Графитовое кольцо с покрытием из карбида кремния CVD

Изображение графитового кольца с покрытием из карбида кремния CVD

Краткое описание:

Покрытое карбидом кремния графитовое кольцо VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает суперхорошей термостойкостью и тепловой однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Типичные свойства базового графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см3
Удельное электрическое сопротивление:	11 мкОм
Прочность на изгиб:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твёрдость по Шору:	58
Пепел:	<5 частей на миллион
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

Мы поставляем различные токоприемники и графитовые компоненты для всех современных реакторов эпитаксии. Наша продукция включает в себя токоприемники-баррели для блоков LPE, токоприемники-панкейки для блоков LPE, CSD и Gemini, а также токоприемники с одной пластиной для прикладных и ASM-блоков.

Благодаря сочетанию прочных партнерских отношений с ведущими производителями оригинального оборудования, экспертных знаний в области материалов и производственных технологий компания Vet предлагает оптимальную конструкцию для вашего применения.

VET Энергия - это настоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с покрытием CVD,может поставлятьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, которые могут предложить более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

FОсобенности нашей продукции:

1. Стойкость к высокотемпературному окислению до 1700°С.℃.
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твёрдость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1