CVD 탄화규소 코팅 흑연 링

간략한 설명:

VET Energy의 탄화규소 코팅 흑연 링은 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 응용 분야에 최적의 솔루션입니다.

 


제품 상세 정보

제품 태그

흑연 기본 소재의 일반적인 특성:

겉보기 밀도: 1.85 g/cm3
전기 저항률: 11 μΩm
굽힘 강도: 49 MPa (500kgf/cm2)
쇼어 경도: 58
금연 건강 증진 협회: <5ppm
열전도율: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

당사는 현재 사용되는 모든 에피택시 반응기에 다양한 서셉터 및 흑연 부품을 공급합니다. 당사 제품에는 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 그리고 Applied 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다.

vet은 선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 소재 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 귀사의 용도에 맞는 최적의 설계를 제공합니다.

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VET Energy는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체입니다.공급 가능합니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.

F저희 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및열 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

심혈관 질환 SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

晶体结构 결정 구조

FCC β상多晶,主要为(111) 取向

크기 / 밀도

3.21 g/cm³

정도 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 곡물 크기

2~10μm

정도 화학적 순도

99.99995%

발열 / 열용량

640 J·kg-1·케이-1

升华温도 승화 온도

2700℃

抗弯强島 굽힘 강도

415 MPa RT 4점

杨氏模량 / 영률

430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

导熭系数 / 써마전도도

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

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저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.

生产设备

 

공사客户

 


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