Vòng Graphite phủ Silicon Carbide CVD

Hình ảnh nổi bật của nhẫn graphite phủ silicon carbide CVD

Mô tả ngắn gọn:

Vòng graphite phủ silicon carbide VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt cực tốt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Tính chất điển hình của vật liệu than chì cơ bản:

Mật độ biểu kiến:	1,85g/cm3
Điện trở suất:	11μΩm
Độ bền uốn:	49MPa (500kgf/cm2)
Độ cứng bờ:	58
Tro:	<5ppm
Độ dẫn nhiệt:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Chúng tôi cung cấp nhiều loại susceptor và linh kiện graphite cho tất cả các lò phản ứng epitaxy hiện tại. Sản phẩm của chúng tôi bao gồm các susceptor dạng thùng cho các đơn vị LPE, các susceptor dạng bánh kếp cho các đơn vị LPE, CSD và Gemini, và các susceptor dạng tấm đơn cho các đơn vị ứng dụng và ASM.

Bằng cách kết hợp quan hệ đối tác chặt chẽ với các OEM hàng đầu, chuyên môn về vật liệu và bí quyết sản xuất, VET cung cấp thiết kế tối ưu cho ứng dụng của bạn.

VET Năng lượng là cáinhà sản xuất thực sự của các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với lớp phủ CVD,có thể cung cấpnhiềucác bộ phận tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơndành cho bạn.

FĐặc điểm sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên đến 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao vàsự đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Nhiệt dung	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Môđun Young	430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1