Supporto in grafite per processo PECVD

Breve descrizione:

Energia VETLa barchetta in grafite PECVD per pannelli solari è un componente avanzato progettato specificamente per la produzione di pannelli solari ad alte prestazioni. Utilizzata nei processi di deposizione chimica da vapore potenziata al plasma (PECVD), questa barchetta in grafite garantisce una movimentazione ottimale del materiale e una deposizione uniforme di film sottili sulle celle solari. Progettata per garantire precisione e durata, offre conduttività termica superiore, elevata resistenza alla corrosione e contaminazione minima, caratteristiche essenziali per la produzione di pannelli solari efficienti e di alta qualità.

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Energia VETIl supporto in grafite per il processo PECVD è un materiale di consumo di alta qualità, progettato appositamente per il processo PECVD (deposizione chimica da vapore potenziata al plasma). Questo supporto in grafite è realizzato in grafite ad alta purezza e densità, con eccellenti caratteristiche di resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, stabilità dimensionale e altre caratteristiche, e può fornire una piattaforma di supporto stabile per il processo PECVD, garantendo l'uniformità e la planarità della deposizione di film sottili.

I supporti in grafite per il processo PECVD presentano le seguenti caratteristiche:

▪ Elevata purezza: contenuto di impurità estremamente basso, che evita la contaminazione della pellicola e ne garantisce la qualità.

▪ Alta densità: alta densità, elevata resistenza meccanica, in grado di sopportare alte temperature e alte pressioni in ambienti PECVD.

▪ Buona stabilità dimensionale: piccole variazioni dimensionali ad alta temperatura, garantendo la stabilità del processo.

▪ Eccellente conduttività termica: trasferisce efficacemente il calore per prevenire il surriscaldamento del wafer.

▪ Elevata resistenza alla corrosione: in grado di resistere all'erosione causata da vari gas corrosivi e plasma.

▪ Servizio personalizzato: i supporti in grafite di diverse dimensioni e forme possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Standard di prova	Valore	Unità
Granulometria media	Norma ISO 13320	10	micron
Densità apparente	Norma DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
porosità aperta	DIN66133	10	%
Pori di media grandezza	DIN66133	1.8	micron
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistenza alla flessione	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
Modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Espansione termica (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando la lavorazione di wafer di grandi dimensioni G12. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo rendimenti più elevati e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Numero di wafer portante
Barca Grephite PEVCD - La serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca di grefite	216
	156-21 barca di grefite	240
	156-23 barca in grafite	308
Barca Grephite PEVCD - La serie 125	Barca grefite 125-15	196
	Barca grefita 125-19	252
	Barca in carbonio 125-21	280