CVD silisiumkarbide bedekte grafytrien

CVD silisiumkarbide-coated grafitrykring Featured Image

Koarte beskriuwing:

De VET Energy silisiumkarbid-coated grafydring is in heechweardige produkt ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmtebestriding en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazjebestriding, wêrtroch it de perfekte oplossing is foar waferferwurkingsapplikaasjes.

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

Typyske eigenskippen fan basisgrafytmateriaal:

Skynbere tichtheid:	1,85 g/cm3
Elektryske wjerstân:	11 μΩm
Bûgingssterkte:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore hurdens:	58
Jiske:	<5ppm
Termyske geliedingsfermogen:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wy leverje ferskate susceptors en grafytkomponinten foar alle hjoeddeistige epitaksyreaktors. Us produkten omfetsje barrel-susceptors foar LPE-ienheden, pancake-susceptors foar LPE-, CSD- en Gemini-ienheden, en single-wafer-susceptors foar tapaste en ASM-ienheden.

Troch sterke gearwurkingsferbannen mei liedende OEM's, materiaal-ekspertize en produksjekennis te kombinearjen, biedt vet it optimale ûntwerp foar jo tapassing.

VET Enerzjy is deechte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei CVD-coating,kin leverjeferskateoanpaste ûnderdielen foar de healgeleider- en fotovoltaïske yndustry. OUs technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen leverjefoar dy.

Fskaaimerken fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700℃.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Uitstekende korrosjebestriding: soer, alkali, sâlt en organyske reagentia.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere tsjinstlibben en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking
性质 / Eigendom	典型数值 / Typyske wearde
晶体结构 / Kristalstruktuer	FCC β-faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Dichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Nôtgrutte	2~10μm
纯度 / Gemyske suverens	99.99995%
热容 / Waarmtekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaasjetemperatuer	2700 ℃
抗弯强度 / Bûgingssterkte	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃
导热系数 / TermalGeliedingsfermogen	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)	4.5×10^-6K^-1