CVD Silikonkarbiedbedekte Grafietring

Kort beskrywing:

VET Energy silikonkarbiedbedekte grafiering is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te bied. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing vir waferverwerkingstoepassings maak.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Tipiese eienskappe van basisgrafietmateriaal:

Skynbare Digtheid:	1.85 g/cm3
Elektriese Weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Kushardheid:	58
As:	<5 dpm
Termiese geleidingsvermoë:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Ons verskaf verskeie susseptors en grafietkomponente vir alle huidige epitaksiereaktore. Ons produkte sluit in loop-susseptors vir LPE-eenhede, pannekoek-susseptors vir LPE-, CSD- en Gemini-eenhede, en enkelwafer-susseptors vir toegepaste en ASM-eenhede.

Deur sterk vennootskappe met toonaangewende OEM's, materiaalkundigheid en vervaardigingskennis te kombineer, bied Vet die optimale ontwerp vir u toepassing.

VET Energie is diewerklike vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met CVD-laag,kan voorsienverskeieaangepaste onderdele vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrie. OOns tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings biedvir jou.

FKenmerke van ons produkte:

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700℃.
2. Hoë suiwerheid entermiese eenvormigheid
3. Uitstekende korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam

KVS SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking
性质 / Eiendom	典型数值 / Tipiese Waarde
晶体结构 / Kristalstruktuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Digtheid	3.21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度（500g vrag）
晶粒大小 / Graangrootte	2~10μm
纯度 / Chemiese Suiwerheid	99.99995%
热容 / Hittekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasie Temperatuur	2700℃
抗弯强度 / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young se Modulus	430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeleidingsvermoë	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiese Uitbreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1