Grafitový kroužek s CVD povlakem z karbidu křemíku

Obrázek grafitového kroužku s CVD povlakem z karbidu křemíku

Stručný popis:

Grafitový kroužek VET Energy s povlakem z karbidu křemíku je vysoce výkonný produkt navržený pro zajištění konzistentního a spolehlivého výkonu po delší dobu. Má vynikající tepelnou odolnost a tepelnou rovnoměrnost, vysokou čistotu a odolnost proti erozi, což z něj činí ideální řešení pro aplikace zpracování destiček.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Typické vlastnosti základního grafitového materiálu:

Zdánlivá hustota:	1,85 g/cm3
Elektrický odpor:	11 μΩm
Pevnost v ohybu:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdost Shore:	58
Popel:	<5 ppm
Tepelná vodivost:	116 W/mK (100 kcal/mh℃)

Dodáváme různé susceptory a grafitové komponenty pro všechny současné epitaxní reaktory. Naše produkty zahrnují válcové susceptory pro jednotky LPE, palačinkové susceptory pro jednotky LPE, CSD a Gemini a jednoplátkové susceptory pro aplikované jednotky a jednotky ASM.

Díky spojení silných partnerství s předními výrobci originálního vybavení (OEM), odborných znalostí v oblasti materiálů a výrobního know-how nabízí společnost vet optimální návrh pro vaši aplikaci.

Energie odborného vzdělávání a přípravy je tenskutečný výrobce zakázkových grafitových a karbidových produktů s CVD povlakem,může dodatrůznézakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. ONáš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může poskytnout profesionálnější materiálová řešení.pro tebe.

Fvlastnosti našich produktů:

1. Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách až do 1700 °C℃.
2. Vysoká čistota atepelná rovnoměrnost
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a větší odolnost

Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4bodový
杨氏模量 Youngův modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1