Vòng than chì phủ cacbua silic CVD

Hình ảnh nổi bật của vòng than chì phủ silicon carbide CVD

Mô tả ngắn gọn:

Vòng graphite phủ silicon carbide của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Các đặc tính điển hình của vật liệu than chì cơ bản:

Mật độ biểu kiến:	1,85 g/cm3
Điện trở suất:	11 μΩm
Sức mạnh uốn cong:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Độ cứng Shore:	58
Tro:	<5ppm
Độ dẫn nhiệt:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Chúng tôi cung cấp nhiều loại giá đỡ và linh kiện than chì cho tất cả các lò phản ứng epitaxy hiện hành. Sản phẩm của chúng tôi bao gồm giá đỡ hình trụ cho các thiết bị LPE, giá đỡ hình bánh cho các thiết bị LPE, CSD và Gemini, và giá đỡ đơn wafer cho các thiết bị ứng dụng và ASM.

Bằng cách kết hợp mối quan hệ đối tác vững mạnh với các nhà sản xuất thiết bị gốc hàng đầu, chuyên môn về vật liệu và bí quyết sản xuất, vet cung cấp thiết kế tối ưu cho ứng dụng của bạn.

VET Energy là cáiNhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD.có thể cung cấpnhiềuCác linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.Dành cho bạn.

FĐặc điểm sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên đến 1700°C.℃.
2. Độ tinh khiết cao vàđộ đồng nhất nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và các chất phản ứng hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt đặc chắc, hạt mịn.
5. Tuổi thọ cao hơn và bền hơn

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 Giá trị điển hình
晶体结构 Cấu trúc tinh thể	Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Dung lượng nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 Sức mạnh uốn cong	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 Mô đun Young	Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃
导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1