CVD silicio karbidu dengtas grafito žiedas

CVD silicio karbidu dengto grafito žiedo paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ silicio karbidu dengtas grafito žiedas yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

Tipinės bazinės grafito medžiagos savybės:

Matomas tankis:	1,85 g/cm³
Elektrinė varža:	11 μΩm
Lenkimo stipris:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Kietumas pagal krantą:	58
Pelenai:	<5 ppm
Šilumos laidumas:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Tiekiame įvairius susceptorius ir grafito komponentus visiems dabartiniams epitaksijos reaktoriams. Mūsų gaminiai apima cilindrinius susceptorius LPE įrenginiams, „blynų“ formos susceptorius LPE, CSD ir „Gemini“ įrenginiams bei vienos plokštelės susceptorius taikomosios ir ASM įrenginiams.

Derindama tvirtą partnerystę su pirmaujančiais originalios įrangos gamintojais (OEM), medžiagų ekspertizę ir gamybos žinias, „vet“ siūlo optimalų jūsų pritaikymo dizainą.

Profesinio mokymo energija yra tastikras individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su CVD danga gamintojas,gali tiektiįvairūspritaikytos dalys puslaidininkių ir fotovoltinių technologijų pramonei. OMūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti profesionalesnių medžiagų sprendimųuž tave.

Fmūsų gaminių savybės:

1. Aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas iki 1700℃.
2. Didelis grynumas irterminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

ŠSD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga
性质 / Nekilnojamasis turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalų struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 Grūdų dydis	2–10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995%
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lenkimo stipris	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / TermalLaidumas	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1