CVD графитен пръстен с покритие от силициев карбид

Кратко описание:

Графитният пръстен с покритие от силициев карбид на VET Energy е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Той има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Типични свойства на базовия графитен материал:

Привидна плътност:	1,85 г/см3
Електрическо съпротивление:	11 μΩm
Якост на огъване:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Твърдост по Шор:	58
Пепел:	<5 ppm
Топлопроводимост:	116 W/mK (100 kcal/mhr℃)

Доставяме различни токоприемници и графитни компоненти за всички съвременни епитаксиални реактори. Нашите продукти включват цилиндрични токоприемници за LPE устройства, токоприемници тип „палачинка“ за LPE, CSD и Gemini устройства, както и токоприемници с единична пластина за приложни и ASM устройства.

Чрез комбиниране на силни партньорства с водещи производители на оригинално оборудване (OEM), експертен опит в материалите и производствено ноу-хау, vet предлага оптималния дизайн за вашето приложение.

VET Energy е наистински производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост. OНашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да предостави по-професионални решения за материали.за теб.

Fхарактеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисляване при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итермична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 г/см³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Юнг	430 Gpa 4pt огъване, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1