기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도도: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
당사는 모든 최신 에피택시 반응기에 사용되는 다양한 서셉터와 흑연 부품을 공급합니다. 당사 제품에는 LPE 유닛용 배럴 서셉터, LPE, CSD, Gemini 유닛용 팬케이크 서셉터, 그리고 응용 및 ASM 유닛용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다.
주요 OEM과의 강력한 파트너십, 재료 전문성 및 제조 노하우를 결합하여 vet은 귀하의 애플리케이션에 가장 적합한 설계를 제공합니다.
VET 에너지는 그만큼CVD 코팅을 사용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체공급할 수 있습니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로 구성되어 있어 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.
F우리 제품의 특징:
1. 최대 1700도 고온 산화 저항성섭씨.
2. 고순도 및열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
