O le Chemical Vapor Deposition (CVD) o se tekinolosi taua o le teuina o ata manifinifi, e masani ona faʻaaogaina e saunia ai ata eseese e aoga ma mea manifinifi, ma e faʻaaogaina lautele i le gaosiga o semiconductor ma isi matāʻupu.
1. Mataupu faavae o le fa'agaioiga o le CVD
I le faagasologa o le CVD, o se kesi muamua (tasi pe sili atu foi kesi muamua) e aumaia e faafesoota’i ma le fogāeleele o le substrate ma fa’avevela i se vevela patino e mafua ai se tali atu fa’akemikolo ma fa’aputu i luga o le fogāeleele o le substrate e fausia ai le ata tifaga po’o le ufiufi e mana’omia. O le oloa o lenei tali atu fa’akemikolo o se mea mautu, e masani lava o se tu’ufa’atasiga o le mea e mana’omia. Afai tatou te manana’o e fa’apipi’i le silicon i se fogāeleele, e mafai ona tatou fa’aaogaina le trichlorosilane (SiHCl3) o se kesi muamua: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl O le a pipii le Silicon i so’o se fogāeleele ua aliali mai (i totonu ma fafo), a’o le chlorine ma kasa hydrochloric acid o le a fa’asa’olotoina mai le potu.
2. Fa'avasegaga o le CVD
CVD Fa'avevela: E ala i le fa'avevela o le kesi muamua e pala ma fa'aputu i luga o le fogāeleele. CVD Fa'aleleia Plasma (PECVD): E fa'aopoopo le plasma i le CVD fa'avevela e fa'aleleia atili ai le saoasaoa o le tali atu ma pulea ai le fa'agasologa o le fa'aputuina. CVD Fa'alenatura U'amea (MOCVD): I le fa'aaogaina o mea fa'aola u'amea e fai ma kesi muamua, e mafai ona saunia ai ni ata manifinifi o u'amea ma semiconductors, ma e masani ona fa'aaogaina i le gaosiga o masini e pei o LEDs.
3. Talosaga
(1) Gaosiga o semiconductor
Ata tifaga silicide: fa'aaoga e saunia ai vaega e taofia ai le vevela, mea e fa'apipi'i ai, vaega e vavae'ese ai, ma isi mea. Ata tifaga Nitride: fa'aaoga e saunia ai le silicon nitride, alumini nitride, ma isi mea, e fa'aaoga i LED, masini eletise, ma isi mea. Ata tifaga u'amea: fa'aaoga e saunia ai vaega e fa'avevela ai le vevela, vaega u'amea, ma isi mea.
(2) Tekonolosi fa'aaliga
Ata ITO: Ata manino e fa'a'ave ai le eletise, e masani ona fa'aaogaina i fa'aaliga laupapa mafolafola ma laupepa pa'i. Ata apamemea: e fa'aaogaina e saunia ai vaega afifi, laina fa'a'ave, ma isi mea, e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o masini fa'aaliga.
(3) Isi fanua
Ufiufi opitika: e aofia ai ufiufi e tete'e atu i le atagia mai o ata, faamama opitika, ma isi mea faapena. Ufiufi e tete'e atu i le 'ele: fa'aaogaina i vaega o ta'avale, masini va'alele, ma isi mea faapena.
4. Uiga o le faagasologa o le CVD
Faaaoga le siosiomaga vevela maualuga e faʻaleleia ai le saoasaoa o le tali atu. E masani ona faia i se siosiomaga e leai se masini e faʻamama ai le ea. E tatau ona aveese mea leaga i luga o le vaega aʻo leʻi valiina. Atonu e iai ni tapulaʻa i le faiga o le faagasologa i mea e mafai ona ufiufi, e pei o tapulaʻa i le vevela poʻo tapulaʻa i le tali atu. O le ufiufi CVD o le a ufiufi ai vaega uma o le vaega, e aofia ai filo, pu tauaso ma luga i totonu. Atonu e faʻatapulaʻaina ai le mafai ona ufiufi vaega patino. O le mafiafia o le ata tifaga e faʻatapulaʻaina e tulaga o le faiga ma meafaitino. Pipii lelei.
5. Penefiti o tekinolosi CVD
Tutusa: Mafai ona ausia le fa'aputuga tutusa i luga o se vaega tele o mea.
Puleaina: E mafai ona fetu'una'i le fua faatatau o le fa'aputuina ma meatotino o le ata tifaga e ala i le puleaina o le fua faatatau o le tafe ma le vevela o le kesi muamua.
Fetuuna'i: Talafeagai mo le fa'aputuina o le tele o mea, e pei o u'amea, semiconductors, oxides, ma isi.
Taimi na lafoina ai: Me-06-2024