Supporto in grafite per il processo PECVD

Supporto in grafite per processo PECVD Immagine in evidenza

Breve descrizione:

Energia VETERANALa barchetta in grafite PECVD per pannelli solari è un componente avanzato progettato specificamente per la produzione di pannelli solari ad alte prestazioni. Utilizzata nei processi di deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma (PECVD), questa barchetta in grafite garantisce una gestione ottimale del materiale e una deposizione uniforme di film sottili sulle celle solari. Progettata per precisione e durata, offre una conduttività termica superiore, un'elevata resistenza alla corrosione e una contaminazione minima, caratteristiche essenziali per la produzione di pannelli solari efficienti e di alta qualità.

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Energia VETERANAIl supporto in grafite per il processo PECVD è un materiale di consumo di alta qualità, specificamente progettato per il processo PECVD (deposizione chimica in fase vapore assistita da plasma). Realizzato in grafite ad alta purezza e densità, questo supporto offre un'eccellente resistenza alle alte temperature, alla corrosione, alla stabilità dimensionale e altre caratteristiche, garantendo una piattaforma stabile per il processo PECVD e assicurando uniformità e planarità nella deposizione di film sottili.

I supporti in grafite per il processo PECVD presentano le seguenti caratteristiche:

▪ Elevata purezza: contenuto di impurità estremamente basso, che evita la contaminazione della pellicola e garantisce la qualità della stessa.

▪ Alta densità: elevata densità, elevata resistenza meccanica, in grado di resistere ad ambienti PECVD ad alta temperatura e alta pressione.

▪ Buona stabilità dimensionale: minima variazione dimensionale ad alta temperatura, garantendo la stabilità del processo.

▪ Eccellente conduttività termica: trasferisce efficacemente il calore per prevenire il surriscaldamento del wafer.

▪ Elevata resistenza alla corrosione: in grado di resistere all'erosione causata da vari gas corrosivi e plasma.

▪ Servizio personalizzato: i supporti in grafite di diverse dimensioni e forme possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Standard di prova	Valore	Unità
Dimensione media dei grani	ISO 13320	10	μm
densità apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosità aperta	DIN 66133	10	%
Pori di medie dimensioni	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forza flessionale	DIN IEC 60413/501	60	MPa
resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatazione termica (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando la lavorazione di wafer di grandi dimensioni G12. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo rese più elevate e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Porta wafer numerico
Barca in gres porcellanato PEVCD - Serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca in grephite	216
	156-21 barca in grephite	240
	Barca in grafite 156-23	308
Barca in gres porcellanato PEVCD - Serie 125	125-15 barca in grephite	196
	125-19 barca in grephite	252
	Barca in grafite 125-21	280