حلقه گرافیتی روکش شده با کاربید سیلیکون CVD

شرح مختصر:

حلقه گرافیتی روکش شده با کاربید سیلیکون VET Energy محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه حل مناسبی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.

برای ما ایمیل ارسال کنید دانلود به صورت PDF

جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

خواص معمول مواد گرافیت پایه:

چگالی ظاهری:	۱.۸۵ گرم بر سانتی‌متر مکعب
مقاومت الکتریکی:	۱۱ میکرواهم متر
استحکام خمشی:	۴۹ مگاپاسکال (۵۰۰ کیلوگرم نیرو بر سانتی‌متر مربع)
سختی ساحلی:	58
خاکستر:	<5ppm
رسانایی حرارتی:	۱۱۶ وات بر میلی‌کلوین (۱۰۰ کیلوکالری بر میلی‌ساعت-℃)

ما انواع سوسپتورها و قطعات گرافیتی را برای همه راکتورهای اپیتاکسی فعلی تأمین می‌کنیم. محصولات ما شامل سوسپتورهای بشکه‌ای برای واحدهای LPE، سوسپتورهای پنکیک برای واحدهای LPE، CSD و Gemini و سوسپتورهای تک ویفری برای واحدهای کاربردی و ASM است.

با ترکیب مشارکت‌های قوی با تولیدکنندگان اصلی تجهیزات (OEM)، تخصص در مواد و دانش فنی تولید، vet طراحی بهینه را برای کاربرد شما ارائه می‌دهد.

انرژی VET است ‎‏ ...تولیدکننده واقعی محصولات گرافیتی و کاربید سیلیکون سفارشی با پوشش CVD،می‌تواند عرضه کندمختلفقطعات سفارشی برای صنعت نیمه هادی و فتوولتائیک. Oتیم فنی شما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی می‌آید و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری در زمینه مواد ارائه دهد.برای شما.

Fغذاهای محصولات ما:

۱. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا ۱۷۰۰℃.
2. خلوص بالا ویکنواختی حرارتی
3. مقاومت عالی در برابر خوردگی: اسید، قلیا، نمک و مواد آلی.
۴. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر

بیماری‌های قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能 خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش
性质 / املاک	典型数值 / مقدار معمول
晶体结构 / ساختار کریستالی	فاز β FCC多晶，主要为（111 ）取向
密度 / تراکم	۳.۲۱ گرم بر سانتی‌متر مکعب
硬度 / سختی	2500 维氏硬度 (500 گرم بار)
晶粒大小 / اندازه دانه	2 تا 10 میکرومتر
纯度 / خلوص شیمیایی	۹۹.۹۹۹۹۵٪
热容 / ظرفیت گرمایی	۶۴۰ ژول · کیلوگرم^-1·ک^-1
升华温度 / دمای تصعید	۲۷۰۰ درجه سانتیگراد
抗弯强度 / استحکام خمشی	۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطه‌ای
杨氏模量 مدول یانگ	خم 4 نقطه‌ای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد
导热系数 / ترمالرسانایی	۳۰۰ وات بر متر مربع^-1·ک^-1
热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)	۴.۵×۱۰^-6K^-1