Inel de grafit acoperit cu carbură de siliciu CVD

Imagine prezentată a inelului de grafit acoperit cu carbură de siliciu CVD

Scurtă descriere:

Inelul de grafit acoperit cu carbură de siliciu VET Energy este un produs de înaltă performanță, conceput pentru a oferi performanțe constante și fiabile pe o perioadă extinsă de timp. Are o rezistență la căldură și o uniformitate termică foarte bune, puritate ridicată și rezistență la eroziune, ceea ce îl face soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a napolitanelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Proprietăți tipice ale materialului de grafit de bază:

Densitate aparentă:	1,85 g/cm³
Rezistență electrică:	11 μΩm
Rezistență la încovoiere:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Duritate Shore:	58
Frasin:	<5 ppm
Conductivitate termică:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Furnizăm diverse tipuri de susceptori și componente din grafit pentru toate reactoarele de epitaxie actuale. Produsele noastre includ susceptori tip butoi pentru unitățile LPE, susceptori tip clătită pentru unitățile LPE, CSD și Gemini și susceptori cu o singură plachetă pentru unități de electroni aplicați și ASM.

Prin combinarea parteneriatelor solide cu producători de echipamente originale de top, a expertizei în materiale și a know-how-ului în fabricație, vet oferă designul optim pentru aplicația dumneavoastră.

Energia VET este cel/cea/cei/celeproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversePiese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică. OEchipa noastră tehnică provine de la instituții de cercetare autohtone de top și poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

Fcaracteristici ale produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire
性质 / Proprietăți	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura cristalină	Faza β a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Densitate	3,21 g/cm³
硬度 Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 Dimensiunea granulelor	2~10 μm
纯度 Puritate chimică	99,99995%
热容 Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistență la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 Modulul lui Young	Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Dilatare termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1