ: барои тайёр кардани қабатҳои ноқилӣ, қабатҳои металлӣ ва ғайра истифода мешавад.
(2) Технологияи намоиш
Плёнкаи ITO: Плёнкаи оксидии шаффофи ноқил, ки маъмулан дар дисплейҳои ҳамвор ва экранҳои сенсорӣ истифода мешавад. Плёнкаи мисӣ: барои тайёр кардани қабатҳои бастабандӣ, хатҳои ноқил ва ғайра, барои беҳтар кардани кори дастгоҳҳои намоишӣ истифода мешавад.
(3) Соҳаҳои дигар
Пӯшишҳои оптикӣ: аз ҷумла рӯйпӯшҳои зидди инъикос, филтрҳои оптикӣ ва ғайра. Пӯшиши зидди зангзанӣ: дар қисмҳои автомобилӣ, дастгоҳҳои кайҳонӣ ва ғайра истифода мешавад.
4. Хусусиятҳои раванди CVD
Барои баланд бардоштани суръати реаксия аз муҳити ҳарорати баланд истифода баред. Одатан дар муҳити вакуумӣ анҷом дода мешавад. Пеш аз рангкунӣ ифлоскунандаҳо дар сатҳи қисм бояд тоза карда шаванд. Раванд метавонад барои субстратҳое, ки метавонанд пӯшонида шаванд, маҳдудиятҳо дошта бошад, яъне маҳдудиятҳои ҳарорат ё маҳдудиятҳои реактивӣ. Пӯшиши CVD ҳамаи минтақаҳои қисмро, аз ҷумла риштаҳо, сӯрохиҳои ноаён ва сатҳҳои дохилиро фаро мегирад. Метавонад қобилияти пинҳон кардани минтақаҳои мушаххаси мақсаднокро маҳдуд кунад. Ғафсии плёнка аз сабаби шароити раванд ва мавод маҳдуд аст. Часпиши аъло.
5. Бартариятҳои технологияи CVD
Якрангӣ: Қобилияти ба даст овардани таҳшиншавии якхела дар рӯи заминҳои калон.
Идорашавандагӣ: Суръати таҳшиншавӣ ва хосиятҳои плёнкаро бо назорати суръати ҷараён ва ҳарорати гази пешакӣ танзим кардан мумкин аст.
Имконияти истифода: Муносиб барои таҳшин кардани маводҳои гуногун, аз қабили металлҳо, нимноқилҳо, оксидҳо ва ғайра.
Вақти нашр: 06 майи соли 2024