Кольцо из графита, покрытого карбидом кремния, полученным методом химического осаждения из газовой фазы (CVD).

Изображение графитового кольца, покрытого карбидом кремния, полученным методом химического осаждения из газовой фазы (CVD).

Краткое описание:

Графитовое кольцо с покрытием из карбида кремния от VET Energy — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Оно обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Типичные свойства основного графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см³
Электрическое сопротивление:	11 мкОм
Прочность на сгибания:	49 МПа (500 кгс/см²)
Твердость по Шору:	58
Пепел:	<5 ppm
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

Мы поставляем различные подложки и графитовые компоненты для всех современных эпитаксиальных реакторов. Наша продукция включает в себя цилиндрические подложки для установок LPE, плоские подложки для установок LPE, CSD и Gemini, а также подложки для отдельных пластин для установок Applied и ASM.

Благодаря прочным партнерским отношениям с ведущими производителями оригинального оборудования, экспертным знаниям в области материалов и производственному опыту, компания vet предлагает оптимальную конструкцию для вашего применения.

VET Energy — это тотНастоящий производитель изделий из графита и карбида кремния, изготовленных по индивидуальному заказу с использованием CVD-покрытия.может поставлятьразличныйИзготовление деталей на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

FХарактеристики нашей продукции:

1. Высокая термостойкость к окислению до 1700 °C.℃.
2. Высокая чистота итермическая однородность
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.

ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 Кристаллическая структура	β-фаза ГЦК多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2–10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 Модуль Юнга	4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)	4,5×10^-6K^-1