Anel de grafito revestido de carburo de silicio CVD

Descrición curta:

O anel de grafito revestido de carburo de silicio de VET Energy é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha resistencia á calor e uniformidade térmica moi boas, alta pureza e resistencia á erosión, o que o converte na solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Propiedades típicas do material de grafito base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm³
Resistividade eléctrica:	11 μΩm
Resistencia á flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinza:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Suministramos varios susceptores e compoñentes de grafito para todos os reactores de epitaxia actuais. Os nosos produtos inclúen susceptores de barril para unidades LPE, susceptores de filloa para unidades LPE, CSD e Gemini, e susceptores de oblea única para unidades aplicadas e ASM.

Ao combinar fortes asociacións con fabricantes de equipos orixinais líderes, experiencia en materiais e coñecementos de fabricación, vet ofrece o deseño óptimo para a súa aplicación.

A enerxía VET é o/a/os/asfabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento CVD,pode subministrarvariospezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica. OO noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode ofrecer solucións de materiais máis profesionais.para ti.

Fcaracterísticas dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas ata 1700℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 Tamaño do gran	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / TermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1