CVD-kiselkarbidbelagd grafitring

Kort beskrivning:

VET Energys kiselkarbidbelagda grafitring är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

Typiska egenskaper hos basgrafitmaterial:

Skenbar densitet:	1,85 g/cm3
Elektrisk resistivitet:	11 μΩm
Böjstyrka:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-hårdhet:	58
Aska:	<5 ppm
Värmeledningsförmåga:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Vi levererar olika susceptorer och grafitkomponenter till alla nuvarande epitaxireaktorer. Våra produkter inkluderar cylindersusceptorer för LPE-enheter, pannkakssusceptorer för LPE-, CSD- och Gemini-enheter, och enkelskivssusceptorer för tillämpade och ASM-enheter.

Genom att kombinera starka partnerskap med ledande OEM-tillverkare, materialexpertis och tillverkningskunnande erbjuder Vet den optimala designen för din applikation.

VET Energy är deriktig tillverkare av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikaanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. OVårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda mer professionella materiallösningarför dig.

Fegenskaper hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700℃.
2. Hög renhet ochtermisk likformighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning
性质 / Fastighet	典型数值 / Typiskt värde
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-fas多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitet	3,21 g/cm³
硬度 / Hårdhet	2500 维氏硬度（500g last）
晶粒大小 / Kornstorlek	2~10 μm
纯度 / Kemisk renhet	99,99995 %
热容 / Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Youngs modul	430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃
导热系数 / TermajagLedningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1